公开(公告)号：CN104944160B

公开(公告)日：2019-04-30

申请号：CN201510143784.8

申请日：2015-03-30

Applicant: 株式会社大亨

Inventor： 松尾英树

IPC: B65G49/05

Abstract: 本发明提供能够延长寿命的输送装置。输送装置包括引导机构(2)和被引导机构(2)引导而进行移动的移动体(4)，移动体(4)包括：第一支承体(41A)，其具有与引导机构(2)卡合的第一卡合部(411A)，沿着第一方向X可移动地被引导机构(2)支承；第二支承体(41B)，其具有与引导机构(2)卡合的第二卡合部(411B)，沿着第一方向(X)可移动地被引导机构(2)支承；保持部(45)，其被第一支承体(41A)和第二支承体(41B)支承，用于保持工件(89)，在第一卡合部(411A)，因移动体(4)的变形而载荷有第一反向力矩(M12)，第一反向力矩(M12)是与在工件(89)被保持于保持部(45)的情况下因工件(89)的负荷而载荷于第一卡合部(411A)的力矩(M11)反向的力矩。

公开(公告)号：CN104944160A

公开(公告)日：2015-09-30

申请号：CN201510143784.8

申请日：2015-03-30

Applicant: 株式会社大亨

Inventor： 松尾英树

IPC: B65G49/05

CPC classification number: B25J11/0095 ,  B25J5/02 ,  B25J15/0014 ,  H01L21/67167 ,  H01L21/67201 ,  H01L21/67706 ,  H01L21/67742 ,  H01L21/67748

Abstract: 本发明提供能够延长寿命的输送装置。输送装置包括引导机构(2)和被引导机构(2)引导而进行移动的移动体(4)，移动体(4)包括：第一支承体(41A)，其具有与引导机构(2)卡合的第一卡合部(411A)，沿着第一方向X可移动地被引导机构(2)支承；第二支承体(41B)，其具有与引导机构(2)卡合的第二卡合部(411B)，沿着第一方向(X)可移动地被引导机构(2)支承；保持部(45)，其被第一支承体(41A)和第二支承体(41B)支承，用于保持工件(89)，在第一卡合部(411A)，因移动体(4)的变形而载荷有第一反向力矩(M12)，第一反向力矩(M12)是与在工件(89)被保持于保持部(45)的情况下因工件(89)的负荷而载荷于第一卡合部(411A)的力矩(M11)反向的力矩。

公开(公告)号：CN101627467B

公开(公告)日：2011-04-27

申请号：CN200780051937.X

申请日：2007-03-02

Applicant: 株式会社大亨

Inventor： 宫本玲 ,  佐渡大介 ,  冈本启 ,  松尾英树 ,  西森康博

IPC: H01L21/677 ,  B25J9/06 ,  B65G49/06

CPC classification number: B25J9/107 ,  B65G49/061 ,  B65G49/067 ,  B65G2249/02 ,  H01L21/67115 ,  H01L21/67742

Abstract: 本发明提供一种搬送装置(A)，其配置于真空室(B)内，包括固定基座(1)、相对于固定基座(1)保持为可旋转的旋转基座(2)、支撑于旋转基座(2)的直线移动机构(3A、3B)、和支撑于直线机构(3A、3B)的柄(4A、4B)，通过直线移动机构(3A、3B)的动作对载置于柄(4A、4B)的工件(W)进行搬送。在旋转基座(2)或者直线移动机构(3A、3B)的下表面侧的适当部位设有热辐射板(62、63、65)，在形成真空室(B)的壁中的与旋转基座(2)的下表面侧相对的壁上设有吸热板(61、66)。

公开(公告)号：CN101627467A

公开(公告)日：2010-01-13

申请号：CN200780051937.X

申请日：2007-03-02

Applicant: 株式会社大亨

Inventor： 宫本玲 ,  佐渡大介 ,  冈本启 ,  松尾英树 ,  西森康博

IPC: H01L21/677 ,  B25J9/06 ,  B65G49/06

CPC classification number: B25J9/107 ,  B65G49/061 ,  B65G49/067 ,  B65G2249/02 ,  H01L21/67115 ,  H01L21/67742

Abstract: 本发明提供一种搬送装置(A)，其配置于真空室(B)内，包括固定基座(1)、相对于固定基座(1)保持为可旋转的旋转基座(2)、支撑于旋转基座(2)的直线移动机构(3A、3B)、和支撑于直线机构(3A、3B)的柄(4A、4B)，通过直线移动机构(3A、3B)的动作对载置于柄(4A、4B)的工件(W)进行搬送。在旋转基座(2)或者直线移动机构(3A、3B)的下表面侧的适当部位设有热辐射板(62、63、65)，在形成真空室(B)的壁中的与旋转基座(2)的下表面侧相对的壁上设有吸热板(61、66)。