公开(公告)号：CN118488941A

公开(公告)日：2024-08-13

申请号：CN202180104893.2

申请日：2021-12-22

Applicant: 株式会社东进世美肯

Inventor： 金宰贤 ,  许明铉 ,  金贞植 ,  俞敏子 ,  李衡根

IPC: C07C311/06 ,  C07C311/14 ,  C07C311/17 ,  C07C321/28 ,  C07C323/22 ,  C07C323/66 ,  C07C25/18 ,  C07D319/20 ,  G03F7/004

Abstract: 本发明涉及一种盐化合物、含该盐化合物的酸扩散抑制剂以及光致抗蚀剂组成物，该盐化合物包含具有由化学式1表示的特定结构阴离子和由化学式2表示的阳离子。

公开(公告)号：CN118401893A

公开(公告)日：2024-07-26

申请号：CN202180104941.8

申请日：2021-12-22

Applicant: 株式会社东进世美肯

Inventor： 金宰贤 ,  许明铉 ,  金贞植 ,  俞敏子 ,  李衡根 ,  池灿爀 ,  张景勋 ,  河政敏

IPC: G03F7/004 ,  C07C323/20 ,  C07C323/21

Abstract: 本发明涉及一种含具有特定极性官能基如磺酸盐基的阴离子的新颖结构的光酸产生剂、含所述光酸产生剂的光致抗蚀剂组合物及光致抗蚀剂图案形成方法。