公开(公告)号：CN1721989B

公开(公告)日：2010-05-05

申请号：CN200510080628.8

申请日：2005-07-04

Applicant: 株式会社东进世美肯

Inventor： 姜勋 ,  李承昱 ,  全雨植 ,  朴大然 ,  金周赫 ,  金柄郁

IPC: G03F7/022

CPC classification number: G03F7/0048 ,  G03F7/0007 ,  G03F7/022

Abstract: 本发明提供一种光致抗蚀剂组合物，更具体地，本发明提供了包含以下物质的光致抗蚀剂组合物：a)酚醛清漆树脂、b)二叠氮化合物和c)包含丙二醇甲基醚乙酸酯(PGMEA)和2，2，4-三甲基-1，3-戊二醇单异丁基酯(TMPMB)的溶剂。本发明的光致抗蚀剂组合物在涂布后具有优异的涂布均匀性和污染抑制性能，使得它容易适用于实际工业场合，并且在大规模生产时，由于消耗量的降低和生产所需时间的缩短等，该光致抗蚀剂组合物可以改善作业环境。