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公开(公告)号:CN1126488A
公开(公告)日:1996-07-10
申请号:CN94192640.0
申请日:1994-05-17
CPC classification number: C11D7/5004 , C11D7/5009 , C11D11/0011 , C11D11/0047 , H01L21/4835 , H05K3/26 , H05K2203/0783
Abstract: 本发明的清洗剂含有在清洗至少部分地具有间隙部分的清洗对象物时与构成污物的至少一种成分的溶解度之差在3以下,或者与构成污物的至少一种成分的溶解度参数之差在3以下且接触角在15°以内的清洗成分。这种清洗剂由于对金属薄带等的间隙中存在的工作油等也能容易地渗透溶解,因而可以进行良好的清洗。而且,本发明的清洗方法是先用极性清洗剂清洗后再用极性更低的或非极性的清洗剂漂洗、进行干燥,因而当用于电子部件等的精密清洗时可以兼备洁净性和干燥性。此外,终究由于不使用会像氟利昂类溶剂或氯代溶剂那样引起环境破坏或环境污染的清洗剂,因而实现了对环境的安全性。
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公开(公告)号:CN1170374A
公开(公告)日:1998-01-14
申请号:CN95196867.X
申请日:1995-10-19
IPC: B08B3/08
CPC classification number: H01L21/67005 , B08B3/08 , C11D7/28 , C11D7/5018 , C11D7/5095 , C11D11/0047 , C23G5/02803 , C23G5/032 , C23G5/04 , H05K3/26
Abstract: 本发明涉及一种可以取代氟里昂系溶剂或含氯系溶剂等的洗涤剂、洗涤方法和洗涤装置。特别是涉及一种在洗涤印刷线路板或实装部件等电子部件或金属部件等时,能够获得与使用氟里昂系溶剂或含氯系溶剂的洗涤方法相匹敌的对各种污染物的除去性和干燥性的洗涤方法、洗涤剂和洗涤装置。作为洗涤剂的有溶解度参数在9以上或介电常数在4以上的极性洗涤剂或者由溶解度参数在9以上或介电常数在4以上的极性洗涤剂与溶解度参数不足9和介电常数不足4的洗涤剂形成的混合洗涤剂、以含有低分子硅氧烷化合物的共沸组合物或拟共沸组合物作为有效成分的洗涤剂。另外,作为洗涤方法的特征是,它具备下列工序,即:使用溶解度参数在9以上或介电常数在4以上的极性洗涤剂来洗涤洗涤对象物的工序;使用溶解度参数在9以上或介电常数在4以上的极性洗涤剂与溶解度参数不足9和介电常数不足4的洗涤剂的混合洗涤剂来对上述洗涤对象物进行漂洗工序和干燥工序中的至少一个工序。
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公开(公告)号:CN1173785C
公开(公告)日:2004-11-03
申请号:CN95196867.X
申请日:1995-10-19
Applicant: 东芝硅株式会社
IPC: B08B3/08
CPC classification number: H01L21/67005 , B08B3/08 , C11D7/28 , C11D7/5018 , C11D7/5095 , C11D11/0047 , C23G5/02803 , C23G5/032 , C23G5/04 , H05K3/26
Abstract: 本发明涉及一种可以取代氟里昂系溶剂或含氯系溶剂等的洗涤剂、洗涤方法。特别是涉及一种在洗涤印刷线路板或实装部件等电子部件或金属部件等时,能够获得与使用氟里昂系溶剂或含氯系溶剂的洗涤方法相匹敌的对各种污染物的除去性和干燥性的洗涤方法、洗涤剂作为洗涤剂的有溶解度参数在9以上或介电常数在4以上的极性洗涤剂或者由溶解度参数在9以上或介电常数在4以上的极性洗涤剂与溶解度参数不足9和介电常数不足4的洗涤剂形成的混合洗涤剂、以含有低分子硅氧烷化合物的共沸组合物或拟共沸组合物作为有效成分的洗涤剂。另外,作为洗涤方法的特征是,它具备下列工序,即:使用溶解度参数在9以上或介电常数在4以上的极性洗涤剂来洗涤洗涤对象物的工序;使用溶解度参数在9以上或介电常数在4以上的极性洗涤剂与溶解度参数不足9和介电常数不足4的洗涤剂的混合洗涤剂来对上述洗涤对象物进行漂洗工序和干燥工序中的至少一个工序。
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公开(公告)号:CN1065564C
公开(公告)日:2001-05-09
申请号:CN94192640.0
申请日:1994-05-17
Applicant: 东芝硅株式会社
CPC classification number: C11D7/5004 , C11D7/5009 , C11D11/0011 , C11D11/0047 , H01L21/4835 , H05K3/26 , H05K2203/0783
Abstract: 本发明的清洗剂含有在清洗至少部分地具有间隙部分的清洗对象物时与构成污物的至少一种成分的溶解度之差在3以下,或者与构成污物的至少一种成分的溶解度参数之差在3以下且接触角在15°以内的清洗成分。这种清洗剂由于对金属薄带等的间隙中存在的工作油等也能容易地渗透溶解,因而可以进行良好的清洗。而且,本发明的清洗方法是先用极性清洗剂清洗后再用极性更低的或非极性的清洗剂漂洗、进行干燥,因而当用于电子部件等的精密清洗时可以兼备洁净性和干燥性。此外,终究由于不使用会像氟利昂类溶剂或氯代溶剂那样引起环境破坏或环境污染的清洗剂,因而实现了对环境的安全性。
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