公开(公告)号：CN1173785C

公开(公告)日：2004-11-03

申请号：CN95196867.X

申请日：1995-10-19

Applicant: 东芝硅株式会社

Inventor： 熊谷胜 ,  下泽宏 ,  小国尚之 ,  稻田实 ,  齐藤信宏 ,  山藤茂夫 ,  清水千之 ,  梅原一纪

IPC: B08B3/08

CPC classification number: H01L21/67005 ,  B08B3/08 ,  C11D7/28 ,  C11D7/5018 ,  C11D7/5095 ,  C11D11/0047 ,  C23G5/02803 ,  C23G5/032 ,  C23G5/04 ,  H05K3/26

Abstract: 本发明涉及一种可以取代氟里昂系溶剂或含氯系溶剂等的洗涤剂、洗涤方法。特别是涉及一种在洗涤印刷线路板或实装部件等电子部件或金属部件等时，能够获得与使用氟里昂系溶剂或含氯系溶剂的洗涤方法相匹敌的对各种污染物的除去性和干燥性的洗涤方法、洗涤剂作为洗涤剂的有溶解度参数在9以上或介电常数在4以上的极性洗涤剂或者由溶解度参数在9以上或介电常数在4以上的极性洗涤剂与溶解度参数不足9和介电常数不足4的洗涤剂形成的混合洗涤剂、以含有低分子硅氧烷化合物的共沸组合物或拟共沸组合物作为有效成分的洗涤剂。另外，作为洗涤方法的特征是，它具备下列工序，即：使用溶解度参数在9以上或介电常数在4以上的极性洗涤剂来洗涤洗涤对象物的工序；使用溶解度参数在9以上或介电常数在4以上的极性洗涤剂与溶解度参数不足9和介电常数不足4的洗涤剂的混合洗涤剂来对上述洗涤对象物进行漂洗工序和干燥工序中的至少一个工序。

公开(公告)号：CN1170374A

公开(公告)日：1998-01-14

申请号：CN95196867.X

申请日：1995-10-19

Applicant: 株式会社东芝 ,  东芝硅株式会社

Inventor： 熊谷胜 ,  下泽宏 ,  小国尚之 ,  稻田实 ,  齐藤信宏 ,  山藤茂夫 ,  清水千之 ,  梅原一纪

IPC: B08B3/08

CPC classification number: H01L21/67005 ,  B08B3/08 ,  C11D7/28 ,  C11D7/5018 ,  C11D7/5095 ,  C11D11/0047 ,  C23G5/02803 ,  C23G5/032 ,  C23G5/04 ,  H05K3/26

Abstract: 本发明涉及一种可以取代氟里昂系溶剂或含氯系溶剂等的洗涤剂、洗涤方法和洗涤装置。特别是涉及一种在洗涤印刷线路板或实装部件等电子部件或金属部件等时,能够获得与使用氟里昂系溶剂或含氯系溶剂的洗涤方法相匹敌的对各种污染物的除去性和干燥性的洗涤方法、洗涤剂和洗涤装置。作为洗涤剂的有溶解度参数在9以上或介电常数在4以上的极性洗涤剂或者由溶解度参数在9以上或介电常数在4以上的极性洗涤剂与溶解度参数不足9和介电常数不足4的洗涤剂形成的混合洗涤剂、以含有低分子硅氧烷化合物的共沸组合物或拟共沸组合物作为有效成分的洗涤剂。另外,作为洗涤方法的特征是,它具备下列工序,即:使用溶解度参数在9以上或介电常数在4以上的极性洗涤剂来洗涤洗涤对象物的工序;使用溶解度参数在9以上或介电常数在4以上的极性洗涤剂与溶解度参数不足9和介电常数不足4的洗涤剂的混合洗涤剂来对上述洗涤对象物进行漂洗工序和干燥工序中的至少一个工序。