蓝色发光元件及其制造方法

    公开(公告)号:CN1164934A

    公开(公告)日:1997-11-12

    申请号:CN96191004.6

    申请日:1996-08-30

    CPC classification number: H01L33/32 H01L33/007 Y10S438/93

    Abstract: 一种通过较少步骤的工艺过程制造氮化镓型蓝色发光器件的方法。该器件包括这样一个多层结构,它包含一个用第一导电类型杂质掺杂的第一氮化镓半导体层、一个实质上本征的氮化镓半导体活性层和一个用与第一导电类型相反的第二导电类型杂质掺杂的第二氮化镓半导体层。在该器件的制造中,第一和第二氮化镓半导体层及氮化镓半导体活性层是通过高温CVD形成的,并且随后被留在一种惰性气体中以便自然冷却。

    氮化镓基半导体发光元件及其制造方法

    公开(公告)号:CN1132253C

    公开(公告)日:2003-12-24

    申请号:CN96191004.6

    申请日:1996-08-30

    CPC classification number: H01L33/32 H01L33/007 Y10S438/93

    Abstract: 一种通过较少步骤的工艺过程制造氮化镓型蓝色发光器件的方法。该器件包括这样一个多层结构,它包含一个用第一导电类型杂质掺杂的第一氮化镓半导体层、一个实质上本征的氮化镓半导体活性层和一个用与第一导电类型相反的第二导电类型杂质掺杂的第二氮化镓半导体层。在该器件的制造中,第一和第二氮化镓半导体层及氮化镓半导体活性层是通过高温CVD形成的,并且随后被留在一种惰性气体中以便自然冷却。

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