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公开(公告)号：CN119880200A
公开(公告)日：2025-04-25
申请号：CN202510076180.X
申请日：2025-01-17
Applicant: 杭州电子科技大学
Abstract: 本发明涉及MEMS触觉传感器感知模组技术领域，具体是一种基于MEMS敏感元件的可扩展量程的力传感器，包括传感器模组外壳以及内置于传感器模组外壳内的MEMS触觉传感器测试电路和机械力传递结构，所述的机械力传递结构包括传力柱和弹性体，传力柱上端内嵌在传感器模组外壳顶面，下端固定在弹性体的中心位置，通过传力柱将施加在传感器模组外壳顶面上的力传递到弹性体上，弹性体的下表面中心位置与MEMS触觉传感器测试电路上的MEMS触觉传感器固定，当力传递到弹性体上时，弹性体底部发生形变，力衰减后施加到MEMS触觉传感器上，通过力衰减来扩大传感器的量程。本发明可以解决MEMS传感器所面临的量程小、输出不稳定问题。
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公开(公告)号：CN115711691B
公开(公告)日：2025-02-07
申请号：CN202211399694.1
申请日：2022-11-09
Applicant: 杭州电子科技大学
Abstract: 本发明提供了一种抗惯性干扰的多力信号MEMS传感器及其制作方法。本发明采用电容式测量原理，即通过改变电容极板对之间的间距来改变电容值，从而反映力信号的大小，包括中央凸台，可动主板，Z轴极板，内部梳齿，外部梳齿，外部梳齿上电极，U型梁，外围固定梁，外围固定梁上电极。本发明将原本应为固定梳齿的结构改为了位于外部的可动的梳齿，这样使得惯性作用到来时，内部梳齿和外部梳齿共同发生位移，大大减小了导致干扰信号产生的相对位移，从而实现了抗惯性干扰的功能。另外外部梳齿的厚度大于内部梳齿的厚度，Z轴极板的面积大于玻璃板上电极的面积，这使得传感器在能够实现六轴力、力矩信号检测的同时，可以实现各个信号之间的解耦。
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公开(公告)号：CN118670593A
公开(公告)日：2024-09-20
申请号：CN202410966079.7
申请日：2024-07-18
Applicant: 杭州电子科技大学
IPC: G01L5/1627 , G01L1/22 , G01L25/00
Abstract: 本发明属于微机电系统技术领域，具体涉及基于硅纳米线多维力传感器的自校准装置及其制备工艺。装置包括：SOI硅片和键合硅；SOI硅片中顶层硅包括受力体以及设于受力体四周且对称分布的硅纳米线；采用具有巨压阻效应的硅纳米线代替传统使用压敏电阻的压阻式力传感器，受力体四个角处采用U型结构作为支撑梁，受力体上设有压电层；键合硅上与顶层硅中的压电层所对应的位置设有电极区域；压电层与电极区域构成电容；硅纳米线与电容共同解耦测量力的大小和方向，可实现六维力的感知；键合硅和SOI硅片键合形成自校准结构；键合硅上设有若干个通过TSV打孔技术制作的通孔，用于引出电极。本发明具有灵敏度高、稳定性高和可靠性高的特点。
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公开(公告)号：CN117799329A
公开(公告)日：2024-04-02
申请号：CN202410081993.3
申请日：2024-01-19
Applicant: 杭州电子科技大学
IPC: B41J2/16
Abstract: 本发明属于热泡式喷墨打印机喷头技术领域，具体涉及用于热泡式喷墨打印机喷头的特斯拉阀装置及其制备方法。装置包括特斯拉阀；所述特斯拉阀具有内部管道结构；所述内部管道结构包含若干个交替排列连接的管路分支；每个管路分支均具有两条管路，其中一条管路为正向直道，呈倾斜状；另一条管路为弯道，所述弯道弯曲成半环状，并回连到正向直道上。本发明具有既能够有效限制墨水反向流动，减少墨水的浪费，又易于制造和维护，节约制造成本的特点。
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公开(公告)号：CN117297286A
公开(公告)日：2023-12-29
申请号：CN202311306799.2
申请日：2023-10-10
Applicant: 杭州电子科技大学
Abstract: 本发明属于温湿度调控技术领域，具体涉及基于嵌入式的活动场馆座椅温湿度智能调控系统。系统包括温度传感模块，用于采集温度信号；人体传感模块，用于检测有无人体信号；气体浓度传感模块，用于采集氧气浓度、氧化碳的浓度以及氮化物的浓度；脉搏传感模块，用于实时监测场馆座位上人员的脉搏；驱动输出模块，用于驱动雾化器和风扇；显示模块，用于进行数据采集反馈、手动/自动模式显示以及时间和温度的显示；主控模块，用于对采集到的数据进行处理和判断。本发明具有能够根据环境温度或人为指令控制小环境内的风速与湿度，利用人体皮肤表面水分蒸发吸热的原理，以便于座椅观众实现身体内部与外界环境形成动态平衡的特点。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN117128902A
公开(公告)日：2023-11-28
申请号：CN202310887769.9
申请日：2023-07-19
Applicant: 杭州电子科技大学
Abstract: 本发明公开了一种基于超声波传感器的车载智能路面不平度检测系统。本发明中的加速度传感器，实时采集系统的加速度信号；超声波测距传感器，实时采集系统与路面间的距离信号；主控MCU接收加速度传感器回传的实时加速度信号，结合角度算法计算系统当前的俯仰角和滚转角；所述主控MCU根据所述滚转角，通过PID算法控制水平位置保持模块实时调整系统的位置，使系统稳定保持在水平位置；所述主控MCU根据所述俯仰角和垂向加速度对离地距离数据进行补偿，进而得到路面高程数据，从而确定路面不平度。本发明省去了人工数据采集以及算法训练的步骤，有效地降低了人力成本，缩短了开发周期。
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公开(公告)号：CN116458846A
公开(公告)日：2023-07-21
申请号：CN202310407624.4
申请日：2023-04-17
Applicant: 杭州电子科技大学
IPC: A61B5/00 , A61B5/145 , A61M37/00 , A61K9/00 , A61K47/38 , A61K47/32 , A61K47/36 , A61K31/27 , A61K31/4178 , A61P43/00
Abstract: 本发明属于功能贴片技术领域，具体涉及一种柔性可穿戴汗液贴片，包括自下而上依次叠设的微针层、电极层、绝缘层、柔性电路层、贴片外壳，微针层的底部具有可溶性微针，可溶性微针内包覆有刺激汗液分泌的药物；所述微针层上具有位于可溶性微针背部的进汗孔，进汗孔贯通微针层以与电极层连通；所述电极层具有检测电极，用于对汗液进行检测；所述电极层的电极贯穿绝缘层的导线孔与柔性电路层电连接。本发明的柔性可穿戴汗液贴片，通过深入皮下，微针分解融化后，药物会被释放刺激汗液产生，进而通过检测电极进行汗液生理参数的检测。
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公开(公告)号：CN116358764A
公开(公告)日：2023-06-30
申请号：CN202310117132.1
申请日：2023-02-15
Applicant: 杭州电子科技大学
Abstract: 本发明公开了一种带自校准功能的三轴MEMS力传感器，包括玻璃衬底及其上表面的固定电极、悬于玻璃衬底上方的器件层。玻璃衬底上表面的固定电极包括固定叉指铝电极、固定金属电极、电极连接线和自检测引出电极。悬于玻璃衬底上方的器件层包括器件锚点、四根L型压电驱动梁、静电吸合模块、敏感驱动台和电容式三轴力传感器。固定金属电极与电容式三轴力传感器中心质量块对应放置，静电吸合模块位于压电驱动梁和敏感驱动台之间。本发明抑制交叉轴串扰的问题，实现交叉轴以及法向三轴驱动，实现交叉轴驱动电容的实时检测，并通过调整静电吸合模块实现力检测模式和校准模式的切换。
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公开(公告)号：CN115451929A
公开(公告)日：2022-12-09
申请号：CN202211096122.6
申请日：2022-09-06
Applicant: 杭州电子科技大学
Abstract: 本发明涉及一种基于栅极调控的硅纳米线陀螺仪及其加工方法。硅纳米线陀螺仪包括SOI硅片，SOI硅片的顶层硅表面设有氮化硅薄膜；其中，顶层硅形成有悬空的质量块及其连接的三条硅纳米线，硅纳米线沿质量块的周侧分布；质量块及硅纳米线的表面均附着有氮化硅薄膜；顶层硅之上设有与体硅导电连接的正、负电极；SOI硅片还具有从氮化硅薄膜刻蚀至氧化层的隔离沟道，以实现正、负电极的物理隔绝；悬空的氮化硅薄膜上设置栅极，栅极用于调制硅纳米线沟道的载流子浓度，即调节硅纳米线沟道的电导，进而寻找出器件的最佳工作点。
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公开(公告)号：CN115445032A
公开(公告)日：2022-12-09
申请号：CN202211206603.8
申请日：2022-09-30
Applicant: 杭州电子科技大学
Abstract: 本发明涉及医疗器械技术领域，具体涉及一种可雾化营养液的微机电系统，包括上衬底、下衬底、通气模块、营养液仓、输液孔、PTFE膜、氧化硅板、Pt温度传感器、金属发热丝和驱动电路，下衬底中设有营养液仓和输液孔，营养液仓靠近上衬底一侧具有开口，输液孔将营养液仓与下衬底外部连通，PTFE膜封闭开口，上衬底与下衬底固定连接，上衬底中设有通气模块，氧化硅板固定安装在上衬底表面，Pt温度传感器和金属发热丝均安装在氧化硅板上，Pt温度传感器检测金属发热丝的温度，Pt温度传感器和金属发热丝均与驱动电路连接。本发明的有益技术效果包括：能够使营养液均匀雾化，有利于人体的吸收。
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