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公开(公告)号：CN115321474B
公开(公告)日：2024-07-09
申请号：CN202211096126.4
申请日：2022-09-06
Applicant: 杭州电子科技大学
Abstract: 本发明涉及一种基于SOI硅片的硅纳米线陀螺仪的制备方法，选取SOI硅片，在其顶层硅表面制备氮化硅薄膜，形成介质掩膜层；在介质掩膜层形成三个三角形图案，并刻蚀图案处的氮化硅形成三个三角形窗口；之后对三角形窗口处的硅进行干法刻蚀，制得三个深度一致的竖直三角形槽；刻蚀竖直三角形槽下的氧化层，接着再刻蚀底层硅；对竖直三角形槽进行各向异性湿法腐蚀，形成六边形腐蚀槽，且相邻的六边形腐蚀槽之间形成单晶硅薄壁结构，三个六边形腐蚀槽中间出现两个相对的锥体结构；100晶向的底层硅出现腐蚀槽将顶层硅上的相连的锥体结构释放构成质量块，得到氮化硅薄膜和三根硅纳米线共同支撑质量块。本发明的硅纳米线陀螺仪的灵敏度更高。
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公开(公告)号：CN117842928A
公开(公告)日：2024-04-09
申请号：CN202410048449.9
申请日：2024-01-12
Applicant: 杭州电子科技大学
IPC: B81C1/00
Abstract: 本申请公开了一种增强触觉传感器性能的纯刚性封装设计方法，包括以下步骤：采用MEMS工艺，制造出玻璃基板、阵列的MEMS压阻式触觉传感器以及上层封装结构；在该封装设计中，压阻式触觉传感器封装结构被设计为三明治式结构，将压阻式触觉传感器放置在上层封装结构和玻璃基板中间；将压阻式触觉传感器上表面倒装于带通孔的玻璃基板上表面，完成对压阻式触觉传感器上表面封装；将压阻式触觉传感器下表面与设计出的上层封装结构对准键合，完成对压阻式触觉传感器下表面封装；经过上述封装设计步骤，提高了阵列的MEMS压阻式触觉传感器的灵敏度和线性度，并且实现了对阵列的MEMS压阻式触觉传感器防护。
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公开(公告)号：CN112852923B
公开(公告)日：2023-06-09
申请号：CN202110146584.3
申请日：2021-02-03
Applicant: 杭州电子科技大学
IPC: C12Q1/682 , C12Q1/6837
Abstract: 本发明属于信号放大技术领域，具体涉及一种基于DNA生物传感器的二级放大方法，包括以下步骤：S1、将传感器表面依次用无水乙醇、去离子水冲洗并干燥，并进行氧等离子体处理，以实现对芯片表面硅烷化处理，形成末端氨基；S2、将探针DNA修饰到硅纳米线芯片上，以制得DNA生物传感器；S3、将ctDNA溶液滴加至DNA生物传感器表面进行杂交；S4、制得表面修饰有信号DNA的金纳米颗粒；S5、将金纳米颗粒加入到硅纳米线芯片上，以实现一级放大；S6、加入RCA引物和模板DNA，添加RCA缓冲液，以使金纳米颗粒上的引物DNA滚环扩增，以实现二级放大；本发明的DNA生物传感器能够用于信号二次放大，进一步提高传感器的检测限和灵敏度。
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公开(公告)号：CN114889327B
公开(公告)日：2023-05-12
申请号：CN202210423716.7
申请日：2022-04-21
Abstract: 一种静电式喷墨打印机喷头，包括第一硅基片和设置在第一硅基片上方的第二硅基片；所述第二硅基片朝向第一硅基片一侧具有储液池；所处第一硅基片上具有连通储液池使液体进入储液池的进液通道和与进液通道间隔设置使储液池内液体流出的喷嘴；所述储液池内还设有将储液池分为进液区与喷液区的限流部；所述限流部位于进液通道与喷嘴之间；所述限流部上具有连通进液去与喷液区的限流通道；所述限流通道上设有限流柱；所述限流柱向限流通道内侧凸起，使限流通道的进液面积大于出液面积，本发明的有益效果是不会发生回流或者串扰的情况，提高了打印机的打印质量，降低了墨水的消耗。
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公开(公告)号：CN112577642B
公开(公告)日：2023-03-10
申请号：CN202011421329.7
申请日：2020-12-08
Applicant: 杭州电子科技大学
IPC: G01L1/14
Abstract: 本发明公开了一种精准定位受力、灵敏度可调的柔性触觉传感器。本发明包括PDMS柔性衬底、石墨烯电极、PDMS微结构介电层。结构上分为上中下层，上层是PDMS与图案化石墨烯电极混合层，中层是由浇筑于微结构硅模具中成型的PDMS微结构介电层，下层的结构、材料与上层相同，空间上是由上层翻转后水平面旋转90°。本发明主要采用PDMS材料和石墨烯材料构成，在衬底与电介质材料上统一选用PDMS材料可最大程度上保证传感器的柔性弯曲与拉伸特性，可安装在具有不同弧度的机械手上，又基于其可实现精准受力定位的特点，可安装在鞋垫等通过受力区域捕捉、分析人体生理信号的位置。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111122679B
公开(公告)日：2022-12-02
申请号：CN201911353846.2
申请日：2019-12-25
Applicant: 杭州电子科技大学
IPC: G01N27/414 , G01N27/38 , G01N27/30
Abstract: 本发明公开了一种DNA生物传感器及其制备方法和应用。本发明通过将圆片级可控纳米线阵列场效应管硅烷化，以化学键的形式将末端带有羧基修饰的DNA修饰在硅纳米线的表面，构建出一种基于圆片级可控纳米线阵列的DNA生物传感器，利用纳米线阵列上的DNA探针与不同浓度的目标检测DNA孵化，产生栅压电场，来调控源漏极之间的电流，并通过这种电流变化，来迅速定量检测特定DNA。该方法操作简单，易实现，具有很好的生物相容性，应用广泛，且灵敏度高，检测限可以达到0.1fM，可实现实时检测。
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公开(公告)号：CN114889327A
公开(公告)日：2022-08-12
申请号：CN202210423716.7
申请日：2022-04-21
Abstract: 一种静电式喷墨打印机喷头，包括第一硅基片和设置在第一硅基片上方的第二硅基片；所述第二硅基片朝向第一硅基片一侧具有储液池；所处第一硅基片上具有连通储液池使液体进入储液池的进液通道和与进液通道间隔设置使储液池内液体流出的喷嘴；所述储液池内还设有将储液池分为进液区与喷液区的限流部；所述限流部位于进液通道与喷嘴之间；所述限流部上具有连通进液去与喷液区的限流通道；所述限流通道上设有限流柱；所述限流柱向限流通道内侧凸起，使限流通道的进液面积大于出液面积，本发明的有益效果是不会发生回流或者串扰的情况，提高了打印机的打印质量，降低了墨水的消耗。
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公开(公告)号：CN114801492A
公开(公告)日：2022-07-29
申请号：CN202210424118.1
申请日：2022-04-21
Applicant: 杭州电子科技大学
Abstract: 本发明属于喷墨打印机喷头技术领域，具体涉及一种双驱动高速无卫星墨滴的喷墨打印机喷头及其加工方法，喷墨打印机喷头具有进液通道、进液储液池和N个喷墨储液池，进液通道与进液储液池连通，进液储液池分别通过N条限流通道与N个喷墨储液池一一对应连通构成N条喷液通路，各喷墨储液池分别设有喷嘴；其中，N为正整数；各限流通道分别设有限流柱，所述喷墨打印机喷头之外对应于各限流柱分别设有热泡式驱动件，对应于各喷墨储液池的喷嘴分别设有第二驱动件以截断喷嘴喷出墨滴。本发明采用双驱动件推挤墨滴，可以避免卫星墨滴的产生，同时可以提高墨滴的速度，提高喷墨打印精度。
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公开(公告)号：CN114771102A
公开(公告)日：2022-07-22
申请号：CN202210423701.0
申请日：2022-04-21
Applicant: 杭州电子科技大学
Abstract: 本发明涉及一种压电式喷墨打印机喷头及其制备方法，压电式喷墨打印机喷头，包括相互键合的玻璃基片和硅基片，玻璃基片与硅基片之间构成喷液通路，喷液通路包括沿进液流向依次分布的进液通道、进液储液池、限流通道、喷液储液池和喷嘴，喷液储液池的背面为振动面，振动面之外设有压电层，压电层与驱动电路连接，用于驱动振动面振动；所述喷嘴两侧分别设有切割驱动件，通过延时电路控制切割驱动件驱动喷嘴的两侧以切割喷嘴处的墨滴速度达到最大值的墨滴。本发明利用延时电路和切割驱动件，在喷嘴处挤出墨滴速度达到最大值时将墨滴切割，得到最大速度的墨滴，避免喷墨过程中长尾柱的形成，使得墨滴不会在喷出过程中发生破碎形成卫星液滴。
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公开(公告)号：CN113916433A
公开(公告)日：2022-01-11
申请号：CN202111023625.6
申请日：2021-09-01
Applicant: 杭州电子科技大学
IPC: G01L5/165
Abstract: 本发明涉及一种高灵敏度的三维力和力矩解耦触觉传感器结构。本发明包括中心质量块和围绕在中心质量块周围的电容检测单元；所述的中心质量块作为受力单元，将施加在触觉传感器上的力和力矩传递给相应的电容检测单元进行检测，所述中心质量块与玻璃衬底上的固定金属电极形成一个平行板电容用于检测Z轴法向力；本发明选择栅型电容作为触觉传感器的力检测单元，通过差分检测方式实现力的检测，具有更高的灵敏度和更好的线性度；选择栅型电容作为触觉传感器的力矩检测单元，通过倾斜极板电容原理实现力矩检测；通过设计不同的电极结构和尺寸，实现了多维力与力矩的解耦，具有更小的维间串扰。
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