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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN119001145A
公开(公告)日：2024-11-22
申请号：CN202410966081.4
申请日：2024-07-18
Applicant: 杭州电子科技大学
Abstract: 本发明属于传感器技术领域，具体涉及集成自校准结构的高灵敏度加速度传感器及其制备工艺。装置包括质量块、三根硅纳米线、压电陶瓷涂层、电压控制装置、硅纳米线传感器以及自适应校准模块；质量块与三根硅纳米线构成三角结构；电压控制装置，用于施加电压信号到压电陶瓷涂层，并控制压电陶瓷涂层的振动；硅纳米线传感器，用于获取质量块的形变量数据；自适应校准模块，用于根据测量出质量块的形变量数据和已知的参考加速度计数据计算校准参数。本发明具有能够提供高精度的校准方式，来提高加速度计的精确性和稳定性的特点。
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公开(公告)号：CN118670593A
公开(公告)日：2024-09-20
申请号：CN202410966079.7
申请日：2024-07-18
Applicant: 杭州电子科技大学
IPC: G01L5/1627 , G01L1/22 , G01L25/00
Abstract: 本发明属于微机电系统技术领域，具体涉及基于硅纳米线多维力传感器的自校准装置及其制备工艺。装置包括：SOI硅片和键合硅；SOI硅片中顶层硅包括受力体以及设于受力体四周且对称分布的硅纳米线；采用具有巨压阻效应的硅纳米线代替传统使用压敏电阻的压阻式力传感器，受力体四个角处采用U型结构作为支撑梁，受力体上设有压电层；键合硅上与顶层硅中的压电层所对应的位置设有电极区域；压电层与电极区域构成电容；硅纳米线与电容共同解耦测量力的大小和方向，可实现六维力的感知；键合硅和SOI硅片键合形成自校准结构；键合硅上设有若干个通过TSV打孔技术制作的通孔，用于引出电极。本发明具有灵敏度高、稳定性高和可靠性高的特点。
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公开(公告)号：CN117799329A
公开(公告)日：2024-04-02
申请号：CN202410081993.3
申请日：2024-01-19
Applicant: 杭州电子科技大学
IPC: B41J2/16
Abstract: 本发明属于热泡式喷墨打印机喷头技术领域，具体涉及用于热泡式喷墨打印机喷头的特斯拉阀装置及其制备方法。装置包括特斯拉阀；所述特斯拉阀具有内部管道结构；所述内部管道结构包含若干个交替排列连接的管路分支；每个管路分支均具有两条管路，其中一条管路为正向直道，呈倾斜状；另一条管路为弯道，所述弯道弯曲成半环状，并回连到正向直道上。本发明具有既能够有效限制墨水反向流动，减少墨水的浪费，又易于制造和维护，节约制造成本的特点。
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公开(公告)号：CN117799328A
公开(公告)日：2024-04-02
申请号：CN202410081991.4
申请日：2024-01-19
Applicant: 杭州电子科技大学
IPC: B41J2/16
Abstract: 本发明属于压电喷墨打印机喷头技术领域，具体涉及用于压电式喷墨打印机喷头的特斯拉阀设备及其制备工艺。设备包括特斯拉阀和压电振动板；特斯拉阀内部设有管道结构；管道结构包含若干个交替排列连接的管路分支；每个管路分支均具有两条管路，其中一条管路为正向直道，呈倾斜状；另一条管路为弯道，弯道弯曲成半环状，并回连到正向直道上；管道结构两端分别与进液墨水储存腔和喷液墨水储存腔相连接；压电振动板位于喷液墨水储存腔的上方；压电振动板被激活时，产生压力波动，用于控制墨水的流动状态。本发明具有能够精确控制墨水的流向和流速，同时具备耐磨和长寿命的特性，以满足高分辨率、高速度和高质量打印需求的特点。
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公开(公告)号：CN118654800A
公开(公告)日：2024-09-17
申请号：CN202410966076.3
申请日：2024-07-18
Applicant: 杭州电子科技大学
IPC: G01L5/1627 , G01L1/22 , G01L25/00
Abstract: 本发明属于微机电系统技术领域，具体涉及基于SOI的硅纳米线压阻式三维力传感器及其制备工艺。传感器基于SOI硅片；SOI硅片中顶层硅包括受力体以及设于受力体四周且均匀分布的硅纳米线；受力体四个角处采用U型结构作为支撑梁；顶层硅上设有与体硅电连接的正电极和负电极。本发明的新型力传感器，由U型结构支撑梁和硅纳米线共同支撑受力体，采用具有巨压阻效应的单晶硅纳米线代替传统的使用压敏电阻的压阻式力传感器，能实现三维力的解耦以及更加敏锐地感知外界施加的力，实现对微小压力变化的高度响应。本发明具有稳定性高、可靠性高，且能够在小型化设备中实现高灵敏度力测量的特点。
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