公开(公告)号：CN115354311A

公开(公告)日：2022-11-18

申请号：CN202210835371.6

申请日：2022-07-15

Applicant: 杭州电子科技大学

Inventor： 刘杰 ,  戴仙龙 ,  严丽平 ,  程知群 ,  丁明辉 ,  周涛 ,  董志华 ,  邓天松

IPC: C23C16/511

Abstract: 本发明公开了一种复合左右手波导的缝隙阵列天线表面波等离子沉积装置，所述微波发生部将微波馈入所述CRLH波导阵列，所述CRLH波导包括BJ26标准矩形波导、CRLH波导阵列、金属壁和缝隙阵列，所述缝隙阵列在CRLH波导阵列的中心线位置开槽；此开槽的横截面为矩形结构，该矩形长度为自由空间传播的微波半波长；共振腔设置在CRLH波导阵列的下方，高度为自由空间传播的微波半波长，底部设置若干个激发槽，槽横截为矩形结构，长度以及宽度取决于共振腔底部面磁流强场区域的分布；CVD反应室设置在共振腔下方，激发槽垂直切割表面电流，所辐射的能量使得工作气体电离，微波以表面波的形式沿着石英介质窗口的下表面传播，从而在石英介质窗口下形成均匀的表面波等离子体。

公开(公告)号：CN119411106A

公开(公告)日：2025-02-11

申请号：CN202411361219.4

申请日：2024-09-27

Applicant: 杭州电子科技大学

Inventor： 刘杰 ,  吴青阳 ,  程海豫 ,  邹国强 ,  李尧 ,  邓天松 ,  严丽平 ,  丁明辉

IPC: C23C16/511 ,  C23C16/52

Abstract: 本发明公开了一种X型谐振腔Y型环形天线式微波等离子体装置及设计方法，装置中波导传输部的Y型环形天线为倒Y状，矩形波导和短路活塞均设置在Y型环形天线的上部，微波经矩形波导进入Y型环形天线，短路活塞调节电场反射和馈入谐振部的微波能量，石英环设置在Y型环形天线与谐振部之间，增加微波耦合效率；谐振部的X型腔体内的顶部设置顶部挖槽，X型腔体内底部中央设置沉积台；水冷部的进水口、出水口和管道，均设置在沉积台下方，水经进水口进入管道，流经管道后经出水口流出。本发明具有沉积金刚石薄膜尺寸大，沉积速率高，耦合功率高等的特点。

公开(公告)号：CN119020759A

公开(公告)日：2024-11-26

申请号：CN202410987479.6

申请日：2024-07-23

Applicant: 杭州电子科技大学

Inventor： 刘杰 ,  邹国强 ,  严丽平 ,  李尧 ,  王豪睿 ,  邓天松 ,  丁明辉

IPC: C23C16/511 ,  C23C16/52

Abstract: 本发明公开了一种TM032模式多圆盘天线微波等离子装置，至少包括：微波传输部，用于产生并传输微波；耦合天线，用于将微波耦合至谐振腔；其中，所述耦合天线采用的圆盘式耦合天线，能够通过调节圆盘间距和半径以适应不同模式的谐振腔；谐振腔，采用的多模谐振方式TM032，其中，圆柱形谐振腔分为上腔体、中腔体和下腔体，上腔体中设置耦合天线，中腔体与圆柱形谐振腔一致，用于提供稳定的谐振模式，下腔体中设有气体反应室，反应室中设置沉积台，沉积台的高度可调节，通过电磁仿真软件参数化扫描改变下腔体的尺寸以及沉积台的半径，调节等离子体的位置分部；石英罩，石英罩用于隔离反应室和微波传输部；冷却系统，用于冷却反应室。