公开(公告)号：CN118936214A

公开(公告)日：2024-11-12

申请号：CN202410997238.X

申请日：2024-07-24

Applicant: 杭州电子科技大学

Inventor： 刘杰 ,  李尧 ,  王豪睿 ,  邓天松 ,  严丽平

IPC: F28F21/08 ,  F28D15/02

Abstract: 本发明公开了一种金刚石覆膜铜鳍片散热器及其制备方法，至少包括：金属底板，其一面与热源相连接，另一面与热管相连接，用于将热源的热量传递至热管的蒸发端；热管，其一端为蒸发端，另一端为冷凝端，用于将热量从蒸发端传递至冷凝端；所述热管的冷凝端设置多个覆金刚石膜铜鳍片，所述覆金刚石膜铜鳍片为铜鳍片表面设置一层金刚石膜。采用本发明技术方案，能够利用自身与空气流动的接触及金刚石和铜的优异导热性能将热量散发出去，有效降低热源的温度，提高散热器性能的上限。

公开(公告)号：CN119121196A

公开(公告)日：2024-12-13

申请号：CN202411089777.X

申请日：2024-08-09

Applicant: 杭州电子科技大学

Inventor： 刘杰 ,  邹国强 ,  李尧 ,  王豪睿 ,  邓天松 ,  严丽平

IPC: C23C16/511 ,  C23C4/12 ,  C23C16/27 ,  C23C16/52

Abstract: 本发明公开了一种新型结构反抛腔式微波等离子谐振腔装置，顶盖、抛腔和中圆柱体由上至下依次设置，进气口设置在顶盖处，出气口设置在中圆柱体的外侧壁，测温孔设置在抛腔处，观察窗设置在中圆柱体的外侧壁；所述下圆柱体设置在谐振腔体下方，其内部设置环形天线；所述同轴波导转换器与下圆柱体连接，为微波的传输路径；所述沉积部设置在谐振腔体内的底部；所述石英部设置在同轴波导转换器与下圆柱体之间，对谐振腔体进行真空防护。本发明可在较高的微波输入功率条件下(6kw)工作，能够处理更高的功率水平，实现更高效的金刚石膜沉积过程，产生更密集、更均匀的等离子体，进而促进金刚石膜的生长。

公开(公告)号：CN119020759A

公开(公告)日：2024-11-26

申请号：CN202410987479.6

申请日：2024-07-23

Applicant: 杭州电子科技大学

Inventor： 刘杰 ,  邹国强 ,  严丽平 ,  李尧 ,  王豪睿 ,  邓天松 ,  丁明辉

IPC: C23C16/511 ,  C23C16/52

Abstract: 本发明公开了一种TM032模式多圆盘天线微波等离子装置，至少包括：微波传输部，用于产生并传输微波；耦合天线，用于将微波耦合至谐振腔；其中，所述耦合天线采用的圆盘式耦合天线，能够通过调节圆盘间距和半径以适应不同模式的谐振腔；谐振腔，采用的多模谐振方式TM032，其中，圆柱形谐振腔分为上腔体、中腔体和下腔体，上腔体中设置耦合天线，中腔体与圆柱形谐振腔一致，用于提供稳定的谐振模式，下腔体中设有气体反应室，反应室中设置沉积台，沉积台的高度可调节，通过电磁仿真软件参数化扫描改变下腔体的尺寸以及沉积台的半径，调节等离子体的位置分部；石英罩，石英罩用于隔离反应室和微波传输部；冷却系统，用于冷却反应室。