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公开(公告)号：CN119400681B
公开(公告)日：2025-03-18
申请号：CN202411979785.1
申请日：2024-12-31
Applicant: 有研工程技术研究院有限公司
IPC: H01J41/12
Abstract: 本发明属于离子泵技术领域，具体涉及一种可拆卸紧凑式离子泵。本发明公开的可拆卸紧凑式离子泵，磁铁组件包括至少一组磁铁对，所述一组磁铁对包括两个磁铁，所述两个磁铁分别设置于所述抽气筒相对的两个内壁上，所述两个磁铁之间形成磁场；本发明将磁铁组件设置于抽气筒内部，缩短了磁隙，因而在同样满足磁场要求情况下可减小磁铁厚度，使得离子泵整体结构紧凑小巧，可适用于较小安装空间的装置。本发明公开的可拆卸紧凑式离子泵，抽气筒和抽气筒盖板、电极与连接柱均为可拆卸连接，在需要维护和检修时，更加方便拆卸和安装，使用更加方便，可以适应不同场合的使用需求。
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公开(公告)号：CN112226740B
公开(公告)日：2022-12-02
申请号：CN202011101048.3
申请日：2020-10-15
Applicant: 有研工程技术研究院有限公司
Abstract: 本发明公开了一种碱金属源的制备方法，主要包括前驱原料提纯、粒度控制、混合、速冷、真空冷冻干燥等。本发明对原料的粒度和混合状态进行控制，从而实现对碱金属源工作时的反应速率进行控制。基于本发明制备的碱源，具有原料混合均匀、粒度一致性高等优点。
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公开(公告)号：CN114192787A
公开(公告)日：2022-03-18
申请号：CN202110885212.2
申请日：2021-08-03
Applicant: 有研工程技术研究院有限公司
Abstract: 本发明公开了一种高纯锆铝16合金粉体的制备方法，包括以下步骤：将高纯锆块、高纯铝块采用悬浮熔炼方式制备成锆铝16合金锭；熔炼前将熔炼腔体抽真空再向熔炼腔体中充入高纯惰性气体反复冲洗熔炼腔体；打磨锆铝16合金锭表面的杂质，将其破碎成多个质量为100g～500g的小锭后装入密封式粉碎机中将所有小锭粉碎，得到粉碎后的锆铝16合金粉末；采用振筛机将粉碎后的锆铝16合金粉末进行振筛，得到‑400目～‑80目高纯锆铝16合金粉体，将高纯锆铝16合金粉体抽真空封装。本发明制备出的锆铝16合金粉体作为还原剂来制作碱源，将碱源应用于光电阴极，碱金属蒸气的纯度高、不含有害的杂质气体、光电阴极的灵敏度高。
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公开(公告)号：CN113308623A
公开(公告)日：2021-08-27
申请号：CN202010422097.0
申请日：2020-05-18
Applicant: 有研工程技术研究院有限公司
Abstract: 本发明公开了一种新型非蒸散型低温激活吸气剂，按质量百分比计由以下组分组成：钛63％～82％，钴13％～33％，稀土元素2％～5％。所述稀土元素为镧、铈、镨、钕中的一种或多种的混合物。本发明的非蒸散型低温激活吸气剂用于在真空中或在惰性气体中吸收活性气体，用于在电真空器件中提高或维持真空或用于提纯惰性气体。本发明所提供的非蒸散型低温激活吸气剂可在250～450℃保温15～30分钟的条件下激活，具有较好的吸气性能，且在同样的激活条件下，其吸气性能显著优于St787。从环境和安全的角度来看，该吸气剂也是安全的，不含有有毒的或能形成有毒化合物的金属。此外，Ti的储量丰富、价格较Zr便宜，该低温激活吸气剂更具经济优势。
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公开(公告)号：CN109659070A
公开(公告)日：2019-04-19
申请号：CN201811608197.1
申请日：2018-12-27
Applicant: 有研工程技术研究院有限公司
Abstract: 本发明公开了属于气体传感材料制备技术领域的一种具有气体敏感性能的柔性导电薄膜及其应用。所述柔性导电薄膜为二维纳米材料在PET薄膜基底上堆叠成三维网状结构，导电高分子材料附着在三维网状结构上形成的复合薄膜；二维纳米材料为三氧化钼、三氧化钨、四氧化三钴、氧化锡、氧化锌中的一种或多种，形状为薄片状、棒状、针状、线状或空心管状；导电高分子材料为质子化聚苯胺、聚吡咯或聚噻吩。本发明提供的柔性导电薄膜可在室温下对三乙胺、乙二胺、氨气、乙醇、丙酮、二氧化氮的气体浓度进行检测，克服了无机纳米材料的高温监测缺陷。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN119844359A
公开(公告)日：2025-04-18
申请号：CN202510104380.1
申请日：2025-01-23
Applicant: 有研工程技术研究院有限公司
IPC: F04B51/00
Abstract: 本申请涉及吸气剂测试技术领域，具体涉及一种吸气剂泵自动循环测试系统及测试方法。该系统包括真空腔室、抽真空系统、烘烤温控系统、激活电源、冷却装置和供气系统，其中连接管路上的阀门、仪表以及加热、冷却、激活电源均与数据采集系统和自动控制系统相连；另外，真空腔室被孔流板分为Pm腔室和Pg腔室，Pm腔室与供气系统相连，Pg腔室中设置待检测吸气剂泵，通过数据采集系统和自动控制系统控制系统内的阀门开关，并自动完成加热激活‑低压气室压力调整‑冷却‑吸气测试的循环，同时记录Pm腔室和Pg腔室的压力，并自动计算吸气速率、吸气容量和相应的曲线。该检测系统和方法可实现多循环吸气测试的自动控制，提高测试效率和测试准确性。
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公开(公告)号：CN114381701A
公开(公告)日：2022-04-22
申请号：CN202111536130.3
申请日：2021-12-15
Applicant: 有研工程技术研究院有限公司
IPC: C23C14/35 , C23C14/06 , C23C14/02 , H01L41/316
Abstract: 本发明公开了属于压电薄膜制备技术领域的一种增强AlScN薄膜C轴取向的方法。所述步骤包括：将Al靶、具有不同Sc含量的过渡AlSc靶以及目标AlSc靶装入磁控溅射设备，通入工作气体，调节溅射气压、气体比例和溅射功率；按Al靶、Sc含量由高到低的过渡AlSc靶以及目标AlSc靶的顺序，依次在衬底上进行溅射；结束沉积过程后，降温即得到Sc含量与目标AlSc靶金属元素原子百分比一致的高C轴取向AlScN薄膜。本发明采用的方法能够在制备高Sc含量AlScN薄膜时，改善AlScN形核生长初期晶格畸变造成的取向紊乱，进一步增强AlScN薄膜的C轴择优取向，提高其压电性能。
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公开(公告)号：CN113604721A
公开(公告)日：2021-11-05
申请号：CN202110790819.2
申请日：2021-07-13
Applicant: 有研工程技术研究院有限公司
Abstract: 本发明提出一种低温激活钛基非蒸散型吸气剂元件，成分包含钛、锆、钒、铁、铬、锰、铝元素。该吸气剂元件方便存储，均一性好，吸气性能十分优异。实验测得，本发明吸气剂合金元件中包含两种相组织，相与相之间界面清晰、分布均匀。吸气剂元件可在400℃、30min条件下完全激活，同等激活条件下吸气性能与常规锆钒铁吸气剂相比具有较大的优势，使得该产品应用潜力巨大。
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公开(公告)号：CN112973617A
公开(公告)日：2021-06-18
申请号：CN201911288533.3
申请日：2019-12-12
Applicant: 有研工程技术研究院有限公司
Abstract: 本发明涉及一种Ti薄膜吸气剂及其制备方法，属于薄膜吸气剂制备技术领域。该Ti薄膜吸气剂由一层吸气层组成，该吸气层中Ti的质量含量为99.95％以上。制备时，先采用标准RCA工艺对单晶硅基片进行清洗处理；然后采用Ti金属靶材，用磁控溅射方法将Ti沉积单晶硅基片上，得到一层致密Ti薄膜作为吸气层。本发明的Ti薄膜吸气剂可在较低温度(300～450℃)并且较短时间(10～30min)内实现激活，激活后的吸气剂在室温条件下具有良好的吸气性能，可用于消除高真空微电子器件内部的残余气体。
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公开(公告)号：CN112226740A
公开(公告)日：2021-01-15
申请号：CN202011101048.3
申请日：2020-10-15
Applicant: 有研工程技术研究院有限公司
Abstract: 本发明公开了一种碱金属源的制备方法，主要包括前驱原料提纯、粒度控制、混合、速冷、真空冷冻干燥等。本发明对原料的粒度和混合状态进行控制，从而实现对碱金属源工作时的反应速率进行控制。基于本发明制备的碱源，具有原料混合均匀、粒度一致性高等优点。
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