一种可拆卸紧凑式离子泵

    公开(公告)号:CN119400681B

    公开(公告)日:2025-03-18

    申请号:CN202411979785.1

    申请日:2024-12-31

    Abstract: 本发明属于离子泵技术领域,具体涉及一种可拆卸紧凑式离子泵。本发明公开的可拆卸紧凑式离子泵,磁铁组件包括至少一组磁铁对,所述一组磁铁对包括两个磁铁,所述两个磁铁分别设置于所述抽气筒相对的两个内壁上,所述两个磁铁之间形成磁场;本发明将磁铁组件设置于抽气筒内部,缩短了磁隙,因而在同样满足磁场要求情况下可减小磁铁厚度,使得离子泵整体结构紧凑小巧,可适用于较小安装空间的装置。本发明公开的可拆卸紧凑式离子泵,抽气筒和抽气筒盖板、电极与连接柱均为可拆卸连接,在需要维护和检修时,更加方便拆卸和安装,使用更加方便,可以适应不同场合的使用需求。

    一种可拆卸紧凑式离子泵

    公开(公告)号:CN119400681A

    公开(公告)日:2025-02-07

    申请号:CN202411979785.1

    申请日:2024-12-31

    Abstract: 本发明属于离子泵技术领域,具体涉及一种可拆卸紧凑式离子泵。本发明公开的可拆卸紧凑式离子泵,磁铁组件包括至少一组磁铁对,所述一组磁铁对包括两个磁铁,所述两个磁铁分别设置于所述抽气筒相对的两个内壁上,所述两个磁铁之间形成磁场;本发明将磁铁组件设置于抽气筒内部,缩短了磁隙,因而在同样满足磁场要求情况下可减小磁铁厚度,使得离子泵整体结构紧凑小巧,可适用于较小安装空间的装置。本发明公开的可拆卸紧凑式离子泵,抽气筒和抽气筒盖板、电极与连接柱均为可拆卸连接,在需要维护和检修时,更加方便拆卸和安装,使用更加方便,可以适应不同场合的使用需求。

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