光波导及其制造方法
    4.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101903814A

    公开(公告)日:2010-12-01

    申请号:CN200880121017.5

    申请日:2008-12-11

    CPC classification number: G02B6/138 G02B6/1221

    Abstract: 本发明提供一种光波导,其为在含有无机填充材料的树脂基板上,至少依次层叠有紫外线吸收层、下部包层、图形化的芯层以及上部包层的光波导,其特征在于,芯层的图形化是通过曝光和显影来进行的,并且,紫外线吸收层的厚度为10~50μm。本发明还提供一种光波导的制造方法,其具有:在含有无机填充材料的树脂基板上形成紫外线吸收层的工序;在该紫外线吸收层上形成下部包层的工序;在下部包层上形成芯层的工序;对芯层曝光来转印规定形状的图形的工序;进行显影来形成芯图形的工序;以及在该图形化的芯层上形成上部包层的工序。根据本发明能够制造具有高分辨率芯图形的光波导。

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