Saved successfully
Save failed
Saved Successfully
Save Failed
公开(公告)号：CN1055965A
公开(公告)日：1991-11-06
申请号：CN91102343.7
申请日：1991-03-20
Applicant: 日本钢管株式会社
Inventor： 神尾宽 , 荒木健治 , 岛芳延 , 钤木真 , 兼头武 , 中滨泰光 , 钤木威 , 藤林晃夫
IPC: C30B15/00
CPC classification number: C30B15/14
Abstract: 一种利用切克劳斯基单晶生长法的大直径单晶制造装置，在保温罩上部设置适当的开口，防止气体介质产生不良影响。开口总面积大于保温罩下端和硅熔液液面之间形成间隙的面积，保温罩和热屏蔽件用金属板构成。
