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公开(公告)号：CN1297473C
公开(公告)日：2007-01-31
申请号：CN03136649.X
申请日：2003-05-22
IPC: C01B23/00
CPC classification number: C01B21/0466 , B01D53/04 , B01D53/26 , B01D53/75 , B01D53/86 , B01D2253/108 , B01D2257/80 , C01B5/00 , C01B21/0416 , C01B21/0422 , C01B23/0021 , C01B23/0026 , C01B2210/0035 , C01B2210/0037 , C01B2210/0053 , C01B2210/0075 , Y02C20/10
Abstract: 一种气体精制方法及装置，能够有效率的除去使用氪气或氙气的各种过程的排放气体中所含有的不纯物，而且可以实现在半导体制造装置附近设置能够将排气中的稀有气体连续的分离、回收再利用的小型系统。此方法是为从以稀有气体与氮气作为主成分，且含有以氢气、氮与氢所组成的反应生成物、水蒸气作为微量不纯物的气体混和物中除去上述微量不纯物的气体精制方法，包括能够除去由氮与氢所形成的反应生成物与水蒸气的吸附过程、使氢气在氧气存在下经由氢气氧化触媒反应而能够转换成水蒸气的氢气氧化过程以及除去在氢气氧化过程中所生成的水蒸气的干燥过程，而且，在含有作为微量不纯物的氮氧化物的情况下，在吸附过程的前段，进行使氮氧化物在还原物质存在下经由脱氮触媒反应而能够转换成氮气与水蒸气的脱氮过程。
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公开(公告)号：CN1459413A
公开(公告)日：2003-12-03
申请号：CN03136649.X
申请日：2003-05-22
IPC: C01B23/00
CPC classification number: C01B21/0466 , B01D53/04 , B01D53/26 , B01D53/75 , B01D53/86 , B01D2253/108 , B01D2257/80 , C01B5/00 , C01B21/0416 , C01B21/0422 , C01B23/0021 , C01B23/0026 , C01B2210/0035 , C01B2210/0037 , C01B2210/0053 , C01B2210/0075 , Y02C20/10
Abstract: 一种气体精制方法及装置，能够有效率的除去使用氪气或氙气的各种过程的排放气体中所含有的不纯物，而且可以实现在半导体制造装置附近设置能够将排气中的稀有气体连续的分离、回收再利用的小型系统。此方法是为从以稀有气体与氮气作为主成分，且含有以氢气、氮与氢所组成的反应生成物、水蒸气作为微量不纯物的气体混和物中除去上述微量不纯物的气体精制方法，包括能够除去由氮与氢所形成的反应生成物与水蒸气的吸附过程、使氢气在氧气存在下经由氢气氧化触媒反应而能够转换成水蒸气的氢气氧化过程以及除去在氢气氧化过程中所生成的水蒸气的干燥过程，而且，在含有作为微量不纯物的氮氧化物的情况下，在吸附过程的前段，进行使氮氧化物在还原物质存在下经由脱氮触媒反应而能够转换成氮气与水蒸气的脱氮过程。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1370996A
公开(公告)日：2002-09-25
申请号：CN02103424.9
申请日：2002-02-05
Applicant: 日本酸素株式会社
CPC classification number: G01N33/0022 , G01N35/00603 , G01N2035/00881
Abstract: 本发明提供一种常时监视气体的分析计,异常时不能连续测定的场合,提供可支持连续监视状态及调查异常原因的分析系统及方法。其方式为在各采样点10a、20a、30a测定气体的分析计11、21、31的样本导入部设有三向阀或四向阀13、23、33等管路切换设备,在发生异常值或故障时,控制管路切换设备的开闭,可在其它的分析计连续或间歇地测定异常的采样点的气体。
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公开(公告)号：CN1379237A
公开(公告)日：2002-11-13
申请号：CN02103138.X
申请日：2002-01-31
Applicant: 日本酸素株式会社
IPC: G01N21/66
CPC classification number: G01N21/69
Abstract: 本发明提供一种可以连续地并且不废弃试样气体的高灵敏度地测定氮浓度的气体中的氮的测定方法及其装置。在将试样气体导入放电管内、将因放电产生的光聚焦、抽取出氮固有的波长并将其导入到检测器内,根据检测出来的光的强度连续地测定氮的浓度的方法中作为测定氮的浓度用的波长,使用下面所述的至少其中的一个波长,所述波长为215±2nm,226±2nm,238±2nm,242±2nm,246±1nm,256±2nm,260±2nm,266±2nm,271±1nm,276±4nm,285±2nm,294±1nm,300±2nm。
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公开(公告)号：CN1297814C
公开(公告)日：2007-01-31
申请号：CN02103138.X
申请日：2002-01-31
Applicant: 日本酸素株式会社
IPC: G01N21/66
CPC classification number: G01N21/69
Abstract: 本发明提供一种可以连续地并且不废弃试样气体的高灵敏度地测定氮浓度的气体中的氮的测定方法及其装置。在将试样气体导入放电管内、将因放电产生的光聚焦、抽取出氮固有的波长并将其导入到检测器内，根据检测出来的光的强度连续地测定氮的浓度的方法中作为测定氮的浓度用的波长，使用下面所述的至少其中的一个波长，所述波长为215±2nm，226±2nm，238±2nm，242±2nm，246±1nm，256±2nm，260±2nm，266±2nm，271±1nm，276±4nm，285±2nm，294±1nm，300±2nm。
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公开(公告)号：CN1407328A
公开(公告)日：2003-04-02
申请号：CN02103141.X
申请日：2002-01-31
Applicant: 日本酸素株式会社
Abstract: 本发明提供一种流体成分浓度测定方法及装置，能够实时且连续的测定，也适于管内监测，并且能够适用于高压气体而能够对应种种的成分测定。在流体流路中，试料流体流经具有一定直径小通孔13的测定用配管14，此时由测定前述小通孔13的前后的压力差(P1－P2)与此小通孔13的下游侧的流量，以测定前述试料流体的成分浓度。
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公开(公告)号：CN1222974A
公开(公告)日：1999-07-14
申请号：CN98800447.X
申请日：1998-04-08
Applicant: 日本酸素株式会社
CPC classification number: G01N21/39 , G01N21/3504
Abstract: 一种分析气体中杂质的方法,包括以下步骤:将含有杂质的气体引入第一气室(2);将无杂质的气体引入第二气室(3);保持第一和第二气室中的气压相等;从光辐照装置(1)射出光束;利用分光装置(4)将光束分开,使第一光束透过第一气室,第二光束透过第二气室;利用第一测量装置(5)测量透过第一气室的光线强度,利用第二测量装置(6)测量透过第二气室的光线强度;根据第一测量装置和第二测量装置的测量数据之间的差异确定气体中杂质的吸收谱。
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