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公开(公告)号:CN102484201B
公开(公告)日:2014-11-26
申请号:CN201080039764.1
申请日:2010-09-06
Applicant: 日本碍子株式会社
IPC: H01L41/09 , H01L41/29 , H01L41/314 , B41J2/16
CPC classification number: B41J2/161 , B41J2/1628 , B41J2/1629 , B41J2/1631 , B41J2/1632 , B41J2/1642 , B41J2/1643 , B41J2/1645 , B41J2/1646 , H01L41/0973 , H01L41/29 , H01L41/314 , H01L41/317 , Y10T29/42 , Y10T29/49128 , Y10T29/49155
Abstract: 本发明提供一种压电/电致伸缩膜型元件的制造方法,所述方法在增加最下层的电极膜的被覆率的同时,可防止空腔的平面位置与最下层的电极膜的平面位置的偏离。在制造压电/电致伸缩膜型元件时,将空腔中填充了遮光剂的基板作为掩膜通过光刻法形成下部电极膜,所述元件具有:基板;在基板的表面上与该空腔平面位置相对应而设置的层叠下部电极膜、压电/电致伸缩体膜及上部电极膜而成的振动层叠体。下部电极膜,在形成催化剂层后,通过无电解镀敷来形成。
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公开(公告)号:CN103258951A
公开(公告)日:2013-08-21
申请号:CN201310054960.1
申请日:2013-02-20
Applicant: 日本碍子株式会社
IPC: H01L41/053 , H01L41/08 , H01L41/29
CPC classification number: H01L41/047 , H01L41/29 , Y10T29/42
Abstract: 本发明提供一种压电元件,其具有陶瓷基板和电极,陶瓷基板在表面上形成有槽,电极形成在陶瓷基板的表面上且跨越槽延伸。在槽的底面与跨越该槽的部分的电极之间,形成有至少一个间隙。
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公开(公告)号:CN102906891A
公开(公告)日:2013-01-30
申请号:CN201180024975.2
申请日:2011-05-25
Applicant: 日本碍子株式会社
IPC: H01L41/22 , H01L41/187 , H01L41/25 , H01L41/43 , C04B35/493
CPC classification number: H01L41/33 , C04B35/493 , C04B2235/3206 , C04B2235/3255 , C04B2235/3279 , C04B2235/6025 , C04B2235/768 , H01L41/29 , H01L41/43 , Y10T29/42
Abstract: 一种压电元件的制造方法,具有:使用压电材料,制作包含之后成为烧成压电体的部分的生片A的过程;在该生片A的至少一面上,接合与之后成为烧成压电体的部分相面对的部分成为了开口的生片B,然后进行烧成,得到带有生片B被烧成而形成的加强板的带加强板的烧成压电体的过程;以及在该带加强板的烧成压电体的前述生片A被烧成而形成的部分,形成膜状的电极的过程。根据该压电元件的制造方法,能够得到具备平面度高的、薄的烧成压电体的压电元件。
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公开(公告)号:CN101484791B
公开(公告)日:2011-11-02
申请号:CN200780025092.7
申请日:2007-07-04
Applicant: 日本碍子株式会社
IPC: G01N11/14 , H01L41/187 , H01L41/08
Abstract: 本发明提供一种压电/电致伸缩膜型传感器20,其中,压电/电致伸缩体5含有碱金属或碱土金属,同时,该压电/电致伸缩体5的表面附近含有硫化物和端子电极18、19的主成分。该压电/电致伸缩膜型传感器20中,耐受电压以上的高电压难以作用于压电/电致伸缩体5,因此,可防止介质击穿,并且,难以带上静电,因而,可防止静电破坏,不吸引尘埃、尘土等。
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公开(公告)号:CN102105280A
公开(公告)日:2011-06-22
申请号:CN200980130284.3
申请日:2009-09-09
Applicant: 日本碍子株式会社
CPC classification number: B32B37/06 , C04B35/111 , C04B35/486 , C04B37/001 , C04B2235/6027 , C04B2235/608 , C04B2235/945 , C04B2237/343 , C04B2237/348 , C04B2237/62
Abstract: 本发明提供一种立体形成部制造方法,在该立体形成部制造方法中,准备形成有凹部(13)的模具(10),该凹部(13)正面看按照规定的形状,将浆料(20)涂布、填充到该凹部(13)内。接着,将填充有浆料(20)的模具(10)配置在多孔质基板即陶瓷生片(30)的上表面上。此时,通过吸引用连通管(51)和烧结金属(40)使陶瓷生片(30)内低压化。而且,利用加热板(60)对陶瓷生片(30)进行加热。由此,使浆料(20)中所含有的溶剂浸透并被吸收到陶瓷生片(30)的细孔内,并且蒸发。其结果,能够使干燥前的立体形成部(浆料(20))不产生变形地干燥。
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公开(公告)号:CN101182202B
公开(公告)日:2010-12-01
申请号:CN200710141896.5
申请日:2007-08-16
Applicant: 日本碍子株式会社
IPC: C04B35/465 , H01L41/187
CPC classification number: C04B35/495 , C01G29/006 , C01P2006/40 , C04B35/462 , C04B2235/3201 , C04B2235/3232 , C04B2235/3251 , C04B2235/3296 , C04B2235/3298 , C04B2235/449 , C04B2235/768 , C04B2235/77 , C04B2235/786 , H01L41/0973 , H01L41/1132 , H01L41/187
Abstract: 具有由通式(1)表示的非化学计量组成的压电/电致伸缩材料:(1-x)(BiaNabTiO3+δ)-x(KcNbO3+ζ)(1)其中,0.01≤x
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公开(公告)号:CN101684045B
公开(公告)日:2013-05-22
申请号:CN200910171905.4
申请日:2009-09-18
Applicant: 日本碍子株式会社
IPC: C04B35/622 , H01L41/39
CPC classification number: C01G23/003 , C01G25/006 , C01G33/006 , C01P2002/34 , C01P2002/72 , C04B35/46 , C04B35/491 , C04B35/493 , C04B35/62685 , C04B2235/3206 , C04B2235/3249 , C04B2235/3251 , C04B2235/5445 , C04B2235/787 , H01L41/1876 , H01L41/314 , H01L41/43 , Y10T29/42 , Y10T29/49155
Abstract: 本发明提供一种可以进一步提高特性的晶体取向陶瓷的制造方法。含本发明的晶体取向陶瓷的压电/电致伸缩体(30)的制造方法包括:制造大致为立方体形状的仿立方体形状粒子(31)的粒子制造工序;在溶剂中分散制作的仿立方体形状粒子(31)的分散工序;在基体(12)上直接或间接地形成在规定的面方向上使分散的仿立方体形状粒子(31)排列的种子部(32)和由调整到希望组成的基质粒子(33)所形成的基质部(34)的粒子部形成工序;烧成在基体(12)上形成的种子部(32)和基质部(34)的烧成工序。能够使含在基质部(34)中的基质粒子(33)的晶体方位模仿种子部(32)中含有的在规定的面方向上排列的仿立方体形状粒子(31)的晶体方位。
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公开(公告)号:CN101801671A
公开(公告)日:2010-08-11
申请号:CN200980100423.8
申请日:2009-03-26
Applicant: 日本碍子株式会社
CPC classification number: B41J2/161 , B41J2/1628 , B41J2/1629 , B41J2/1637 , B41J2/1645 , B41J2202/11
Abstract: 本发明提供一种增加了液滴吐出量的液滴吐出装置及该液滴吐出装置的制造方法。液滴吐出装置具有在基板上表面规则地排列多个振动体的结构。基板具有的结构为:具有大致平坦的上表面和下表面,在板的内部形成有会成为空洞的空洞以及会成为液体流路的吐出孔和供给孔。空洞的横宽从基板的上表面侧朝着基板的下表面侧变窄。并且,空洞深度从供给孔侧朝着吐出孔侧变深。也可以是,在供给孔侧的占相对小范围的部分中,空洞深度从供给孔侧朝着吐出孔侧变浅,在吐出孔侧的占相对大范围的部分中,空洞深度从供给孔侧朝着吐出孔侧变深。基板是通过将具有对应于空洞的立体形状的立体形状的模具压入生片的上表面来制作。
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公开(公告)号:CN101684045A
公开(公告)日:2010-03-31
申请号:CN200910171905.4
申请日:2009-09-18
Applicant: 日本碍子株式会社
IPC: C04B35/622 , H01L41/24
CPC classification number: C01G23/003 , C01G25/006 , C01G33/006 , C01P2002/34 , C01P2002/72 , C04B35/46 , C04B35/491 , C04B35/493 , C04B35/62685 , C04B2235/3206 , C04B2235/3249 , C04B2235/3251 , C04B2235/5445 , C04B2235/787 , H01L41/1876 , H01L41/314 , H01L41/43 , Y10T29/42 , Y10T29/49155
Abstract: 本发明提供一种可以进一步提高特性的晶体取向陶瓷的制造方法。含本发明的晶体取向陶瓷的压电/电致伸缩体(30)的制造方法包括:制造大致为立方体形状的仿立方体形状粒子(31)的粒子制造工序;在溶剂中分散制作的仿立方体形状粒子(31)的分散工序;在基体(12)上直接或间接地形成在规定的面方向上使分散的仿立方体形状粒子(31)排列的种子部(32)和由调整到希望组成的基质粒子(33)所形成的基质部(34)的粒子部形成工序;烧成在基体(12)上形成的种子部(32)和基质部(34)的烧成工序。能够使含在基质部(34)中的基质粒子(33)的晶体方位模仿种子部(32)中含有的在规定的面方向上排列的仿立方体形状粒子(31)的晶体方位。
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公开(公告)号:CN101182202A
公开(公告)日:2008-05-21
申请号:CN200710141896.5
申请日:2007-08-16
Applicant: 日本碍子株式会社
IPC: C04B35/465 , H01L41/187
CPC classification number: C04B35/495 , C01G29/006 , C01P2006/40 , C04B35/462 , C04B2235/3201 , C04B2235/3232 , C04B2235/3251 , C04B2235/3296 , C04B2235/3298 , C04B2235/449 , C04B2235/768 , C04B2235/77 , C04B2235/786 , H01L41/0973 , H01L41/1132 , H01L41/187
Abstract: 具有由通式(1)表示的非化学计量组成的压电/电致伸缩材料:(1-x)(BiaNabTiO3+δ)-x(KcNbO3+ζ)(1);其中,0.01≤x<0.08、a<0.5、1.01≤(a/b)≤1.08、0.92≤(a+b)/c<0.99以及0.9≤c≤1.1,并且当δ=0时ζ≠0,当ζ=0时δ≠0。
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