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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101796664A
公开(公告)日：2010-08-04
申请号：CN200980100318.4
申请日：2009-03-05
Applicant: 日本碍子株式会社
IPC: H01L41/22 , H01L41/09 , H01L41/187
CPC classification number: H01L41/317 , B41J2/161 , B41J2/1631 , B41J2/1645 , B41J2/1646 , H01L27/20 , H01L41/0973 , Y10T29/42
Abstract: 本发明提供一种压电/电致伸缩膜型元件的制造方法，该制造方法能够防止空腔的平面位置与构成由电极膜以及压电/电致伸缩体膜层叠所得振动层叠体的膜的平面位置的偏离。在制造具有基板以及由在基板的表面对应于所述空腔的平面位置而设置的由下部电极膜、压电/电致伸缩膜以及上部电极膜层叠得到的振动层叠体的压电/电致伸缩膜型元件时，以在空腔里填充有遮光剂的基板为掩模通过光刻法形成下部电极膜。其后，向着下部电极膜使压电/电致伸缩材料的粉末电泳来形成压电/电致伸缩体膜的同时，以压电/电致伸缩体膜为掩模通过光刻法形成上部电极。也可以以下部电极膜为掩模通过光刻法形成压电/电致伸缩体膜。
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公开(公告)号：CN101796664B
公开(公告)日：2013-03-13
申请号：CN200980100318.4
申请日：2009-03-05
Applicant: 日本碍子株式会社
IPC: H01L41/332
CPC classification number: H01L41/317 , B41J2/161 , B41J2/1631 , B41J2/1645 , B41J2/1646 , H01L27/20 , H01L41/0973 , Y10T29/42
Abstract: 本发明提供一种压电/电致伸缩膜型元件的制造方法，该制造方法能够防止空腔的平面位置与构成由电极膜以及压电/电致伸缩体膜层叠所得振动层叠体的膜的平面位置的偏离。在制造具有基板以及由在基板的表面对应于所述空腔的平面位置而设置的由下部电极膜、压电/电致伸缩膜以及上部电极膜层叠得到的振动层叠体的压电/电致伸缩膜型元件时，以在空腔里填充有遮光剂的基板为掩模通过光刻法形成下部电极膜。其后，向着下部电极膜使压电/电致伸缩材料的粉末电泳来形成压电/电致伸缩体膜的同时，以压电/电致伸缩体膜为掩模通过光刻法形成上部电极。也可以以下部电极膜为掩模通过光刻法形成压电/电致伸缩体膜。
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公开(公告)号：CN102484201A
公开(公告)日：2012-05-30
申请号：CN201080039764.1
申请日：2010-09-06
Applicant: 日本碍子株式会社
CPC classification number: B41J2/161 , B41J2/1628 , B41J2/1629 , B41J2/1631 , B41J2/1632 , B41J2/1642 , B41J2/1643 , B41J2/1645 , B41J2/1646 , H01L41/0973 , H01L41/29 , H01L41/314 , H01L41/317 , Y10T29/42 , Y10T29/49128 , Y10T29/49155
Abstract: 本发明提供一种压电/电致伸缩膜型元件的制造方法，所述方法在增加最下层的电极膜的被覆率的同时，可防止空腔的平面位置与最下层的电极膜的平面位置的偏离。在制造压电/电致伸缩膜型元件时，将空腔中填充了遮光剂的基板作为掩膜通过光刻法形成下部电极膜，所述元件具有：基板；在基板的表面上与该空腔平面位置相对应而设置的层叠下部电极膜、压电/电致伸缩体膜及上部电极膜而成的振动层叠体。下部电极膜，在形成催化剂层后，通过无电解镀敷来形成。
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公开(公告)号：CN1808733A
公开(公告)日：2006-07-26
申请号：CN200510134635.1
申请日：2005-12-13
Applicant: 日本碍子株式会社
IPC: H01L41/16 , C04B35/499 , C04B35/462 , C04B35/493 , H03H9/17 , B41J2/045
CPC classification number: C04B35/493 , C04B2235/3206 , C04B2235/3208 , C04B2235/3213 , C04B2235/3215 , C04B2235/3227 , C04B2235/3251 , C04B2235/3279 , C04B2235/768 , C04B2235/77 , C04B2235/786 , H01L41/0805 , H01L41/0973 , H01L41/1875
Abstract: 本发明提供了一种压电元件，该压电元件具有极高压电特性，同时，基体和压电部之间的振动传递性优良，直至达到高电压区域弯曲位移相对电压的直线性高，即使在大的弯曲位移下长期使用时也显示出高的耐久性。本发明的压电元件具备由陶瓷构成的基体2、由其组成以规定的式表示的Pb(Mg、Ni)1/3Nb2/3O3－PbZrO3－PbTiO3三组分固溶系组合物作为主成分的压电陶瓷组合物构成的压电部1以及与压电部1电连接的电极3，压电部1直接或者通过电极3固定在基体2上。
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公开(公告)号：CN102484201B
公开(公告)日：2014-11-26
申请号：CN201080039764.1
申请日：2010-09-06
Applicant: 日本碍子株式会社
IPC: H01L41/09 , H01L41/29 , H01L41/314 , B41J2/16
CPC classification number: B41J2/161 , B41J2/1628 , B41J2/1629 , B41J2/1631 , B41J2/1632 , B41J2/1642 , B41J2/1643 , B41J2/1645 , B41J2/1646 , H01L41/0973 , H01L41/29 , H01L41/314 , H01L41/317 , Y10T29/42 , Y10T29/49128 , Y10T29/49155
Abstract: 本发明提供一种压电/电致伸缩膜型元件的制造方法，所述方法在增加最下层的电极膜的被覆率的同时，可防止空腔的平面位置与最下层的电极膜的平面位置的偏离。在制造压电/电致伸缩膜型元件时，将空腔中填充了遮光剂的基板作为掩膜通过光刻法形成下部电极膜，所述元件具有：基板；在基板的表面上与该空腔平面位置相对应而设置的层叠下部电极膜、压电/电致伸缩体膜及上部电极膜而成的振动层叠体。下部电极膜，在形成催化剂层后，通过无电解镀敷来形成。
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