公开(公告)号：CN102758180A

公开(公告)日：2012-10-31

申请号：CN201210126476.0

申请日：2012-04-26

Applicant: 日本电波工业株式会社

Inventor： 关谦 ,  西利真 ,  石川裕人

IPC: C23C14/24

CPC classification number: B05C11/00 ,  C23C14/243 ,  C23C14/30 ,  G02B5/22 ,  Y10T428/24479 ,  Y10T428/24628

Abstract: 本发明提供一种光学薄膜形成用炉缸内衬，在将蒸镀材料附着在基板上而形成光学薄膜的炉缸内衬中，防止将来自电子枪的电子束照射于蒸镀材料而进行熔融/气化时所产生的暴沸(飞溅)。本发明的光学薄膜形成用炉缸内衬的特征在于，在从电子枪将电子束照射于蒸镀材料而在基板上形成光学薄膜的真空蒸镀装置的炉缸内衬(1)中，该炉缸内衬(1)的蒸镀材料收纳部(2)的截面形状为浅半圆形(球)状(碗状)。

公开(公告)号：CN101464534B

公开(公告)日：2014-06-18

申请号：CN200810179282.0

申请日：2008-12-16

Applicant: 日本电波工业株式会社

Inventor： 高田元生 ,  龟卦川伸也 ,  西利真 ,  石川裕人

IPC: G02B5/20 ,  C23C14/24

CPC classification number: G02B5/285

Abstract: 一种光学多层膜滤波器及其制造方法，通过形成光学多层膜滤波器(30)来取代氧化铟锡(ITO)，使得光学多层膜滤波器(30)的表面具有导电性，从而消除来自光学低通滤波器的静电。光学多层膜滤波器(30)是互相交替地层叠多个由高折射率材料构成的高折射率薄膜(32)和由低折射率材料构成的低折射率薄膜(33)的多层膜形成在透明基板(20)上的光学多层膜滤波器。其次，在最终层上形成由小于高折射率材料及低折射率材料的原子量组成的蒸镀材料(31)。

公开(公告)号：CN101464534A

公开(公告)日：2009-06-24

申请号：CN200810179282.0

申请日：2008-12-16

Applicant: 日本电波工业株式会社

Inventor： 高田元生 ,  龟卦川伸也 ,  西利真 ,  石川裕人

IPC: G02B5/20 ,  C23C14/24

CPC classification number: G02B5/285

Abstract: 一种光学多层膜滤波器及其制造方法，通过形成光学多层膜滤波器(30)来取代氧化铟锡(ITO)，使得光学多层膜滤波器(30)的表面具有导电性，从而消除来自光学低通滤波器的静电。光学多层膜滤波器(30)是互相交替地层叠多个由高折射率材料构成的高折射率薄膜(32)和由低折射率材料构成的低折射率薄膜(33)的多层膜形成在透明基板(20)上的光学多层膜滤波器。其次，在最终层上形成由小于高折射率材料及低折射率材料的原子量组成的蒸镀材料(31)。