公开(公告)号：CN102758180A

公开(公告)日：2012-10-31

申请号：CN201210126476.0

申请日：2012-04-26

Applicant: 日本电波工业株式会社

Inventor： 关谦 ,  西利真 ,  石川裕人

IPC: C23C14/24

CPC classification number: B05C11/00 ,  C23C14/243 ,  C23C14/30 ,  G02B5/22 ,  Y10T428/24479 ,  Y10T428/24628

Abstract: 本发明提供一种光学薄膜形成用炉缸内衬，在将蒸镀材料附着在基板上而形成光学薄膜的炉缸内衬中，防止将来自电子枪的电子束照射于蒸镀材料而进行熔融/气化时所产生的暴沸(飞溅)。本发明的光学薄膜形成用炉缸内衬的特征在于，在从电子枪将电子束照射于蒸镀材料而在基板上形成光学薄膜的真空蒸镀装置的炉缸内衬(1)中，该炉缸内衬(1)的蒸镀材料收纳部(2)的截面形状为浅半圆形(球)状(碗状)。