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公开(公告)号：CN117083704A
公开(公告)日：2023-11-17
申请号：CN202280025105.5
申请日：2022-02-04
Applicant: 日本发条株式会社
Inventor： 木田直哉 , 二口谷淳 , 藤野大辅 , 相川尚哉 , 和田惠子 , 中岛文
IPC: H01L21/683
Abstract: 本发明的载置板，具备：主体部，其形成有用于使进行热交换的介质流通的流路，并载置工件，主体部使用金属材料来形成，并具有设置于该主体部的外缘侧的加热器，在驱动加热器并使介质流通于流路的状态下，该主体部的工件载置面的外缘侧与内部侧的温差为20℃以上。
