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公开(公告)号：CN110475914B
公开(公告)日：2022-07-29
申请号：CN201880023029.8
申请日：2018-04-05
Applicant: 日本制钢所M&E株式会社 , 国立大学法人东北大学
Abstract: 本发明涉及具有优异耐腐蚀性的晶体制造用压力容器。该压力容器在容器内使用晶种、矿化剂、原料、和作为溶剂的处于超临界状态和/或亚临界状态的氨而制造晶体。所述压力容器至少在其露出的内表面的整个表面上存在Ag。可以通过例如Ag加衬、Ag焊接和Ag镀敷中的一种或两种以上的组合而配置Ag。矿化剂优选为不含氟以外的卤素原子的氟矿化剂。
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公开(公告)号：CN102695823B
公开(公告)日：2015-05-27
申请号：CN201080053298.2
申请日：2010-11-25
Applicant: 三菱化学株式会社 , 国立大学法人东北大学 , 株式会社日本制钢所
CPC classification number: C30B29/406 , C30B7/105 , C30B29/403
Abstract: 本发明提供一种氮化物结晶的制造方法，其能够抑制在晶种上以外的部分析出氮化物结晶，提高在晶种上生长的氮化镓单晶的生产效率。在装有含有矿化剂的溶液的容器内通过氨热法制造氮化物结晶时，在容器和设置于容器内的构件的表面中，与溶液接触的部分的至少一部分由含有选自钽（Ta）、钨（W）和钛（Ti）中的一种以上原子的金属或者合金构成，并且，表面粗糙度（Ra）小于1.80μm。
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公开(公告)号：CN110475914A
公开(公告)日：2019-11-19
申请号：CN201880023029.8
申请日：2018-04-05
Applicant: 株式会社日本制钢所 , 国立大学法人东北大学
Abstract: 本发明涉及具有优异耐腐蚀性的晶体制造用压力容器。该压力容器在容器内使用晶种、矿化剂、原料、和作为溶剂的处于超临界状态和/或亚临界状态的氨而制造晶体。所述压力容器至少在其露出的内表面的整个表面上存在Ag。可以通过例如Ag加衬、Ag焊接和Ag镀敷中的一种或两种以上的组合而配置Ag。矿化剂优选为不含氟以外的卤素原子的氟矿化剂。
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公开(公告)号：CN102695823A
公开(公告)日：2012-09-26
申请号：CN201080053298.2
申请日：2010-11-25
Applicant: 三菱化学株式会社 , 国立大学法人东北大学 , 株式会社日本制钢所
CPC classification number: C30B29/406 , C30B7/105 , C30B29/403
Abstract: 本发明提供一种氮化物结晶的制造方法，其能够抑制在晶种上以外的部分析出氮化物结晶，提高在晶种上生长的氮化镓单晶的生产效率。在装有含有矿化剂的溶液的容器内通过氨热法制造氮化物结晶时，在容器和设置于容器内的构件的表面中，与溶液接触的部分的至少一部分由含有选自钽（Ta）、钨（W）和钛（Ti）中的一种以上原子的金属或者合金构成，并且，表面粗糙度（Ra）小于1.80μm。
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公开(公告)号：CN102272357A
公开(公告)日：2011-12-07
申请号：CN201080004166.0
申请日：2010-01-07
Applicant: 三菱化学株式会社 , 国立大学法人东北大学
CPC classification number: B01J19/02 , B01J2219/0236 , C30B7/105 , C30B29/403 , H01L21/02389 , H01L21/02425 , H01L21/02433 , H01L21/0254 , H01L21/0262 , Y10T117/1096
Abstract: 本发明涉及氮化物结晶的制造方法、氮化物结晶及其制造装置。利用氨热法使氧浓度低的高纯度氮化物结晶高效地生长。一种氮化物结晶的制造方法，其特征在于，在反应容器内或者与反应容器连接的封闭回路内，使和氨反应生成矿化剂的反应性气体与氨接触生成矿化剂，在上述氨和上述矿化剂的存在下利用氨热法使氮化物结晶生长。
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