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公开(公告)号:CN105189626A
公开(公告)日:2015-12-23
申请号:CN201480018296.8
申请日:2014-03-26
Applicant: 日东电工株式会社
CPC classification number: C08J5/18 , C08J7/123 , C08J2300/00
Abstract: 本公开的方法是一种多孔聚合物膜的制造方法,其包括:以横穿离子束的方式运送带状的聚合物膜,由此对该膜照射离子束,从而形成经离子束中的离子碰撞后的聚合物膜的工序;和对形成的聚合物膜进行化学蚀刻,从而在该膜中形成与离子碰撞的轨迹对应的开口和/或通孔的工序,对聚合物膜照射的离子束为将原离子束(51)的尾部通过非线性聚焦法向离子束中心方向折叠而得到的离子束(11),所述原离子束由在回旋加速器中加速后的离子构成,并且关于与离子束的行进方向垂直的截面的强度分布,所述原离子束具有以离子束中心为最大强度且随着远离该中心束流强度连续降低的分布图。
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公开(公告)号:CN105073855A
公开(公告)日:2015-11-18
申请号:CN201480018259.7
申请日:2014-03-26
Applicant: 日东电工株式会社
CPC classification number: C08J5/18 , C08J7/123 , C08J2300/20
Abstract: 本公开的方法包括:工序(I),对聚合物膜(1)照射由在回旋加速器中加速后的离子(2)构成的离子束,从而形成经该离子束中的离子碰撞后的聚合物膜;和工序(II),对在工序(I)中形成的聚合物膜进行化学蚀刻,从而在聚合物膜中形成与离子碰撞的轨迹(3)对应的开口(4b)和/或通孔(4a)。在工序(I)中,在离子束的路径上的聚合物膜的上游和/或下游检测离子束的束电流值,并且基于检测出的束电流值控制离子束对聚合物膜的照射条件,使得离子对聚合物膜的照射密度为设定值。本公开的方法适合于多孔聚合物膜的工业生产。
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公开(公告)号:CN104203548A
公开(公告)日:2014-12-10
申请号:CN201380018523.2
申请日:2013-03-27
Applicant: 日东电工株式会社
CPC classification number: B29C67/20 , B01D39/1692 , B29C59/16 , B29C2035/0872 , B29D7/01 , B29K2267/003 , B29L2007/00 , C08J7/123 , C08J2367/02 , H01M4/02 , H01M4/04 , H01M4/8605 , H01M4/88 , H01M2004/021
Abstract: 本发明涉及一种多孔聚合物薄膜的制造方法,其包括:对聚合物薄膜照射由加速离子构成的离子束,从而形成经该离子束中的离子碰撞的聚合物薄膜的工序(I);对工序(I)中形成的聚合物薄膜进行化学蚀刻,从而在聚合物薄膜中形成与离子碰撞的轨迹对应的开口和/或通孔的工序(II),在工序(I)中,将聚合物薄膜配置在压力100Pa以上的气氛中,使离子束通过保持在低于上述气氛的压力的束流线以及配置于该束流线的末端的将束流线与上述气氛隔开的压力隔离片,并照射位于上述气氛中的聚合物薄膜。
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