公开(公告)号：CN101378030A

公开(公告)日：2009-03-04

申请号：CN200810130298.2

申请日：2008-06-27

Applicant: 新光电气工业株式会社

Inventor： 米仓宽 ,  吉川忠义

IPC: H01L21/683 ,  C23C16/458 ,  C23C16/46 ,  B23Q3/15 ,  H02N13/00

CPC classification number: H01L21/6833 ,  H01L21/67103 ,  H02N13/00

Abstract: 本发明的静电卡盘包括：基底部；粘结在所述基底部上的绝热层；和粘结在所述绝热层上并通过在陶瓷基板部中设置加热电极和静电卡盘(ESC)电极而构成的卡盘功能部。在所述绝热层的两个表面侧上分别设置粘合层。对于所述基底部和所述卡盘功能部以高粘合强度粘结在一起的情况，开孔形成于所述绝热层中并填充有所述粘合层。

公开(公告)号：CN101047142A

公开(公告)日：2007-10-03

申请号：CN200710086996.2

申请日：2007-03-29

Applicant: 新光电气工业株式会社

Inventor： 吉川忠义 ,  林直人 ,  米仓宽 ,  斋藤美喜 ,  玉川晃树 ,  金子等

IPC: H01L21/683 ,  B23Q3/15 ,  G02F1/133

Abstract: 本发明提供一种静电吸盘，其能够吸附保持厚度存在波动的玻璃基板等，表面平面度较差的被吸附物，并与被吸附物的个体差异无关都能够获得一定的吸附力。其特征在于，本发明的静电吸盘具备：介电层(12)，其具有吸附被吸附物的吸附面；弹性层(16)，其使介电层能够变形；以及电极(14a、14b)，其位于介电层(12)的吸附面(22)和弹性层(16)之间，用于产生吸附所必需的静电荷。

公开(公告)号：CN101465285A

公开(公告)日：2009-06-24

申请号：CN200810186474.4

申请日：2008-12-19

Applicant: 新光电气工业株式会社

Inventor： 米仓宽 ,  儿山智昭 ,  玉川晃树

IPC: H01L21/00 ,  H01L21/683

CPC classification number: H01L21/67109 ,  H01L21/6831 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

Abstract: 本发明涉及一种调节和固定基板温度的装置(10)，包括：静电卡盘(11)，其设置有基体(21)、嵌入所述基体(21)中的静电电极(22)以及嵌入所述基体(21)中以便加热所述基板(20)的电阻加热器(23)，所述基体(21)具有用于将基板(20)放置在上面的基板放置表面(21A)；以及底板(12)，其设置有用于冷却所述静电卡盘(11)的冷却机构(46)并且支撑所述静电卡盘(11)，其中在底板主体(45)的位于所述冷却机构(46)与所述静电卡盘(11)之间的部分中设置有隔热部分(47)。