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发明公开
静电吸盘无效

公开(公告)号：CN101047142A

公开(公告)日：2007-10-03

申请号：CN200710086996.2

申请日：2007-03-29

Applicant: 新光电气工业株式会社

Inventor： 吉川忠义 , 林直人 , 米仓宽 , 斋藤美喜 , 玉川晃树 , 金子等

IPC: H01L21/683 , B23Q3/15 , G02F1/133

Abstract: 本发明提供一种静电吸盘，其能够吸附保持厚度存在波动的玻璃基板等，表面平面度较差的被吸附物，并与被吸附物的个体差异无关都能够获得一定的吸附力。其特征在于，本发明的静电吸盘具备：介电层(12)，其具有吸附被吸附物的吸附面；弹性层(16)，其使介电层能够变形；以及电极(14a、14b)，其位于介电层(12)的吸附面(22)和弹性层(16)之间，用于产生吸附所必需的静电荷。

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