公开(公告)号：CN101378030A

公开(公告)日：2009-03-04

申请号：CN200810130298.2

申请日：2008-06-27

Applicant: 新光电气工业株式会社

Inventor： 米仓宽 ,  吉川忠义

IPC: H01L21/683 ,  C23C16/458 ,  C23C16/46 ,  B23Q3/15 ,  H02N13/00

CPC classification number: H01L21/6833 ,  H01L21/67103 ,  H02N13/00

Abstract: 本发明的静电卡盘包括：基底部；粘结在所述基底部上的绝热层；和粘结在所述绝热层上并通过在陶瓷基板部中设置加热电极和静电卡盘(ESC)电极而构成的卡盘功能部。在所述绝热层的两个表面侧上分别设置粘合层。对于所述基底部和所述卡盘功能部以高粘合强度粘结在一起的情况，开孔形成于所述绝热层中并填充有所述粘合层。

公开(公告)号：CN101047142A

公开(公告)日：2007-10-03

申请号：CN200710086996.2

申请日：2007-03-29

Applicant: 新光电气工业株式会社

Inventor： 吉川忠义 ,  林直人 ,  米仓宽 ,  斋藤美喜 ,  玉川晃树 ,  金子等

IPC: H01L21/683 ,  B23Q3/15 ,  G02F1/133

Abstract: 本发明提供一种静电吸盘，其能够吸附保持厚度存在波动的玻璃基板等，表面平面度较差的被吸附物，并与被吸附物的个体差异无关都能够获得一定的吸附力。其特征在于，本发明的静电吸盘具备：介电层(12)，其具有吸附被吸附物的吸附面；弹性层(16)，其使介电层能够变形；以及电极(14a、14b)，其位于介电层(12)的吸附面(22)和弹性层(16)之间，用于产生吸附所必需的静电荷。

公开(公告)号：CN101471279A

公开(公告)日：2009-07-01

申请号：CN200810176600.8

申请日：2008-12-25

Applicant: 新光电气工业株式会社

Inventor： 渡部直人 ,  吉川忠义

IPC: H01L21/683 ,  H01L21/00 ,  C23C16/458 ,  C23C16/46

CPC classification number: H01L21/6831

Abstract: 本发明提供一种静电夹盘和基板温度调节固定装置。静电夹盘用来吸附和保持放置在具有嵌入基体的静电电极的基体上表面的吸附对象，并且用来使压力经调节的惰性气体充入形成在基体的上表面和吸附对象的下表面之间的空间，其中基体包括嵌入其中的以用来将惰性气体排出到所述空间的气体排出部分和嵌入其中的以用于在与气体排出部分相通时将惰性气体导入气体排出部分的气路。