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公开(公告)号:CN101186826A
公开(公告)日:2008-05-28
申请号:CN200710107923.7
申请日:2007-05-15
Applicant: 新光电气工业株式会社
CPC classification number: H05K3/0055 , B01J19/006 , B01J19/18 , B01J19/1825 , B01J2219/00038 , B01J2219/00162 , B01J2219/00768 , C01G45/1207 , C01P2006/80 , H05K2203/0796
Abstract: 将用过的碱性高锰酸盐蚀刻液(12)供入反应室(20)内,并将诸如氢氧化钙之类的碱土氢氧化物(14)加入到反应室中,搅动反应室内部的液体,从反应室的侧部或顶部通过过滤器(28)排放液体,刮掉附着在所述过滤器上的沉淀(26),并从反应室排出沉淀,该沉淀含有不能通过过滤器的并积聚在反应室底部的难溶性或不溶性物质。