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公开(公告)号：CN101471279A
公开(公告)日：2009-07-01
申请号：CN200810176600.8
申请日：2008-12-25
Applicant: 新光电气工业株式会社
IPC: H01L21/683 , H01L21/00 , C23C16/458 , C23C16/46
CPC classification number: H01L21/6831
Abstract: 本发明提供一种静电夹盘和基板温度调节固定装置。静电夹盘用来吸附和保持放置在具有嵌入基体的静电电极的基体上表面的吸附对象，并且用来使压力经调节的惰性气体充入形成在基体的上表面和吸附对象的下表面之间的空间，其中基体包括嵌入其中的以用来将惰性气体排出到所述空间的气体排出部分和嵌入其中的以用于在与气体排出部分相通时将惰性气体导入气体排出部分的气路。
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