公开(公告)号：CN104662644A

公开(公告)日：2015-05-27

申请号：CN201380047457.1

申请日：2013-09-26

Applicant: 斯克林集团公司

Inventor： 宫城雅宏 ,  荒木浩之 ,  铃木政典 ,  佐藤朋且 ,  川濑信雄

IPC: H01L21/304 ,  B08B3/02 ,  G21K5/00 ,  G21K5/02 ,  G21K5/10 ,  H05F1/00 ,  H05F3/06 ,  B01J4/00 ,  B05C11/08 ,  B05C11/10

CPC classification number: G03F1/82 ,  G21K5/10 ,  H01L51/0004 ,  H01L21/02052 ,  H01L21/67051 ,  H01L21/67057 ,  H01L21/6776

Abstract: 本发明的处理液供给装置(100)用于从喷出口(53)喷出处理液，来将该处理液供给至处理对象物(W)，包括：第一管(51)，能够使处理液在内部流动，该第一管的内部与所述喷出口(53)相连通；X射线照射单元(62)，用于向在所述第一管(51)内存在的处理液照射X射线。所述第一管(51)的管壁上具有开口(52)，所述开口(52)被窗构件(71)堵塞，所述窗构件(71)由能够使X射线透过的材料形成，所述X射线照射单元(62)，经由所述窗构件(71)向在所述第一管(51)内存在的处理液照射X射线。

公开(公告)号：CN104662644B

公开(公告)日：2018-11-27

申请号：CN201380047457.1

申请日：2013-09-26

Applicant: 斯克林集团公司

Inventor： 宫城雅宏 ,  荒木浩之 ,  铃木政典 ,  佐藤朋且 ,  川濑信雄

IPC: H01L21/304 ,  B08B3/02 ,  G21K5/00 ,  G21K5/02 ,  G21K5/10 ,  H05F1/00 ,  H05F3/06 ,  B01J4/00 ,  B05C11/08 ,  B05C11/10

Abstract: 本发明的处理液供给装置(100)用于从喷出口(53)喷出处理液，来将该处理液供给至处理对象物(W)，包括：第一管(51)，能够使处理液在内部流动，该第一管的内部与所述喷出口(53)相连通；X射线照射单元(62)，用于向在所述第一管(51)内存在的处理液照射X射线。所述第一管(51)的管壁上具有开口(52)，所述开口(52)被窗构件(71)堵塞，所述窗构件(71)由能够使X射线透过的材料形成，所述X射线照射单元(62)，经由所述窗构件(71)向在所述第一管(51)内存在的处理液照射X射线。