基于蒙卡-有限元的MEMS器件多物理场仿真方法

    公开(公告)号:CN119476160A

    公开(公告)日:2025-02-18

    申请号:CN202411466032.0

    申请日:2024-10-21

    Applicant: 扬州大学

    Abstract: 本发明公开了一种基于蒙卡‑有限元的MEMS器件多物理场仿真方法,用于在电子辐照环境下模拟MEMS器件的性能变化,通过Geant4对高能粒子辐照过程的能量沉积进行蒙特卡洛模拟,并将能量沉积数据导出为热源功率密度,再导入COMSOL,在COMSOL中构建多物理场模型,进行电‑热‑力多物理场耦合分析,全面评估MEMS器件在复杂环境中的性能变化。本发明方法针对多物理场相互作用对器件材料、结构及功能的综合作用,同时考虑辐射场对器件的电、热、力耦合影响,提供了更加精准的仿真分析手段,从而优化MEMS器件的设计,提高其在极端条件下的可靠性。

    一种辐照条件下电迁移现象测试装置及测试方法

    公开(公告)号:CN117074918A

    公开(公告)日:2023-11-17

    申请号:CN202311077992.3

    申请日:2023-08-25

    Applicant: 扬州大学

    Abstract: 本发明公开了一种辐照条件下电迁移现象测试装置及测试方法,所述测试装置包括测试板,所述测试板包括芯片、设在芯片下方或下方的基板,以及焊接在芯片和基板之间的焊球组;辐射源,所述辐射源相对于测试板垂直布置,所述辐射源直接照射在测试板的焊球上;恒流源,所述恒流源与测试板连接并形成通电回路,所述测试板的焊球组中的位于两个端点的焊球处于上述通电回路中,作为电迁移现象的观测点,中间焊球处于通电回路之外,作为未通电的环境参考点。本发明可以对同一样品进行多次测试,可对样品的微观组织形貌进行观测。本发明方法为三维封装互连技术在航天领域的应用提供了重要的技术保障,能够提高互连结构在空间环境下的可靠性。

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