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公开(公告)号：CN104813095B
公开(公告)日：2018-05-01
申请号：CN201380060894.7
申请日：2013-09-20
Applicant: 恩特格里斯公司
CPC classification number: F17C13/12 , F17C13/04 , F17C2201/0104 , F17C2205/0326 , F17C2205/0329 , F17C2205/0335 , F17C2205/0338 , F17C2205/0344 , F17C2205/035 , F17C2205/0382 , F17C2205/0391 , F17C2221/012 , F17C2221/013 , F17C2221/015 , F17C2221/016 , F17C2227/045 , F17C2250/0626 , F17C2270/0518 , Y02E60/321 , Y10T137/7795
Abstract: 一种流体供给封装包，包括：一个压力调节流体贮存和分配容器，一个阀头，适于分配来自该容器的流体，以及一个抗压力尖峰组件，适于对抗在流体分配的初期来自所述阀头的流体的流动中的压力尖峰。
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公开(公告)号：CN108591559A
公开(公告)日：2018-09-28
申请号：CN201810283916.0
申请日：2013-09-20
Applicant: 恩特格里斯公司
Abstract: 本发明涉及压力调节器和流体供给封装包。一种流体供给封装包，包括：一个压力调节流体贮存和分配容器，一个阀头，适于分配来自该容器的流体，以及一个抗压力尖峰组件，适于对抗在流体分配的初期来自所述阀头的流体的流动中的压力尖峰。
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公开(公告)号：CN106237934B
公开(公告)日：2019-08-27
申请号：CN201610643193.1
申请日：2011-08-28
Applicant: 恩特格里斯公司
Abstract: 描述了一种设备，包括反应区，用于反应物气体与反应性固体在有效形成中间产物的条件下接触，和开口，用于使气体试剂未反应部分和中间产物离开反应区。本设备可有利地用于形成作为中间产物与反应物气体的反应产物的最终产物。反应物气体与反应性固体的反应可在第一反应区进行，而反应物气体与中间产物的反应在第二反应区进行。在具体实施中，反应物气体与中间产物的反应是可逆的，且反应物气体和中间产物以受控速率或以受控方式流入第二反应区，从而抑制形成反应性固体的逆反应。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104813095A
公开(公告)日：2015-07-29
申请号：CN201380060894.7
申请日：2013-09-20
Applicant: 恩特格里斯公司
CPC classification number: F17C13/12 , F17C13/04 , F17C2201/0104 , F17C2205/0326 , F17C2205/0329 , F17C2205/0335 , F17C2205/0338 , F17C2205/0344 , F17C2205/035 , F17C2205/0382 , F17C2205/0391 , F17C2221/012 , F17C2221/013 , F17C2221/015 , F17C2221/016 , F17C2227/045 , F17C2250/0626 , F17C2270/0518 , Y02E60/321 , Y10T137/7795
Abstract: 一种流体供给封装包，包括：一个压力调节流体贮存和分配容器，一个阀头，适于分配来自该容器的流体，以及一个抗压力尖峰组件，适于对抗在流体分配的初期来自所述阀头的流体的流动中的压力尖峰。
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公开(公告)号：CN108591559B
公开(公告)日：2019-11-29
申请号：CN201810283916.0
申请日：2013-09-20
Applicant: 恩特格里斯公司
Abstract: 本发明涉及压力调节器和流体供给封装包。一种流体供给封装包，包括：一个压力调节流体贮存和分配容器，一个阀头，适于分配来自该容器的流体，以及一个抗压力尖峰组件，适于对抗在流体分配的初期来自所述阀头的流体的流动中的压力尖峰。
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公开(公告)号：CN106237934A
公开(公告)日：2016-12-21
申请号：CN201610643193.1
申请日：2011-08-28
Applicant: 恩特格里斯公司
Abstract: 描述了一种设备，包括反应区，用于反应物气体与反应性固体在有效形成中间产物的条件下接触，和开口，用于使气体试剂未反应部分和中间产物离开反应区。本设备可有利地用于形成作为中间产物与反应物气体的反应产物的最终产物。反应物气体与反应性固体的反应可在第一反应区进行，而反应物气体与中间产物的反应在第二反应区进行。在具体实施中，反应物气体与中间产物的反应是可逆的，且反应物气体和中间产物以受控速率或以受控方式流入第二反应区，从而抑制形成反应性固体的逆反应。
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公开(公告)号：CN103201824B
公开(公告)日：2016-09-07
申请号：CN201180052929.3
申请日：2011-08-28
Applicant: 恩特格里斯公司
IPC: H01L21/265
CPC classification number: B01J8/0285 , B01J8/0465 , B01J2208/00017 , B01J2208/00389 , B01J2208/00433 , B01J2208/00539 , C01B35/061
Abstract: 描述了一种设备，包括反应区，用于反应物气体与反应性固体在有效形成中间产物的条件下接触，和开口，用于使气体试剂未反应部分和中间产物离开反应区。本设备可有利地用于形成作为中间产物与反应物气体的反应产物的最终产物。反应物气体与反应性固体的反应可在第一反应区进行，而反应物气体与中间产物的反应在第二反应区进行。在具体实施中，反应物气体与中间产物的反应是可逆的，且反应物气体和中间产物以受控速率或以受控方式流入第二反应区，从而抑制形成反应性固体的逆反应。
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公开(公告)号：CN218827033U
公开(公告)日：2023-04-07
申请号：CN202222327347.X
申请日：2022-09-01
Applicant: 恩特格里斯公司
IPC: H01L21/683 , H01L21/67
Abstract: 描述一种用于处理静电卡盘的装置，其特征在于所述装置包括：腔室，其在腔室内部含有腔室氛围，腔室吹扫气体源，其适于向所述腔室内部供应腔室吹扫气体，温度控制流体源，其适于向所述腔室内部供应温度控制流体，及温度传感器，其用于测量所述腔室内部的温度。
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