公开(公告)号：CN115763348A

公开(公告)日：2023-03-07

申请号：CN202211063859.8

申请日：2022-09-01

Applicant: 恩特格里斯公司

Inventor： C·派迪 ,  N·里查德 ,  S·唐奈 ,  S·梅尔切拉 ,  C·明斯基 ,  C·穆诺茨 ,  刘研

IPC: H01L21/683 ,  H01L21/67

Abstract: 描述用于在受控工艺条件下处理静电卡盘，包含(例如)用于在固化在所述静电卡盘的两个层之间形成接合的粘合剂的步骤期间处理静电卡盘的方法及设备(装置)。

公开(公告)号：CN218827033U

公开(公告)日：2023-04-07

申请号：CN202222327347.X

申请日：2022-09-01

Applicant: 恩特格里斯公司

Inventor： C·派迪 ,  N·里查德 ,  S·唐奈 ,  S·梅尔切拉 ,  C·明斯基 ,  C·穆诺茨 ,  刘研

IPC: H01L21/683 ,  H01L21/67

Abstract: 描述一种用于处理静电卡盘的装置，其特征在于所述装置包括：腔室，其在腔室内部含有腔室氛围，腔室吹扫气体源，其适于向所述腔室内部供应腔室吹扫气体，温度控制流体源，其适于向所述腔室内部供应温度控制流体，及温度传感器，其用于测量所述腔室内部的温度。