公开(公告)号：CN104094377A

公开(公告)日：2014-10-08

申请号：CN201280062842.9

申请日：2012-10-17

Applicant: 弗劳恩霍弗实用研究促进协会

Inventor： H.莫格纳 ,  G.马陶施 ,  C.梅茨纳 ,  M.容黑内尔 ,  R.拉比茨克 ,  L.克洛泽 ,  T.维尔纳 ,  J.库布斯

IPC: H01J37/32

CPC classification number: H01J37/32568 ,  H01J37/32055 ,  H01J37/32064 ,  H01J37/32596 ,  H01J37/32669 ,  H01J37/32807 ,  H01J2237/0822 ,  H01J2237/152 ,  H01J2237/327 ,  H05H1/48

Abstract: 本发明涉及一种用于产生空心阴极电弧放电等离子体的装置，由两个等离子体源（11；12）组成，所述等离子体源分别包括空心阴极（13；14）和属于空心阴极（13；14）的电极（15；16），该电极具有穿过该电极（15；16）延伸的开口，其中两个等离子体源（11；12）的空心阴极（13；14）被连接到脉冲发生器（17）上，所述脉冲发生器在两个空心阴极（13；14）之间产生双极中频脉冲电压。在此，在两个等离子体源（11；12）中所述空心阴极（13；14）直接地或在中间连接至少一个限制电流方向的元件（38；39）的情况下与所属的电极（15；16）导电连接。

公开(公告)号：CN103299390B

公开(公告)日：2016-04-20

申请号：CN201180051544.5

申请日：2011-09-08

Applicant: 弗劳恩霍弗实用研究促进协会

Inventor： G.马陶施 ,  P.法因奥格勒 ,  V.基尔希霍夫 ,  D.韦斯克 ,  H.弗拉斯克 ,  R.蔡贝

IPC: H01J3/02 ,  H01J37/077 ,  H01J37/075

CPC classification number: H01J37/075 ,  H01J3/025 ,  H01J37/077 ,  H01J2237/3104 ,  H01J2237/3128 ,  H01J2237/3132

Abstract: 本发明涉及一种用于产生电子束的设备，其包括：壳体（12），该壳体（12）形成可排空的空间（13）的边界并且具有电子束出射开口；用于将工作气体输送到可排空的空间（13）中的入口（16）；平面的阴极（14）和阳极（15），所述平面的阴极（14）和所述阳极（15）被布置在可排空的空间（13）中并且在所述平面的阴极（14）和所述阳极（15）之间借助所施加的电压可产生辉光放电等离子体，其中来自辉光放电等离子体的离子可被加速到所述阴极（14）的表面上。所述阴极具有：由第一材料制成的第一部分（14a），该第一部分（14a）构造所述阴极（14）的中央布置的第一表面区域；以及由第二材料制成的第二部分（14b），该第二部分（14b）构造所述阴极（14）的包围第一表面区域的第二表面区域。第一材料通过加载有被加速的离子而被加热到如下温度：在该温度下，电子主要由于热电子发射而从第一材料逸出。

公开(公告)号：CN103299390A

公开(公告)日：2013-09-11

申请号：CN201180051544.5

申请日：2011-09-08

Applicant: 弗劳恩霍弗实用研究促进协会

Inventor： G.马陶施 ,  P.法因奥格勒 ,  V.基尔希霍夫 ,  D.韦斯克 ,  H.弗拉斯克 ,  R.蔡贝

IPC: H01J3/02 ,  H01J37/077 ,  H01J37/075

CPC classification number: H01J37/075 ,  H01J3/025 ,  H01J37/077 ,  H01J2237/3104 ,  H01J2237/3128 ,  H01J2237/3132

Abstract: 本发明涉及一种用于产生电子束的设备，其包括：壳体（12），该壳体（12）形成可排空的空间（13）的边界并且具有电子束出射开口；用于将工作气体输送到可排空的空间（13）中的入口（16）；平面的阴极（14）和阳极（15），所述平面的阴极（14）和所述阳极（15）被布置在可排空的空间（13）中并且在所述平面的阴极（14）和所述阳极（15）之间借助所施加的电压可产生辉光放电等离子体，其中来自辉光放电等离子体的离子可被加速到所述阴极（14）的表面上。所述阴极具有：由第一材料制成的第一部分（14a），该第一部分（14a）构造所述阴极（14）的中央布置的第一表面区域；以及由第二材料制成的第二部分（14b），该第二部分（14b）构造所述阴极（14）的包围第一表面区域的第二表面区域。第一材料通过加载有被加速的离子而被加热到如下温度：在该温度下，电子主要由于热电子发射而从第一材料逸出。

公开(公告)号：CN104094377B

公开(公告)日：2016-05-11

申请号：CN201280062842.9

申请日：2012-10-17

Applicant: 弗劳恩霍弗实用研究促进协会

Inventor： H.莫格纳 ,  G.马陶施 ,  C.梅茨纳 ,  M.容黑内尔 ,  R.拉比茨克 ,  L.克洛泽 ,  T.维尔纳 ,  J.库布斯

IPC: H01J37/32

CPC classification number: H01J37/32568 ,  H01J37/32055 ,  H01J37/32064 ,  H01J37/32596 ,  H01J37/32669 ,  H01J37/32807 ,  H01J2237/0822 ,  H01J2237/152 ,  H01J2237/327 ,  H05H1/48

Abstract: 本发明涉及一种用于产生空心阴极电弧放电等离子体的装置，由两个等离子体源（11；12）组成，所述等离子体源分别包括空心阴极（13；14）和属于空心阴极（13；14）的电极（15；16），该电极具有穿过该电极（15；16）延伸的开口，其中两个等离子体源（11；12）的空心阴极（13；14）被连接到脉冲发生器（17）上，所述脉冲发生器在两个空心阴极（13；14）之间产生双极中频脉冲电压。在此，在两个等离子体源（11；12）中所述空心阴极（13；14）直接地或在中间连接至少一个限制电流方向的元件（38；39）的情况下与所属的电极（15；16）导电连接。