公开(公告)号：CN104094377B

公开(公告)日：2016-05-11

申请号：CN201280062842.9

申请日：2012-10-17

Applicant: 弗劳恩霍弗实用研究促进协会

Inventor： H.莫格纳 ,  G.马陶施 ,  C.梅茨纳 ,  M.容黑内尔 ,  R.拉比茨克 ,  L.克洛泽 ,  T.维尔纳 ,  J.库布斯

IPC: H01J37/32

CPC classification number: H01J37/32568 ,  H01J37/32055 ,  H01J37/32064 ,  H01J37/32596 ,  H01J37/32669 ,  H01J37/32807 ,  H01J2237/0822 ,  H01J2237/152 ,  H01J2237/327 ,  H05H1/48

Abstract: 本发明涉及一种用于产生空心阴极电弧放电等离子体的装置，由两个等离子体源（11；12）组成，所述等离子体源分别包括空心阴极（13；14）和属于空心阴极（13；14）的电极（15；16），该电极具有穿过该电极（15；16）延伸的开口，其中两个等离子体源（11；12）的空心阴极（13；14）被连接到脉冲发生器（17）上，所述脉冲发生器在两个空心阴极（13；14）之间产生双极中频脉冲电压。在此，在两个等离子体源（11；12）中所述空心阴极（13；14）直接地或在中间连接至少一个限制电流方向的元件（38；39）的情况下与所属的电极（15；16）导电连接。

公开(公告)号：CN104094377A

公开(公告)日：2014-10-08

申请号：CN201280062842.9

申请日：2012-10-17

Applicant: 弗劳恩霍弗实用研究促进协会

Inventor： H.莫格纳 ,  G.马陶施 ,  C.梅茨纳 ,  M.容黑内尔 ,  R.拉比茨克 ,  L.克洛泽 ,  T.维尔纳 ,  J.库布斯

IPC: H01J37/32

CPC classification number: H01J37/32568 ,  H01J37/32055 ,  H01J37/32064 ,  H01J37/32596 ,  H01J37/32669 ,  H01J37/32807 ,  H01J2237/0822 ,  H01J2237/152 ,  H01J2237/327 ,  H05H1/48

Abstract: 本发明涉及一种用于产生空心阴极电弧放电等离子体的装置，由两个等离子体源（11；12）组成，所述等离子体源分别包括空心阴极（13；14）和属于空心阴极（13；14）的电极（15；16），该电极具有穿过该电极（15；16）延伸的开口，其中两个等离子体源（11；12）的空心阴极（13；14）被连接到脉冲发生器（17）上，所述脉冲发生器在两个空心阴极（13；14）之间产生双极中频脉冲电压。在此，在两个等离子体源（11；12）中所述空心阴极（13；14）直接地或在中间连接至少一个限制电流方向的元件（38；39）的情况下与所属的电极（15；16）导电连接。