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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105848400A
公开(公告)日：2016-08-10
申请号：CN201610062121.8
申请日：2016-01-29
Applicant: 弗劳恩霍弗实用研究促进协会
IPC: H05H1/48
CPC classification number: H05H1/48
Abstract: 本发明涉及一种用于产生空心阴极电弧放电等离子体的装置，包括两个相对布置的空心阴极（11、12），其中空心阴极（11、12）被连接到脉冲发生器（15）上，所述脉冲发生器在两个空心阴极（11、12）之间产生双极脉冲电压。在此，两个空心阴极（11、12）之间的空间沿着延长的空心阴极轴线（13）被挡板（14）包围并且两个空心阴极（11、12）至少部分地被挡板（14）包围，其中挡板面具有至少一个开口（18）。
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公开(公告)号：CN104094377B
公开(公告)日：2016-05-11
申请号：CN201280062842.9
申请日：2012-10-17
Applicant: 弗劳恩霍弗实用研究促进协会
IPC: H01J37/32
CPC classification number: H01J37/32568 , H01J37/32055 , H01J37/32064 , H01J37/32596 , H01J37/32669 , H01J37/32807 , H01J2237/0822 , H01J2237/152 , H01J2237/327 , H05H1/48
Abstract: 本发明涉及一种用于产生空心阴极电弧放电等离子体的装置，由两个等离子体源（11；12）组成，所述等离子体源分别包括空心阴极（13；14）和属于空心阴极（13；14）的电极（15；16），该电极具有穿过该电极（15；16）延伸的开口，其中两个等离子体源（11；12）的空心阴极（13；14）被连接到脉冲发生器（17）上，所述脉冲发生器在两个空心阴极（13；14）之间产生双极中频脉冲电压。在此，在两个等离子体源（11；12）中所述空心阴极（13；14）直接地或在中间连接至少一个限制电流方向的元件（38；39）的情况下与所属的电极（15；16）导电连接。
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公开(公告)号：CN103003467A
公开(公告)日：2013-03-27
申请号：CN201180022808.4
申请日：2011-05-06
Applicant: 弗吉尼亚大学专利基金会 , 弗劳恩霍弗实用研究促进协会
CPC classification number: C23C14/325 , C23C14/0021 , C23C14/228 , H01J37/3053 , H01J37/32055 , H01J37/3233 , H01J37/32357 , H01J37/32449 , H01J37/32568 , H01J37/32614 , H01J2237/006 , H01J2237/3137
Abstract: 一种等离子体辅助定向气相沉积工艺，其利用无污电弧定向气相沉积（SA-DVD）方法来在定向气相沉积设备中产生等离子体。通过电子或其他高强度定向能量束蒸发由被包含在水冷却坩埚中的一个或多个源材料产生蒸气。该蒸气被夹带在跨音速氦气或其他气体射流中并且被输运到基板用于沉积。用于蒸发的电子或其他定向能量束被同时用于电离所述蒸气和形成射流的气体（氦气，或其他包括惰性气体和反应气体的组合的气体）。被放置在电子束撞击位置附近的阳极吸引在定向能量束与靶表面的相互作用期间形成的散射电子，并使得能够形成密度高的等离子体。该等离子体首先朝向基板被夹带蒸气的气体射流通过离子拖拽机制输运。然而，如果基板是充分带电的（被电偏置），则等离子体离子被朝向基板静电加速，并且该额外的动量有助于在部件表面上的沉积和蒸气输运。
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公开(公告)号：CN104094377A
公开(公告)日：2014-10-08
申请号：CN201280062842.9
申请日：2012-10-17
Applicant: 弗劳恩霍弗实用研究促进协会
IPC: H01J37/32
CPC classification number: H01J37/32568 , H01J37/32055 , H01J37/32064 , H01J37/32596 , H01J37/32669 , H01J37/32807 , H01J2237/0822 , H01J2237/152 , H01J2237/327 , H05H1/48
Abstract: 本发明涉及一种用于产生空心阴极电弧放电等离子体的装置，由两个等离子体源（11；12）组成，所述等离子体源分别包括空心阴极（13；14）和属于空心阴极（13；14）的电极（15；16），该电极具有穿过该电极（15；16）延伸的开口，其中两个等离子体源（11；12）的空心阴极（13；14）被连接到脉冲发生器（17）上，所述脉冲发生器在两个空心阴极（13；14）之间产生双极中频脉冲电压。在此，在两个等离子体源（11；12）中所述空心阴极（13；14）直接地或在中间连接至少一个限制电流方向的元件（38；39）的情况下与所属的电极（15；16）导电连接。
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公开(公告)号：CN103003467B
公开(公告)日：2015-04-01
申请号：CN201180022808.4
申请日：2011-05-06
Applicant: 弗吉尼亚大学专利基金会 , 弗劳恩霍弗实用研究促进协会
CPC classification number: C23C14/325 , C23C14/0021 , C23C14/228 , H01J37/3053 , H01J37/32055 , H01J37/3233 , H01J37/32357 , H01J37/32449 , H01J37/32568 , H01J37/32614 , H01J2237/006 , H01J2237/3137
Abstract: 一种等离子体辅助定向气相沉积工艺，其利用无污电弧定向气相沉积（SA-DVD）方法来在定向气相沉积设备中产生等离子体。通过电子或其他高强度定向能量束蒸发由被包含在水冷却坩埚中的一个或多个源材料产生蒸气。该蒸气被夹带在跨音速氦气或其他气体射流中并且被输运到基板用于沉积。用于蒸发的电子或其他定向能量束被同时用于电离所述蒸气和形成射流的气体（氦气，或其他包括惰性气体和反应气体的组合的气体）。被放置在电子束撞击位置附近的阳极吸引在定向能量束与靶表面的相互作用期间形成的散射电子，并使得能够形成密度高的等离子体。该等离子体首先朝向基板被夹带蒸气的气体射流通过离子拖拽机制输运。然而，如果基板是充分带电的（被电偏置），则等离子体离子被朝向基板静电加速，并且该额外的动量有助于在部件表面上的沉积和蒸气输运。
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