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公开(公告)号：CN117961763B
公开(公告)日：2024-07-12
申请号：CN202311873185.2
申请日：2023-12-29
Applicant: 广东工业大学
Abstract: 本发明提供的磁流变弹性金属接触腐蚀抛光垫，能够通过外加磁场控制抛光垫的硬度实现控制抛光垫中的金属在电解质溶液中对SiC晶片的化学腐蚀作用，本申请将金属粉末固结在抛光垫中，金属粉末颗粒在不具有腐蚀性的电解质溶液中能对SiC晶片表面发生接触腐蚀，极强氧化性的空穴将SiC表面氧化成硬度较低、结合力较小的SiO2氧化层，然后在磨料的机械作用下实现对SiC晶片表面的高效材料去除。通过调节抛光垫中的磨料对SiC表面腐蚀层的机械去除，实现化学机械作用平衡的高效材料去除、获得高质量SiC晶片表面。
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公开(公告)号：CN108274306B
公开(公告)日：2024-03-29
申请号：CN201711412761.8
申请日：2017-12-24
Applicant: 广东工业大学
Abstract: 本发明公开了一种高效高精度陶瓷球的磁流变抛光装置，包括外圈筒(1)，所述外圈筒(1)的内部设有内圈套筒(2)，所述内圈套筒(2)内设有磁铁(6)，所述内圈套筒(2)的外径上设有若干保持架(4)，所述保持架(4)上设有球容纳结构(3)，所述外圈筒(1)与所述保持架(4)之间，所述内圈套筒(2)与所述保持架(4)之间均设有磁流变抛光液空间(10)，所述球容纳结构(3)与所述磁流变抛光液空间(10)贯通设置。本发明装置填充的磁流变抛光液产生可自锐更新磨粒的磁流变抛光垫(5)，以此打磨抛光保持架(4)中的陶瓷球。其结构简单紧凑，成本低，加工效率高，能获得高表面质量和形状精度且无亚表面损伤的超精密陶瓷球。
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公开(公告)号：CN116833900A
公开(公告)日：2023-10-03
申请号：CN202310946782.7
申请日：2023-07-31
Applicant: 广东工业大学
Abstract: 本发明是一种适用于半导体晶片化学机械抛光的磁流变弹性抛光垫，该抛光垫同时实现高效磁控抛光、高效芬顿反应，通过有机硅改性聚氨酯预聚体形成有机硅‑聚氨酯基体，结合了有机硅柔软、耐水解、耐酸碱腐蚀性和聚氨酯优异的物理机械性能的特点，具有高柔性、优异的综合力学性能。抛光垫中的CIP@Fe3O4复合磁性颗粒，可以使磁流变弹性抛光垫表现出高磁流变效应，该颗粒表面的纳米级Fe3O4具有比表面积大、催化活性高，可以实现高效芬顿反应，产生的·OH可以氧化半导体晶片表面生成硬度较低、结合力较小的氧化层，降低了磨料和抛光垫机械作用下的材料去除难度，可以实现高效材料去除、获得高质量表面。
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公开(公告)号：CN109290623B
公开(公告)日：2021-01-05
申请号：CN201811230028.9
申请日：2018-10-22
Applicant: 广东工业大学
Abstract: 本发明公开了一种具有润滑油导流微沟槽的横剪刀，包括刀具本体，刀具本体的侧面竖直方向上开有输油槽，且刀具本体的侧面横向方向上开有与输油槽连通的储油槽；储油槽设于输油槽的下方，刀具本体的侧面竖直方向上开有用于给刀具本体的刀刃输送润滑油的导流槽，导流槽与储油槽相连通，导流槽设于储油槽的下方，且导流槽的输出端与刀具本体的刀刃相接触。在工作时，润滑油通过输油槽流入储油槽内，并且储油槽内的润滑油同时向多个导流槽内输送，可实现自动化供油的目的，无需人工供油，也无需另外设置一套专门的润滑剂储存、使用和废弃处理的物流系统，极大地简化了供油的结构，提高了供油的效率。
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公开(公告)号：CN109482958A
公开(公告)日：2019-03-19
申请号：CN201811230941.9
申请日：2018-10-22
Applicant: 广东工业大学
Abstract: 本发明公开了一种镶嵌固体润滑剂的微织构表面涂层自润滑横剪刀，包括刀具本体，与金属板材相接触的刀具本体的接触面上设有若干凹槽，凹槽内填充有固体润滑剂；与金属板材相接触的刀具本体的接触面上设有润滑涂层，且润滑涂层覆盖填充于凹槽内的固体润滑剂。当润滑涂层被使用完后，固体润滑剂被释放而对金属板材与刀具本体之间的接触面进行润滑，极大地增加润滑的时间，保证了润滑的持续和稳定性。由于固体润滑剂是通过加工时产生的高温作用被软化和释放，因此在刀具本体低速剪切时，固体润滑剂的润滑效果差，而本发明通过在固体润滑剂上覆盖润滑涂层，使得本体刀具在进行低速剪切时也得能进行更好的润滑，提高了刀具本体的使用范围和性能。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107014332A
公开(公告)日：2017-08-04
申请号：CN201710232870.5
申请日：2017-04-11
Applicant: 广东工业大学
Abstract: 本发明公开了一种圆盘刀刃口磨损的检测方法及装置。本发明提出的刃口磨损的检测装置，包括工作台，滚子轴承，底座，加紧螺母，橡胶垫片，L型气道块，气体流量计，气道块导轨。根据孔口流量特性及流量连续性方程，在压力差相同的情况下，当小空处流通截面发生变化时，气流量也随之变化。当圆盘刀的侧面和外圆柱面与L型气道块的两侧面贴合时，磨损的圆盘刀刃口与L型气道块的垂直角落处形成空隙，通过结构设置将此空隙变为气体流经管道的一部分。当圆盘刀刃口磨损更严重时，此处的空隙就会更大，管道内流量发生变化而在气体流量计上显示，记录此刻的刃口位置和气流量，旋转工作台对整个圆盘刀进行检测。
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公开(公告)号：CN106965041A
公开(公告)日：2017-07-21
申请号：CN201710165416.2
申请日：2017-03-20
Applicant: 广东工业大学
Abstract: 本发明公开了一种基于磁流变效应的线性抛光加工方法及其装置，本方法和装置采用组合磁流变抛光轮作为抛光工具，装置包括机床主体、工作台、工作液循环单元、抛光单元和工件装夹单元，将磁流变抛光的高效率、柔性化、绿色环保等加工特点应用到具有二维曲面、平面及其简单复合面型等工件的抛光加工过程中，由线加工实现面加工，解决了工件分次加工的弊端，实现工件精整加工，达到工件的美观性、光泽和光顺性要求，同时提高良品率和加工效率，降低加工成本。
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公开(公告)号：CN106826411A
公开(公告)日：2017-06-13
申请号：CN201710094137.1
申请日：2017-02-21
Applicant: 广东工业大学
Abstract: 本发明公开了一种凸轮驱动磁体式磁流变流体动压抛光装置及抛光方法，包括抛光盘转动机构、凸轮驱动机构、工件夹持机构和磁流变抛光液，所述抛光盘转动机构包括第一主轴、轴盖、抛光盘托盘和抛光盘，所述抛光盘的上表面沿圆周方向设有多个楔形结构，所述凸轮驱动机构包括设置抛光盘托盘内的第一轴承、凸轮盘、磁体组、弹簧以及设置在第一主轴内的第二主轴、第二轴承和轴套；所述工件夹持机构包括工件盘和固定在工件盘底部的工件；本发明通过凸轮形式驱动磁铁沿抛光盘径向运动实现柔性抛光垫的实时修复，结合抛光盘面的楔形结构产生的流体动压力实现对抛光件的高效率超光滑均匀性抛光加工，打磨均匀、效率高、效果好。
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公开(公告)号：CN104209862B
公开(公告)日：2017-01-11
申请号：CN201410424335.6
申请日：2014-08-26
Applicant: 广东工业大学
IPC: B24B53/013
Abstract: 本发明涉及一种柔性抛光垫在线修整的超光滑平面研磨抛光装置及方法。本发明的装置包括集群磁流变磨料半固着柔性抛光垫发生装置、工件装夹及间隙调整机构、柔性抛光垫实时修整装置，集群磁流变磨料半固着柔性抛光垫发生装置包括有环形研磨盘、集群磁极、分隔盘、下端盖、转盘，工件装夹及间隙调整机构包括有内支撑环、外支撑环、基准游星轮、移动圆柱、上端盖、深度尺、联接轴、胀紧套、内齿轮、外齿轮，柔性抛光垫实时在线修整装置包括有修整游星轮、磁极。本发明实现了在不更换磁流变液的情况对工件实现研磨、粗抛光到精抛光的全过程，所获得的工件表面质量好，加工效率高，而且无表面和亚表面损伤，成本低，可以用于各类光学元件及半导体基片的加工。
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公开(公告)号：CN105563239A
公开(公告)日：2016-05-11
申请号：CN201510943406.8
申请日：2015-12-15
Applicant: 广东工业大学
Abstract: 本发明提供了一种圆盘滚剪刀刃口去锐钝化处理方法，采用磁流变抛光加工原理，在圆盘滚剪刀的外圆周上套设与其间隙配合的具有凹字状槽体结构的环套，并在环套上形成凹字状分布的磁场，往环套内加注磁流变工作液，圆盘滚剪刀与环套相对转动，利用磁场边缘效应，使圆盘滚剪刀的两侧刃口在凹字状槽体结构的两个内角附近形成柔性磨刷，产生去除作用，实现对圆盘滚剪刀刃口进行去锐钝化处理。本发明还提供了一种圆盘滚剪刀刃口去锐钝化处理装置。采用本发明，能够改善圆盘滚剪刀刃口的微观轮廓形状，提高圆盘滚剪刀耐磨性和金属板材分切质量，解决现有技术中圆盘滚剪刀刃磨后手工钝圆去锐处理，造成刃口钝圆半径大、刃口形状不一致等二次损伤问题。
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