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公开(公告)号:CN117283063A
公开(公告)日:2023-12-26
申请号:CN202210683542.8
申请日:2022-06-16
Applicant: 广东工业大学
Abstract: 本发明涉及掩模微细电化学加工领域,公开了复合电化学加工装置及加工方法;复合电化学加工装置包括掩模单元、同步亲水化单元及电化学单元,掩模单元贴合在工件表面。同步等离子体亲水化装置对掩模以及掩模图案所显露的工件待加工区域进行实时亲水化处理,使复合电化学加工过程和亲水化效应同步进行,从而加工区域具备优异的工作液传质及更新能力;实时的亲水化处理效应,使得电化学加工过程中的工作液在加工区域内始终具有优异的更新和传质能力。保证电化学加工过程的稳定性和连续性,利于突破现有掩模电化学加工在微加工尺度上的制造瓶颈,实现高深径比等微结构的制备,提升掩模电化学加工的性能。
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公开(公告)号:CN116145070A
公开(公告)日:2023-05-23
申请号:CN202211102451.7
申请日:2022-09-09
Applicant: 广东工业大学
Abstract: 本发明属于涂层技术领域,公开了一种纳米碳材料改性三氧化二铝/三氧化二铬复合涂层及其制备方法和应用,所述复合涂层是先在基体上喷涂NiCrAlY粉体制得过渡层,然后在该过渡层上等离子喷涂纳米碳材料改性Al2O3‑Cr2O3复合粉体制得;所述纳米碳材料改性Al2O3‑Cr2O3复合粉体是将Cr2O3纳米粉体、Al2O3纳米粉体、纳米碳材料和有机粘结剂混合后,经喷雾造粒后筛分制得。所述复合粉体为粒径15~80μm的球形颗粒,所述复合粉体的微观结构为三维网络纳米结构,本发明的复合涂层具有高的相稳定性和耐磨损性能,为高相稳定性和高性能的Al2O3基复合涂层的制备提供了重要的途径。
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