一种复合电化学加工装置及加工方法

    公开(公告)号:CN117283063A

    公开(公告)日:2023-12-26

    申请号:CN202210683542.8

    申请日:2022-06-16

    Abstract: 本发明涉及掩模微细电化学加工领域,公开了复合电化学加工装置及加工方法;复合电化学加工装置包括掩模单元、同步亲水化单元及电化学单元,掩模单元贴合在工件表面。同步等离子体亲水化装置对掩模以及掩模图案所显露的工件待加工区域进行实时亲水化处理,使复合电化学加工过程和亲水化效应同步进行,从而加工区域具备优异的工作液传质及更新能力;实时的亲水化处理效应,使得电化学加工过程中的工作液在加工区域内始终具有优异的更新和传质能力。保证电化学加工过程的稳定性和连续性,利于突破现有掩模电化学加工在微加工尺度上的制造瓶颈,实现高深径比等微结构的制备,提升掩模电化学加工的性能。

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