公开(公告)号：CN110617779A

公开(公告)日：2019-12-27

申请号：CN201910926034.6

申请日：2019-09-27

Applicant: 广东工业大学

Inventor： 陈梅云 ,  陈锦标 ,  黄建平 ,  余浩燃 ,  林常青 ,  辜晓波 ,  谢胜利

IPC: G01B11/24

Abstract: 本发明公开了一种高精度表面形貌测量机的传感器灵敏度测量方法，该测量方法利用准直光束经过非球面反射到透镜光路的原理，推导出利用曲率半径计算灵敏度的公式并实现测量传感器的灵敏度。本方案鉴于现有复光束角度传感器灵敏度测量方法出现的步骤繁琐，精确度低，抗干扰能力差等问题，提供一种操作简单，耗时短，抗干扰能力强的传感器灵敏度测量方法对MBAS进行精确测量，使其精度可以达到理论精度，提高形貌光学测量系统的可靠性和精确性。

公开(公告)号：CN110617778A

公开(公告)日：2019-12-27

申请号：CN201910926025.7

申请日：2019-09-27

Applicant: 广东工业大学

Inventor： 陈梅云 ,  黄建平 ,  余浩燃 ,  陈锦标 ,  夏益民 ,  周郭许 ,  谢胜利

IPC: G01B11/24

Abstract: 本发明公开了一种基于复光束角度传感器的大型非球面形貌检测方法，包括如下步骤：步骤S1：将大型非球面工件放置在用于测量的倾斜台上，并从硬件和软件两方面消除测量误差；步骤S2：角度差的测量：使用傅里叶变换算法对大型非球面进行一次圆周扫描；步骤S3：通过角度差Δc计算轮廓P；步骤S4：大型非球面的轮廓测量。该检测方法属于非接触式的形貌测量技术，可以解决接触性检测因物理接触而造成的被测表面损伤；该检测方法有周向扫描功能，可以解决相移干涉测量法适用的测量尺度范围较小的缺点，该装置通过对不同半径的圆形扫描进行重复实验，以获得表面的整体形状，并重建大型非球面的表面形貌，可以解决莫尔测偏法测量精度较低的不足。

公开(公告)号：CN110702029A

公开(公告)日：2020-01-17

申请号：CN201910926011.5

申请日：2019-09-27

Applicant: 广东工业大学

Inventor： 陈梅云 ,  余浩燃 ,  黄建平 ,  陈锦标 ,  林常青 ,  王晗 ,  谢胜利

IPC: G01B11/24 ,  G06T5/00

Abstract: 本发明公开了一种基于QT图形界面的三维形貌测量机控制方法，包括如下步骤：设定轴序数；设置电机旋转的速度和加速度；设置电机旋转方向和角度，使被测工件能在电机上进行特定的旋转，方便相机收集数据；初始化相机系统；从相机系统中获取已连接的所有相机的相机列表，并获取相机列表中的编号；根据需要修改指定相机内部参数；开启连续存储多张模式，开始进行相机的数据采集；图像数据转换完成后，点击界面按钮保存图像数据，图片则以JPG格式保存在特定的数据库中；数据采集完毕后，关闭当前所用相机，注销三维形貌测量机控制系统。本方案与现有技术相比具有很强的适应性，根据不同环境与工件，能通过实时调参来获得最好的数据采集效果。

公开(公告)号：CN110617778B

公开(公告)日：2021-06-22

申请号：CN201910926025.7

申请日：2019-09-27

Applicant: 广东工业大学

Inventor： 陈梅云 ,  黄建平 ,  余浩燃 ,  陈锦标 ,  夏益民 ,  周郭许 ,  谢胜利

IPC: G01B11/24

Abstract: 本发明公开了一种基于复光束角度传感器的大型非球面形貌检测方法，包括如下步骤：步骤S1：将大型非球面工件放置在用于测量的倾斜台上，并从硬件和软件两方面消除测量误差；步骤S2：角度差的测量：使用傅里叶变换算法对大型非球面进行一次圆周扫描；步骤S3：通过角度差Δc计算轮廓P；步骤S4：大型非球面的轮廓测量。该检测方法属于非接触式的形貌测量技术，可以解决接触性检测因物理接触而造成的被测表面损伤；该检测方法有周向扫描功能，可以解决相移干涉测量法适用的测量尺度范围较小的缺点，该装置通过对不同半径的圆形扫描进行重复实验，以获得表面的整体形状，并重建大型非球面的表面形貌，可以解决莫尔测偏法测量精度较低的不足。