具有可变电容元件的电子设备及其制造方法

    公开(公告)号:CN103430260B

    公开(公告)日:2016-03-30

    申请号:CN201180069245.4

    申请日:2011-03-16

    CPC classification number: H01G5/16 H01G5/18

    Abstract: 本发明提供一种能够可靠地控制可动电极的动作的可变电容元件。具有可变电容元件的电子设备具有:给予物理性支承的支承基板;一对固定部件,其被形成在支承基板上,并且具有与支承基板表面垂直方向的支承部;可动电极,其被一对固定部件的支承部支承,对置的第一侧面和第二侧面构成电极面,并且至少一部分能够弹性变形;第一固定电极,其被支承在支承基板上,具有与可动电极的第一侧面对置的第一电极面;以及第二固定电极,其被支承在支承基板上,具有与可动电极的第二侧面对置的第二电极面。

    可变电容元件、可变电容设备和驱动可变电容元件的方法

    公开(公告)号:CN102054587B

    公开(公告)日:2012-11-28

    申请号:CN201010532052.5

    申请日:2010-10-27

    CPC classification number: H01G5/015 H01G5/16

    Abstract: 本发明涉及可变电容元件、可变电容设备和驱动可变电容元件的方法。可变电容元件包括第一固定电极和第二固定电极,其相互绝缘;可动电极,其设置成面对所述第一固定电极和所述第二固定电极;电介质层,其设置在所述可动电极与所述第一固定电极以及所述第二固定电极之间;第一接线部分,其用于根据所述可动电极的电位将第一驱动电压施加到所述第一固定电极;和第二接线部分,其用于根据所述可动电极的电位将第二驱动电压施加到所述第二固定电极,所述第二驱动电压具有与所述第一驱动电压的极性不同的极性。

    电子设备
    4.
    发明授权

    公开(公告)号:CN101447277B

    公开(公告)日:2011-11-23

    申请号:CN200810149795.7

    申请日:2008-09-27

    Abstract: 一种电子设备,包括:基板;螺旋形状并设置在基板上的第一线圈;螺旋形状的第二线圈,与第一线圈几乎重叠,并设置在第一线圈上方并与其隔开,并且这两个线圈之间填充有空气;第一连接部,其电连接这两个线圈,设置在第一线圈和第二线圈的最内周的端部;第一导线,设置在基板上并直接连接至第一线圈的最外周的端部,将第一线圈连接至外部;设置在第二线圈的最外周的端部的第三连接部;第二导线,通过第三连接部与第二线圈电联接且将其连接至外部;第二连接部和第四连接部,分别机械连接至第二线圈的最外周的外侧面和最内周的内侧面,均在未设置所述第一导线和第二导线或在未设置第一线圈之处设置在所述基板上,第四连接部包括绝缘体。

    制造MEMS器件的方法以及为此使用的衬底

    公开(公告)号:CN102190285A

    公开(公告)日:2011-09-21

    申请号:CN201110043033.0

    申请日:2011-02-21

    CPC classification number: H01H59/0009 Y10T428/24521 Y10T428/24562

    Abstract: 本发明公开一种制造MEMS器件的方法以及为此使用的衬底。一种用于制造MEMS器件的方法,包括:制备具有第一衬底和第二衬底的衬底,其中在第一衬底中形成腔体,第二衬底被结合到第一衬底的、其上形成腔体的那一侧,并且包括在与腔体相对应的位置对可移动部分进行划界的狭缝,第二衬底包括面向第一衬底的第一表面并且设置有选择性地在与移动部分相对应的位置中形成在第一表面上的热氧化膜;在第二表面上形成第一电极层,该第二表面与其上形成用于可移动部分的热氧化膜第一表面相反;在第一电极层和第二衬底上形成牺牲层;在牺牲层上形成第二电极层;以及在形成第二电极层之后移除牺牲层和热氧化膜。

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