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公开(公告)号：CN101276691B
公开(公告)日：2011-12-21
申请号：CN200810086194.6
申请日：2008-03-18
Applicant: 富士通株式会社
CPC classification number: H01G5/16 , B81B7/008 , B81C99/003 , H01H2059/0018
Abstract: 本发明提供了一种驱动控制微机械装置的设备和方法。在所述驱动控制微机械装置的方法中，所述微机械装置包括两个相对的电极和夹在电极之间的电介质层，在两个所述电极之间提供控制电压，所述控制电压为正极性和负极性交替反转的矩形波形。检测由于提供所述控制电压而通过所述微机械装置的电流的正侧和负侧，基于检测到的电流，关于所述正侧和负侧获取所述微机械装置的电容的时间常数或用于识别出所述电容的时间常数所需的参数。将所述控制电压控制为使得关于所述正侧和负侧获取的所述参数互相一致。这样，在可变电容装置的交换驱动中可抑制电容在正侧与负侧之间的变化。
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公开(公告)号：CN100527301C
公开(公告)日：2009-08-12
申请号：CN200610141688.0
申请日：2006-10-08
Applicant: 富士通媒体部品株式会社 , 富士通株式会社
CPC classification number: H01H9/40 , H01H1/0036 , H01H9/42 , H01H2001/0078
Abstract: 一种开关包括：第一构件，其一端固定在基板上；多个第一梁部分，其分别具有多个第一接触部分，该多个梁部分的一端固定在所述第一构件上；多个接触开关部分，其并联连接，所述多个第一接触部分和多个第二接触部分在所述多个接触开关部分中处于接触状态或非接触状态；以及多个电阻器，其器分别设置在所述多个接触开关部分与所述多个接触开关部分所连接到的公共连接点之间，当所述多个开关部分中的至少一个处于接触状态时，所述电阻器中的与所述多个开关部分中的处于接触状态的所述至少一个开关部分相对应的一个电阻器的电阻值大于所述电阻器中的与所述多个接触开关部分中的处于非接触状态的至少一个接触开关部分相对应的另一个电阻器的电阻值。
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公开(公告)号：CN100511996C
公开(公告)日：2009-07-08
申请号：CN200510051298.X
申请日：2005-03-03
Applicant: 富士通媒体部品株式会社 , 富士通株式会社
IPC: H03H9/25
CPC classification number: H03H9/02559 , H01L41/312 , H03H9/02574
Abstract: 接合基板、表面声波芯片以及表面声波器件。接合基板包括钽酸锂基板及与钽酸锂基板相接合的蓝宝石基板，钽酸锂基板和蓝宝石基板的接合界面包括厚度为0.3nm到2.5nm、处于非晶态的接合区域。处于非晶态的接合区域是通过利用惰性气体或氧的中性化原子束、离子束或者等离子体在接合界面中激活钽酸锂基板和蓝宝石基板中的至少一方来形成的。可以无需高温热处理而将压电基板与具有不同晶格常数的支撑基板相接合，并且可以实现具有优良接合强度和更小翘曲的接合基板。
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公开(公告)号：CN101231921A
公开(公告)日：2008-07-30
申请号：CN200810008706.7
申请日：2008-01-24
Applicant: 富士通株式会社 , 富士通媒体部品株式会社
CPC classification number: H01G5/18 , H03H7/38 , H03H2007/006
Abstract: 本发明提供一种用于微机械装置的驱动控制方法及装置。该微机械装置由彼此相对的第一电极和第二电极、以及设置在该第一电极与该第二电极之间的介电层构成。该驱动控制方法包括如下步骤：在该第一电极与该第二电极之间施加控制电压，以对该第一电极和该第二电极施加用于使该第一电极或该第二电极移位的静电力；以及以预定周期或比该预定周期更短的周期切换该控制电压的极性。本发明能够抑制微机械装置的电压控制特性中的磁滞现象的产生，并且能够比传统方法更容易地执行更精确的控制。
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公开(公告)号：CN102800478B
公开(公告)日：2016-02-10
申请号：CN201210247006.X
申请日：2008-01-24
Applicant: 富士通株式会社
CPC classification number: H01G5/18 , H03H7/38 , H03H2007/006
Abstract: 本发明提供一种可变电容开关、阻抗匹配电路、以及发送和接收切换电路。该可变电容开关由微机械装置制成，该微机械装置包括彼此相对的第一电极和第二电极、以及设置在该第一电极与该第二电极之间的介电层，当在该第一电极与该第二电极之间施加控制电压时，该第一电极或该第二电极发生位移，以导通或断开电路，其中，选择并形成该介电层的材料和厚度，使得在以5毫秒的周期切换该控制电压的极性时，该第一电极与该第二电极之间的电容相对其电容初始值的改变量为10％或更小。本发明能够抑制微机械装置的电压控制特性中的磁滞现象的产生，并且能够比传统方法更容易地执行更精确的控制。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102800478A
公开(公告)日：2012-11-28
申请号：CN201210247006.X
申请日：2008-01-24
Applicant: 富士通株式会社
CPC classification number: H01G5/18 , H03H7/38 , H03H2007/006
Abstract: 本发明提供一种可变电容开关、阻抗匹配电路、以及发送和接收切换电路。该可变电容开关由微机械装置制成，该微机械装置包括彼此相对的第一电极和第二电极、以及设置在该第一电极与该第二电极之间的介电层，当在该第一电极与该第二电极之间施加控制电压时，该第一电极或该第二电极发生位移，以导通或断开电路，其中，选择并形成该介电层的材料和厚度，使得在以5毫秒的周期切换该控制电压的极性时，该第一电极与该第二电极之间的电容相对其电容初始值的改变量为10％或更小。本发明能够抑制微机械装置的电压控制特性中的磁滞现象的产生，并且能够比传统方法更容易地执行更精确的控制。
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公开(公告)号：CN101226856B
公开(公告)日：2012-05-09
申请号：CN200810001293.X
申请日：2008-01-17
Applicant: 富士通株式会社
CPC classification number: H01H57/00 , H01H59/0009 , H01H61/04 , H01H2057/006 , H01H2061/006 , Y10T29/49105
Abstract: 一种用于传统技术中无线通讯设备的微开关器件及其制造方法，所述微开关器件包括：固定部；可移动部；第一电极，具有第一触点和第二触点；第二电极，具有与第一触点相接触的第三触点；以及第三电极，具有与第二触点相对的第四触点。在制造微开关器件的过程中，在衬底上形成第一电极，再在衬底上形成牺牲层以覆盖第一电极。然后，在牺牲层中对应于第一电极的位置形成第一凹部和较浅的第二凹部。形成第二电极，第二电极具有经由牺牲层与第一电极相对的部分并且填充第一凹部。形成第三电极，第三电极具有经由牺牲层与第一电极相对的部分并且填充第二凹部。然后去除牺牲层。所述微开关器件能够抑制可移动接触电极在朝着固接接触电极的方向上的波动。
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公开(公告)号：CN100508380C
公开(公告)日：2009-07-01
申请号：CN200410090409.3
申请日：2004-11-12
Applicant: 富士通媒体部品株式会社 , 富士通株式会社
CPC classification number: H03H9/0222 , H03H3/08
Abstract: 一种弹性边界波装置，包括：一第一压电基板；设置在第一压电基板上的梳状电极；一第一电介质膜，该第一电介质膜具有覆盖这些梳状电极的平滑表面；一第二基板，该第二基板是基于硅的基板；一第二电介质膜，被设置在第二基板的主表面上。第一电介质表面的平滑表面和第二电介质膜的一表面连接在一起。
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公开(公告)号：CN101009173A
公开(公告)日：2007-08-01
申请号：CN200710004091.6
申请日：2007-01-23
Applicant: 富士通株式会社 , 富士通媒体部品株式会社
CPC classification number: B81C1/00944
Abstract: 本发明提供一种微结构的制造方法及微结构。其中适于避免粘附现象的微结构包括基板、与基板结合的第一结构部、以及具有固定在第一结构部上的固定端且与基板相对的第二结构部。通过对具有叠层结构的材料衬底进行处理的方法制造这样的微结构，其中该叠层结构包括第一层、第二层以及在第一层和第二层之间的中间层。通过所述方法形成该第一层，该第一层具有第一结构部、具有固定在第一结构部上的固定端的第二结构部、以及桥接第一结构部和第二结构部的支撑臂。然后，进行湿法蚀刻除去中间层的位于第二层和第二结构部之间的区域，之后进行干燥步骤和对支撑臂的切割步骤。
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公开(公告)号：CN101276691A
公开(公告)日：2008-10-01
申请号：CN200810086194.6
申请日：2008-03-18
Applicant: 富士通株式会社
CPC classification number: H01G5/16 , B81B7/008 , B81C99/003 , H01H2059/0018
Abstract: 本发明提供了一种驱动控制微机械装置的设备和方法。在所述驱动控制微机械装置的方法中，所述微机械装置包括两个相对的电极和夹在电极之间的电介质层，在两个所述电极之间提供控制电压，所述控制电压为正极性和负极性交替反转的矩形波形。关于正侧和负侧检测由于提供所述控制电压而通过所述微机械装置的电流，基于检测到的电流，关于所述正侧和负侧获取与所述微机械装置的电容有关的参数。将所述控制电压控制为使得关于所述正侧和负侧获取的所述参数互相一致。这样，在可变电容装置的交换驱动中可抑制电容在正侧与负侧之间的变化。
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