-
公开(公告)号：CN101009173A
公开(公告)日：2007-08-01
申请号：CN200710004091.6
申请日：2007-01-23
Applicant: 富士通株式会社 , 富士通媒体部品株式会社
CPC classification number: B81C1/00944
Abstract: 本发明提供一种微结构的制造方法及微结构。其中适于避免粘附现象的微结构包括基板、与基板结合的第一结构部、以及具有固定在第一结构部上的固定端且与基板相对的第二结构部。通过对具有叠层结构的材料衬底进行处理的方法制造这样的微结构，其中该叠层结构包括第一层、第二层以及在第一层和第二层之间的中间层。通过所述方法形成该第一层，该第一层具有第一结构部、具有固定在第一结构部上的固定端的第二结构部、以及桥接第一结构部和第二结构部的支撑臂。然后，进行湿法蚀刻除去中间层的位于第二层和第二结构部之间的区域，之后进行干燥步骤和对支撑臂的切割步骤。
-
公开(公告)号：CN100527301C
公开(公告)日：2009-08-12
申请号：CN200610141688.0
申请日：2006-10-08
Applicant: 富士通媒体部品株式会社 , 富士通株式会社
CPC classification number: H01H9/40 , H01H1/0036 , H01H9/42 , H01H2001/0078
Abstract: 一种开关包括：第一构件，其一端固定在基板上；多个第一梁部分，其分别具有多个第一接触部分，该多个梁部分的一端固定在所述第一构件上；多个接触开关部分，其并联连接，所述多个第一接触部分和多个第二接触部分在所述多个接触开关部分中处于接触状态或非接触状态；以及多个电阻器，其器分别设置在所述多个接触开关部分与所述多个接触开关部分所连接到的公共连接点之间，当所述多个开关部分中的至少一个处于接触状态时，所述电阻器中的与所述多个开关部分中的处于接触状态的所述至少一个开关部分相对应的一个电阻器的电阻值大于所述电阻器中的与所述多个接触开关部分中的处于非接触状态的至少一个接触开关部分相对应的另一个电阻器的电阻值。
-
公开(公告)号：CN1979714A
公开(公告)日：2007-06-13
申请号：CN200610146780.6
申请日：2006-11-24
Applicant: 富士通媒体部品株式会社 , 富士通株式会社
CPC classification number: B81B3/0086 , B81B2201/018 , G02B6/3566 , G02B6/357 , G02B6/3584 , H01H59/0009 , H01H2059/0054
Abstract: 本发明公开了一种开关。该开关包括：多个扭转弹簧，每个扭转弹簧的一端都固定在基板上；梁部分，所述多个扭转弹簧的另一端都固定于其上，其通过静电致动器进行摆动；以及开关接触部分，其中设置在所述梁部分处的第一触点和固定于所述基板上的第二触点处于连接或断开状态。
-
公开(公告)号：CN1945768A
公开(公告)日：2007-04-11
申请号：CN200610141688.0
申请日：2006-10-08
Applicant: 富士通媒体部品株式会社 , 富士通株式会社
CPC classification number: H01H9/40 , H01H1/0036 , H01H9/42 , H01H2001/0078
Abstract: 一种开关包括：第一构件，其一端固定在基板上；多个第一梁部分，其分别具有多个第一接触部分，该多个梁部分的一端固定在所述第一构件上；多个接触开关部分，其并联连接，所述多个第一接触部分和多个第二接触部分在所述多个接触开关部分中处于接触状态或非接触状态；以及多个电阻器，其电阻器分别设置在所述多个接触开关部分与所述多个接触开关部分所连接到的公共连接点之间，当所述多个开关部分中的至少一个处于接触状态时，所述电阻器中的与所述多个开关部分中的处于接触状态的所述至少一个开关部分相对应的一个电阻器的电阻值大于所述电阻器中的与所述多个接触开关部分中的处于非接触状态的至少一个接触开关部分相对应的另一个电阻器的电阻值。
-
公开(公告)号：CN101226856B
公开(公告)日：2012-05-09
申请号：CN200810001293.X
申请日：2008-01-17
Applicant: 富士通株式会社
CPC classification number: H01H57/00 , H01H59/0009 , H01H61/04 , H01H2057/006 , H01H2061/006 , Y10T29/49105
Abstract: 一种用于传统技术中无线通讯设备的微开关器件及其制造方法，所述微开关器件包括：固定部；可移动部；第一电极，具有第一触点和第二触点；第二电极，具有与第一触点相接触的第三触点；以及第三电极，具有与第二触点相对的第四触点。在制造微开关器件的过程中，在衬底上形成第一电极，再在衬底上形成牺牲层以覆盖第一电极。然后，在牺牲层中对应于第一电极的位置形成第一凹部和较浅的第二凹部。形成第二电极，第二电极具有经由牺牲层与第一电极相对的部分并且填充第一凹部。形成第三电极，第三电极具有经由牺牲层与第一电极相对的部分并且填充第二凹部。然后去除牺牲层。所述微开关器件能够抑制可移动接触电极在朝着固接接触电极的方向上的波动。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1815657A
公开(公告)日：2006-08-09
申请号：CN200510108574.1
申请日：2005-10-12
Applicant: 富士通株式会社
CPC classification number: H01H57/00 , H01H59/0009 , H01H2057/006
Abstract: 一种微型开关元件，包括基础基板、连接到该基础基板的固定部、及包括固定到该固定部的固定端的活动部。该活动部由该固定部通过具有一对闭合端的狭槽围绕。该活动部包括第一表面和第二表面。该第一表面朝向该基础基板，并且该第二表面与该第一表面相对。该微型开关元件还包括活动接触部，其设置于该活动部的第二表面上；以及一对固定接触电极，每个固定接触电极包括朝向该活动接触部的接触表面。该固定接触电极连接到该固定部上。
-
公开(公告)号：CN101226856A
公开(公告)日：2008-07-23
申请号：CN200810001293.X
申请日：2008-01-17
Applicant: 富士通株式会社
CPC classification number: H01H57/00 , H01H59/0009 , H01H61/04 , H01H2057/006 , H01H2061/006 , Y10T29/49105
Abstract: 一种微开关器件及其制造方法，所述微开关器件包括：固定部；可移动部；第一电极，具有第一触点和第二触点；第二电极，具有与第一触点相接触的第三触点；以及第三电极，具有与第二触点相对的第四触点。在制造微开关器件的过程中，在衬底上形成第一电极，再在衬底上形成牺牲层以覆盖第一电极。然后，在牺牲层中对应于第一电极的位置形成第一凹部和较浅的第二凹部。形成第二电极，第二电极具有经由牺牲层与第一电极相对的部分并且填充第一凹部。形成第三电极，第三电极具有经由牺牲层与第一电极相对的部分并且填充第二凹部。然后去除牺牲层。
-
公开(公告)号：CN101224865A
公开(公告)日：2008-07-23
申请号：CN200710196910.1
申请日：2007-12-06
Applicant: 富士通株式会社
CPC classification number: H01H59/0009 , H01H2059/0081 , Y10T29/49105
Abstract: 一种微开关器件及其制造方法，所述微开关器件包括：基部衬底；位于衬底上的固定件；可移动部件，具有固定到固定件的端部，并且沿着衬底延伸；可移动接触电极，设置在可移动部件上并且背对衬底；固接接触电极对，接合到固定件，并且包括面对可移动接触电极的区域；可移动驱动器电极，设置在可移动部件上背对衬底的表面上，并位于可移动接触电极与固接端之间；以及固接驱动器电极，接合到固定件，并且包括具有面对可移动驱动器电极的区域的增高部分。增高部分具有面对可移动驱动器电极的台阶，其中距可移动接触电极越远的台阶越靠近衬底。本发明所提供的微开关器件可以有效降低其驱动电压。
-
公开(公告)号：CN101224865B
公开(公告)日：2011-11-02
申请号：CN200710196910.1
申请日：2007-12-06
Applicant: 富士通株式会社
IPC: H01L21/76
CPC classification number: H01H59/0009 , H01H2059/0081 , Y10T29/49105
Abstract: 一种微开关器件及其制造方法，所述微开关器件包括：基部衬底；位于衬底上的固定件；可移动部件，具有固定到固定件的端部，并且沿着衬底延伸；可移动接触电极，设置在可移动部件上并且背对衬底；固接接触电极对，接合到固定件，并且包括面对可移动接触电极的区域；可移动驱动器电极，设置在可移动部件上背对衬底的表面上，并位于可移动接触电极与固接端之间；以及固接驱动器电极，接合到固定件，并且包括具有面对可移动驱动器电极的区域的增高部分。增高部分具有面对可移动驱动器电极的台阶，其中距可移动接触电极越远的台阶越靠近衬底。本发明所提供的微开关器件可以有效降低其驱动电压。
-
公开(公告)号：CN101224866B
公开(公告)日：2011-03-02
申请号：CN200710196911.6
申请日：2007-12-06
Applicant: 富士通株式会社
CPC classification number: H01H47/325 , H01H59/0009
Abstract: 一种微开关器件，包括设置在可移动支撑件上的可移动电极，该可移动支撑件具有固定到固定件的端部。该微开关器件也包括第一和第二固接电极。可移动电极包括第一和第二接触部分。第一固接电极包括与可移动电极的第一接触部分相对的第三接触部分。第二固接电极包括与可移动电极的第二接触部分相对的第四接触部分。第一与第三接触部分之间的距离小于第二与第四接触部分之间的距离。开关器件还包括驱动机构，该驱动机构具有在可移动支撑件上设置的驱动力生成区域。驱动力生成区域的重心距第二接触部分比距第一接触部分更近。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
18
records
(took 0.039 seconds)
