公开(公告)号：CN102237405A

公开(公告)日：2011-11-09

申请号：CN201110122187.9

申请日：2011-05-06

Applicant: 富士通半导体股份有限公司

Inventor： 秋山深一 ,  温井健司 ,  加藤睦 ,  渡边芳孝 ,  伊藤哲也 ,  藤泽洋一 ,  佐藤俊哉 ,  细田勉 ,  佐藤勇一

IPC: H01L29/778 ,  H01L29/201 ,  H01L29/40 ,  H01L21/335 ,  H01L21/28

CPC classification number: H01L29/778 ,  H01L21/324 ,  H01L29/1029 ,  H01L29/2003 ,  H01L29/41725 ,  H01L29/4236 ,  H01L29/66431 ,  H01L29/66462 ,  H01L29/7787

Abstract: 复合半导体器件，其包括：基板；形成在基板上的复合半导体层；形成在复合半导体层上的第一绝缘膜；形成在第一绝缘膜上的第二绝缘膜；以及各自形成在复合半导体层上的栅极、源极和漏极，其中栅极由经由至少栅绝缘层填充有第一导电材料的第一开口形成，且第一开口形成在第一绝缘膜中且被配置，使部分地露出复合半导体层，并且其中源极和漏极由填充有至少第二导电材料的一对第二开口形成，且第二开口形成在至少第二绝缘膜和第一绝缘膜中并被配置，使部分地露出复合半导体层。

公开(公告)号：CN102683405A

公开(公告)日：2012-09-19

申请号：CN201210031265.9

申请日：2012-02-09

Applicant: 富士通半导体股份有限公司

Inventor： 竹前义博 ,  细田勉 ,  佐藤俊哉

IPC: H01L29/778 ,  H01L29/40

Abstract: 一种晶体管电路包括：第一高电子迁移率晶体管；以及第二高电子迁移率晶体管，具有负阈值电压，其中第二高电子迁移率晶体管的源极耦接至第一高电子迁移率晶体管的栅极，以及第二高电子迁移率晶体管的栅极耦接至第一高电子迁移率晶体管的源极。本发明可以提高高电子迁移率晶体管的耐受电压。