半导体元件
    1.
    发明授权

    公开(公告)号:CN100530679C

    公开(公告)日:2009-08-19

    申请号:CN200510088801.9

    申请日:2005-07-29

    CPC classification number: H01L29/0634

    Abstract: 本发明提供一种超接合半导体元件,能改善元件周缘部的雪崩耐量,提高作为元件整体的雪崩耐量。漏极·漂移部是以间距P1交互地重复接合第一n型区域和第一p型区域构成的第一并列pn构造,漏极·漂移部的周围是由第二并列pn构造所构成的元件周缘部。元件周缘部与第一并列pn构造连续,以间距P1交互地重复接合第二n型区域和第二p型区域所构成。第一和第二并列pn构造的杂质浓度大致相同,在元件周缘部的表层区域形成的第三并列pn构造,是将第三n型区域、和比它杂质浓度高的第三p型区域以比P1还小的间距P2来交互地重复接合所构成,其杂质浓度比第一和第二并列pn构造的杂质浓度还低。

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