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公开(公告)号:CN101311814A
公开(公告)日:2008-11-26
申请号:CN200810085566.3
申请日:2008-03-19
Abstract: 本发明提供一种光利用效率高,可以抑制从投影系统到摄影系统的杂散光的图像投影装置。该图像投影装置(1)具有:摄像机(摄影部)(3),其拍摄对象物(100);偏振光分光器(偏振光分离元件)(4),其配置于对象物(100)与摄像机(3)之间的光路的中途,反射s偏振光,使p偏振光透过;投影器(投影部)(6),其经由偏振光分光器(4),将R光、G光、B光的各种基本色光的s偏振光的彩色图像光(6a)投影到对象物(100)上;以及光衰减滤光镜(8),其使入射至偏振光分光器(4)的图像光(6a)中,透过偏振光分光器(4)的透射光衰减。
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公开(公告)号:CN101311814B
公开(公告)日:2011-03-30
申请号:CN200810085566.3
申请日:2008-03-19
Abstract: 本发明提供一种光利用效率高,可以抑制从投影系统到摄影系统的杂散光的图像投影装置。该图像投影装置具有:摄像机(摄影部),其拍摄对象物;偏振光分光器(偏振光分离元件),其配置于对象物与摄像机之间的光路的中途,反射s偏振光,使p偏振光透过;投影器(投影部),其经由偏振光分光器,将R光、G光、B光的各种基本色光的s偏振光的彩色图像光投影到对象物上;光衰减滤光镜,其使入射至偏振光分光器的图像光中,透过偏振光分光器的透射光衰减;以及控制单元,其在显示部上显示前述摄影部拍摄的图像,并将输入的注释图像重叠在显示部上的拍摄图像上,同时进行该注释图像的图像投影控制。
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公开(公告)号:CN100451580C
公开(公告)日:2009-01-14
申请号:CN200510075905.6
申请日:2005-06-03
Applicant: 富士能株式会社
Abstract: 本发明提供一种具有构成简单且小型的光学系统,并且能够容易进行光学系统调节的波面测定用干涉仪装置及能够进行光束的波面测定和光束点的特性测定的光束测定装置及方法。该光束测定装置(10A),具备将从光源部(11)射出的光束分离为2个光束的分光器(13)、将被分离的一个光束的一部分作为被检光束向与入射方向相反方向反射的半透过反射面(15a)和将透过半透过反射面(15a)的一部分光束转换成进行了波面整形的基准光束并射出的反射型基准光生成装置(23),能够进行光束的波面测定和光束点的特性测定。
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公开(公告)号:CN101086445A
公开(公告)日:2007-12-12
申请号:CN200710108851.8
申请日:2007-06-05
Applicant: 富士能株式会社
IPC: G01B11/27
CPC classification number: G01M11/0264 , G01M11/0221
Abstract: 本发明公开一种偏心量测定方法,其在规定的旋转角度位置设置被检透镜(S3),并设定与分度线的像纵线相交叉的横线(P1、P2)(S4),设定与分度线的像横线相交叉的纵线(Q1、Q2)(S5),并对横线(P1、P2)上的光强度峰值位置A点、B点以及纵线(Q1、Q2)上的光强度峰值位置C点、D点进行特定(S6、S7),并确定连接A点、B点的十字纵线,以及连接C点、D点的十字横线(S8、S9)。此后,对十字横线和十字纵线的交点进行特定,并将此作为十字旋转的分度线像的中心点R(S11)。并基于多个旋转位置中的各中心点R,求算像中心轨迹圆(S14),并将该像中心轨迹圆的半径,作为被检面的偏心量Ec(S15)。从而,在适用自动准直法的偏心测定方法中,通过简单的结构,寻求测定精度的大幅度提高。
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公开(公告)号:CN1707229A
公开(公告)日:2005-12-14
申请号:CN200510075905.6
申请日:2005-06-03
Applicant: 富士能株式会社
Abstract: 本发明提供一种具有构成简单且小型的光学系统,并且能够容易进行光学系统调节的波面测定用干涉仪装置及能够进行光束的波面测定和光束点的特性测定的光束测定装置及方法。该光束测定装置(10A),具备将从光源部(11)射出的光束分离为2个光束的分光器(13)、将被分离的一个光束的一部分作为被检光束向与入射方向相反方向反射的半透过反射面(15a)和将透过半透过反射面(15a)的一部分光束转换成进行了波面整形的基准光束并射出的反射型基准光生成装置(23),能够进行光束的波面测定和光束点的特性测定。
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公开(公告)号:CN101915554A
公开(公告)日:2010-12-15
申请号:CN201010127664.6
申请日:2010-03-09
Applicant: 富士能株式会社
IPC: G01B11/24
CPC classification number: G01B11/2441 , G01M11/0221 , G01M11/025 , G01M11/0271
Abstract: 本发明提供一种三维形状测量方法及装置,其对被测体的表面及背面的各形状在正确地掌握相互相对的位置关系的状态下进行高精度地测量。对于围着旋转轴(R2)旋转的被测透镜(9),在变更显微干涉仪(1)的相对姿势的同时所进行的形状测量分成以下进行:在从背面侧支承被测透镜(9)的状态下进行的表面部的测量、在从表面侧支承被测透镜(9)的状态下进行的背面部的测量。通过对由表面部的测量求出的边缘部侧面(97)的第1形状信息和由背面部的测量求出的边缘部侧面(97)的第2形状信息进行互相比较对照,求出被测体表面和被测体背面的相对位置关系。
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公开(公告)号:CN101451889B
公开(公告)日:2010-09-29
申请号:CN200810177435.8
申请日:2008-11-27
Applicant: 富士能株式会社
Abstract: 本发明提供一种干涉仪装置的系统误差校正方法,分析性地求出由干涉仪装置的系统误差引起的系统固有的散光像差成分和慧形像差成分,而使被检透镜的波前像差的测定结果得以校正。将被检透镜(5)相对于测定光轴(C)保持在相互隔离90度的2个旋转位置而分别进行测定,将所得到的第1及第2像差函数分类为对应于赛德像差的各像差函数,将其中与散光像差对应的第1及第2散光像差函数求出。将第1散光像差函数和第2散光像差函数相加的函数再分类为对应于赛德像差的各像差函数,将其中与散光像差对应的第3散光像差函数求出,基于该第3散光像差函数的2分之1所对应的系统固有的像差函数而求出系统固有的散光像差成分。
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公开(公告)号:CN101451889A
公开(公告)日:2009-06-10
申请号:CN200810177435.8
申请日:2008-11-27
Applicant: 富士能株式会社
Abstract: 本发明提供一种干涉仪装置的系统误差校正方法,分析性地求出由干涉仪装置的系统误差引起的系统固有的散光像差成分和慧形像差成分,而使被检透镜的波前像差的测定结果得以校正。将被检透镜(5)相对于测定光轴(C)保持在相互隔离90度的2个旋转位置而分别进行测定,将所得到的第1及第2像差函数分类为对应于赛德像差的各像差函数,将其中与散光像差对应的第1及第2散光像差函数求出。将第1散光像差函数和第2散光像差函数相加的函数再分类为对应于赛德像差的各像差函数,将其中与散光像差对应的第3散光像差函数求出,基于该第3散光像差函数的2分之1所对应的系统固有的像差函数而求出系统固有的散光像差成分。
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公开(公告)号:CN100567888C
公开(公告)日:2009-12-09
申请号:CN200710108851.8
申请日:2007-06-05
Applicant: 富士能株式会社
IPC: G01B11/27
CPC classification number: G01M11/0264 , G01M11/0221
Abstract: 本发明公开一种偏心量测定方法,其在规定的旋转角度位置设置被检透镜(S3),并设定与分度线的像纵线相交叉的横线(P1、P2)(S4),设定与分度线的像横线相交叉的纵线(Q1、Q2)(S5),并对横线(P1、P2)上的光强度峰值位置A点、B点以及纵线(Q1、Q2)上的光强度峰值位置C点、D点进行特定(S6、S7),并确定连接A点、B点的十字纵线,以及连接C点、D点的十字横线(S8、S9)。此后,对十字横线和十字纵线的交点进行特定,并将此作为十字旋转的分度线像的中心点R(S11)。并基于多个旋转位置中的各中心点R,求算像中心轨迹圆(S14),并将该像中心轨迹圆的半径,作为被检面的偏心量Ec(S15)。从而,在适用自动准直法的偏心测定方法中,通过简单的结构,寻求测定精度的大幅度提高。
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公开(公告)号:CN100565142C
公开(公告)日:2009-12-02
申请号:CN200610088699.7
申请日:2006-06-01
Applicant: 富士能株式会社
Abstract: 本发明提供一种光束测量装置,该光束测量装置(1A)具备波前测量部(10A)和光斑特性测量部(10B),该波前测量部(10A)成为具有反射型波前整形单元(20)、光束分离/合成面(15)、反射板(17)和光程长调整机构的迈克逊型光学系统配置。通过使从光束分离/合成面经由反射面(17a)而返回到光束分离/合成面的第1光程长、与从光束分离/合成面经由反射型波前整形单元(20)而返回到光束分离/合成面的第2光程长大约相互一致,能够进行可干涉性低的光束的波前测量和光束的光斑特性测量这2种测量。从而,获得也能适应于可干涉性低的光束的波前测量、并且能够容易进行光学系统的调整和相移机构的设置的光束测量装置。
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