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公开(公告)号：CN101846496A
公开(公告)日：2010-09-29
申请号：CN201010150116.5
申请日：2010-03-22
Applicant: 富士能株式会社
CPC classification number: G01B11/272 , B23Q17/24
Abstract: 本发明提供一种能够对被测体的旋转所伴随的旋转中心线的位置变动进行高精度的测定的旋转中心线的位置变动测定方法及装置。具有位置指标(32)的测定用夹具(3)按照能够与被测体(5)一体地旋转的方式设置，在被测体(5)旋转的过程的多个时刻，对由显微镜(1)形成的位置指标(32)的放大像分别通过摄像摄像机(17)进行摄像。求出被摄像的各个放大像的移动轨迹，基于被求出的移动轨迹，计算被测体(5)的旋转中心线(A)的位置变动量。
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公开(公告)号：CN100451580C
公开(公告)日：2009-01-14
申请号：CN200510075905.6
申请日：2005-06-03
Applicant: 富士能株式会社
Abstract: 本发明提供一种具有构成简单且小型的光学系统，并且能够容易进行光学系统调节的波面测定用干涉仪装置及能够进行光束的波面测定和光束点的特性测定的光束测定装置及方法。该光束测定装置(10A)，具备将从光源部(11)射出的光束分离为2个光束的分光器(13)、将被分离的一个光束的一部分作为被检光束向与入射方向相反方向反射的半透过反射面(15a)和将透过半透过反射面(15a)的一部分光束转换成进行了波面整形的基准光束并射出的反射型基准光生成装置(23)，能够进行光束的波面测定和光束点的特性测定。
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公开(公告)号：CN100405003C
公开(公告)日：2008-07-23
申请号：CN200610068200.6
申请日：2006-03-16
Applicant: 富士能株式会社
Inventor： 葛宗涛
IPC: G01B9/02
Abstract: 本发明提供一种条纹计测装置的变换系数校正方法和装置以及具备该变换系数校正装置的条纹计测装置。能够将在条纹计测装置中设定的用于从计测空间的坐标系变换至实空间的坐标系的变换系数的值，容易且短时间内进行校正。将具有以相互形成的角度成为基准值的方式构成的两个反射面(31、32)的校正用夹具(3)进行设置，利用条纹计测装置拍摄担载有2个反射面(31、32)的每个的倾斜度信息的一个条纹图像。基于该一个条纹图像，求出在计测空间坐标系中的2个反射面(31、32)形成的角度的计算值，按照该计算值在规定的单位系下与基准值一致的方式校正变换系数的值。
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公开(公告)号：CN1841007A
公开(公告)日：2006-10-04
申请号：CN200610068200.6
申请日：2006-03-16
Applicant: 富士能株式会社
Inventor： 葛宗涛
IPC: G01B9/02
Abstract: 本发明提供一种条纹计测装置的变换系数校正方法和装置以及具备该变换系数校正装置的条纹计测装置。能够将在条纹计测装置中设定的用于从计测空间的坐标系变换至实空间的坐标系的变换系数的值，容易且短时间内进行校正。将具有以相互形成的角度成为基准值的方式构成的两个反射面(31、32)的校正用夹具(3)进行设置，利用条纹计测装置拍摄担载有2个反射面(31、32)的每个的倾斜度信息的一个条纹图像。基于该一个条纹图像，求出在计测空间坐标系中的2个反射面(31、32)形成的角度的计算值，按照该计算值在规定的单位系下与基准值一致的方式校正变换系数的值。
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公开(公告)号：CN101393307B
公开(公告)日：2011-01-19
申请号：CN200810215137.3
申请日：2008-09-01
Applicant: 富士能株式会社
IPC: G02B6/38
Abstract: 一种光纤套圈保持装置，构成为：以在套圈固定用插通孔沿轴方向插入的状态保持套圈，可更换地安装在装置基部的保持构件将套筒部和固定部形成为一体，并具有贯通的套圈插通孔和分割沟槽以及在套圈周面可按压地变位的按压部位，通过基于装置基部的操作构件的按压部位的按压，对插入在套圈插通孔内的套圈进行保持，从装置基部拆卸固定部并可装卸地更换保持构件。另外，其装置为以在套圈固定用的套圈插通孔向轴方向插入的状态保持套圈，具备保持由具有套圈插入孔的装置本体突出的套圈前端部的夹持构件，该夹持构件从套圈插通孔延长上的保持孔延伸至放射2方向。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101393307A
公开(公告)日：2009-03-25
申请号：CN200810215137.3
申请日：2008-09-01
Applicant: 富士能株式会社
IPC: G02B6/38
Abstract: 一种光纤套圈保持装置，构成为：以在套圈固定用插通孔沿轴方向插入的状态保持套圈，可更换地安装在装置基部的保持构件将套筒部和固定部形成为一体，并具有贯通的套圈插通孔和分割沟槽以及在套圈周面可按压地变位的按压部位，通过基于装置基部的操作构件的按压部位的按压，对插入在套圈插通孔内的套圈进行保持，从装置基部拆卸固定部并可装卸地更换保持构件。另外，其装置为以在套圈固定用的套圈插通孔向轴方向插入的状态保持套圈，具备保持由具有套圈插入孔的装置本体突出的套圈前端部的夹持构件，该夹持构件从套圈插通孔延长上的保持孔延伸至放射2方向。
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公开(公告)号：CN101387555A
公开(公告)日：2009-03-18
申请号：CN200810214958.5
申请日：2008-08-29
Applicant: 富士能株式会社
Inventor： 葛宗涛
CPC classification number: G01J9/02 , G01B9/02083 , G01B9/02084 , G11B7/22
Abstract: 本发明提供一种在跟踪用副光束混在的状态下对从光学拾波器装置输出的主光束的波前测定能够容易且高精度地进行的光学拾波器用波前测量装置。在解析单元(31)设置图像处理部(34)及波前解析部(35)。图像处理部(34)被构成为：对由摄像相机(19)得到的干涉条纹图像进行滤波处理，而获得除去了与光束所包含的跟踪用副光束对应的频率成分的滤波处理后的干涉条纹图像，波前解析部(35)被构成为：基于滤波处理后的干涉条纹图像，进行光束所包含的主光束的波前解析。
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公开(公告)号：CN1707229A
公开(公告)日：2005-12-14
申请号：CN200510075905.6
申请日：2005-06-03
Applicant: 富士能株式会社
Abstract: 本发明提供一种具有构成简单且小型的光学系统，并且能够容易进行光学系统调节的波面测定用干涉仪装置及能够进行光束的波面测定和光束点的特性测定的光束测定装置及方法。该光束测定装置(10A)，具备将从光源部(11)射出的光束分离为2个光束的分光器(13)、将被分离的一个光束的一部分作为被检光束向与入射方向相反方向反射的半透过反射面(15a)和将透过半透过反射面(15a)的一部分光束转换成进行了波面整形的基准光束并射出的反射型基准光生成装置(23)，能够进行光束的波面测定和光束点的特性测定。
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公开(公告)号：CN101469976B
公开(公告)日：2011-04-06
申请号：CN200810185513.9
申请日：2008-12-12
Applicant: 富士能株式会社
Inventor： 葛宗涛
Abstract: 本发明提供一种光波干涉测量装置，由透射/反射分离面(13a)分成两部分的来自光源(11)的光束，通过分别对应的球面基准透镜(15)、(25)，以担持与被验非球面透镜(17)和参照非球面透镜(27)的表面形状对应的波阵面信息的状态再次被合波，被验非球面透镜(17)相对于参照非球面透镜(27)的波阵面误差成为干涉条纹信息而形成在干涉仪CCD摄像机(31)的摄像面上。球面基准透镜(15)、(25)具有互相相同的曲率的基准球面(15a)、(25a)，基于来自各透镜(17)、(27)的反射光的波阵面信息是基于各透镜(17)、(27)的表面形状和基准球面(15a)、(25a)的表面形状之差的波阵面信息，因此，即使是非球面，也可以同时获得关于整个有效区域的干涉条纹信息。
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公开(公告)号：CN101915554A
公开(公告)日：2010-12-15
申请号：CN201010127664.6
申请日：2010-03-09
Applicant: 富士能株式会社
IPC: G01B11/24
CPC classification number: G01B11/2441 , G01M11/0221 , G01M11/025 , G01M11/0271
Abstract: 本发明提供一种三维形状测量方法及装置，其对被测体的表面及背面的各形状在正确地掌握相互相对的位置关系的状态下进行高精度地测量。对于围着旋转轴(R2)旋转的被测透镜(9)，在变更显微干涉仪(1)的相对姿势的同时所进行的形状测量分成以下进行：在从背面侧支承被测透镜(9)的状态下进行的表面部的测量、在从表面侧支承被测透镜(9)的状态下进行的背面部的测量。通过对由表面部的测量求出的边缘部侧面(97)的第1形状信息和由背面部的测量求出的边缘部侧面(97)的第2形状信息进行互相比较对照，求出被测体表面和被测体背面的相对位置关系。
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