公开(公告)号：CN101915554A

公开(公告)日：2010-12-15

申请号：CN201010127664.6

申请日：2010-03-09

Applicant: 富士能株式会社

Inventor： 葛宗涛 ,  富水政昭 ,  神田秀雄 ,  斋藤隆行 ,  小泉升 ,  持立诚仁 ,  鹰野滋之 ,  岩崎裕行

IPC: G01B11/24

CPC classification number: G01B11/2441 ,  G01M11/0221 ,  G01M11/025 ,  G01M11/0271

Abstract: 本发明提供一种三维形状测量方法及装置，其对被测体的表面及背面的各形状在正确地掌握相互相对的位置关系的状态下进行高精度地测量。对于围着旋转轴(R2)旋转的被测透镜(9)，在变更显微干涉仪(1)的相对姿势的同时所进行的形状测量分成以下进行：在从背面侧支承被测透镜(9)的状态下进行的表面部的测量、在从表面侧支承被测透镜(9)的状态下进行的背面部的测量。通过对由表面部的测量求出的边缘部侧面(97)的第1形状信息和由背面部的测量求出的边缘部侧面(97)的第2形状信息进行互相比较对照，求出被测体表面和被测体背面的相对位置关系。