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公开(公告)号:CN101082538A
公开(公告)日:2007-12-05
申请号:CN200710108749.8
申请日:2007-05-31
Applicant: 富士能株式会社
Abstract: 提供一种具备被检测体夹持型的旋转保持机构的被检测光学元件旋转保持装置,该被检测体夹持型的旋转保持机构可使被检测光学元件的厚度改变时的轴方向的位置调整在不对偏芯量的测定产生坏影响的状态下易于进行。具有圆盘状旋转体(51)的旋转保持部(5)经由Z轴移动台(7A)设置在倾斜度调整台(8)上,具有V字状抵接体(61)的定位保持部(6)经由(XY)轴移动台(9)及Z轴移动台(7B)设置在倾斜度调整台(8)上。吸引保持台(4)所保持的被检测透镜和圆盘状旋转体(51)及V字状抵接体之间的相对高度调整通过使用旋转保持部(5)侧的(Z)轴移动台(7A)和定位保持部(6)侧的(Z)轴移动台(7B)来进行。
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公开(公告)号:CN101907758A
公开(公告)日:2010-12-08
申请号:CN201010200107.2
申请日:2010-06-08
Applicant: 富士能株式会社
Inventor: 孙萍
Abstract: 本发明提供一种光学元件的偏心调整组装方法以及偏心调整组装装置,其仅安装位于最靠测量光入射侧的第1透镜(S1)。其次,测量第1透镜的偏心量(S2),基于此测量值计算第1透镜的位置调整量(S3)。接着,调整第1透镜的偏心以使该偏心量接近0(S4),再次测量第1透镜的偏心量(S5),判断是否成为临界值以下(S6)。大于临界值时返回步骤3,临界值以下时将第1透镜粘合保持于透镜镜筒(61)的内部(S7)。之后,判断是否存在应进行安装的下一个透镜(S8),若存在下一个透镜则对该透镜重复上述步骤(1~7)的处理。从而在被检光学元件组体为将多片光学元件配置于同轴的组体时,作为系统整体,能使光学元件的偏心量测量、偏心调整以及光学元件的组装高精度且有效地进行。
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公开(公告)号:CN100588934C
公开(公告)日:2010-02-10
申请号:CN200610093016.7
申请日:2006-06-02
Applicant: 富士能株式会社
Inventor: 孙萍
IPC: G01M11/00
Abstract: 本发明提供一种偏芯量测量方法,通过求取摄像面上所形成的来自被检面(10A)以及安装面(10B)的各反射像的圆形状轨迹的半径r1以及半径r2之差Δr,并对该Δr乘以实际空间位置中的距离相对成像面上的距离之比所对应的规定系数K,可以求得被检面(10A)正确的偏芯量。即使在设置有被检透镜的基座的旋转轴和被检透镜的光轴之间、或在该基座的旋转轴和将光照射到被检透镜的测量用光学系统的光轴之间等存在偏移的情况下,也能简单且高精度地进行被检透镜面的偏芯量测量。
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公开(公告)号:CN100567888C
公开(公告)日:2009-12-09
申请号:CN200710108851.8
申请日:2007-06-05
Applicant: 富士能株式会社
IPC: G01B11/27
CPC classification number: G01M11/0264 , G01M11/0221
Abstract: 本发明公开一种偏心量测定方法,其在规定的旋转角度位置设置被检透镜(S3),并设定与分度线的像纵线相交叉的横线(P1、P2)(S4),设定与分度线的像横线相交叉的纵线(Q1、Q2)(S5),并对横线(P1、P2)上的光强度峰值位置A点、B点以及纵线(Q1、Q2)上的光强度峰值位置C点、D点进行特定(S6、S7),并确定连接A点、B点的十字纵线,以及连接C点、D点的十字横线(S8、S9)。此后,对十字横线和十字纵线的交点进行特定,并将此作为十字旋转的分度线像的中心点R(S11)。并基于多个旋转位置中的各中心点R,求算像中心轨迹圆(S14),并将该像中心轨迹圆的半径,作为被检面的偏心量Ec(S15)。从而,在适用自动准直法的偏心测定方法中,通过简单的结构,寻求测定精度的大幅度提高。
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公开(公告)号:CN1877282A
公开(公告)日:2006-12-13
申请号:CN200610093016.7
申请日:2006-06-02
Applicant: 富士能株式会社
Inventor: 孙萍
IPC: G01M11/00
Abstract: 本发明提供一种偏芯量测量方法,通过求取摄像面上所形成的来自被检面(10A)以及安装面(10B)的各反射像的圆形状轨迹的半径r1以及半径r2之差Δr,并对该Δr乘以实际空间位置中的距离相对成像面上的距离之比所对应的规定系数K,可以求得被检面(10A)正确的偏芯量。即使在设置有被检透镜的基座的旋转轴和被检透镜的光轴之间、或在该基座的旋转轴和将光照射到被检透镜的测量用光学系统的光轴之间等存在偏移的情况下,也能简单且高精度地进行被检透镜面的偏芯量测量。
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公开(公告)号:CN100592052C
公开(公告)日:2010-02-24
申请号:CN200710108749.8
申请日:2007-05-31
Applicant: 富士能株式会社
Abstract: 提供一种具备被检测体夹持型的旋转保持机构的被检测光学元件旋转保持装置,该被检测体夹持型的旋转保持机构可使被检测光学元件的厚度改变时的轴方向的位置调整在不对偏芯量的测定产生坏影响的状态下易于进行。具有圆盘状旋转体(51)的旋转保持部(5)经由Z轴移动台(7A)设置在倾斜度调整台(8)上,具有V字状抵接体(61)的定位保持部(6)经由(XY)轴移动台(9)及Z轴移动台(7B)设置在倾斜度调整台(8)上。吸引保持台(4)所保持的被检测透镜和圆盘状旋转体(51)及V字状抵接体之间的相对高度调整通过使用旋转保持部(5)侧的(Z)轴移动台(7A)和定位保持部(6)侧的(Z)轴移动台(7B)来进行。
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公开(公告)号:CN101319960A
公开(公告)日:2008-12-10
申请号:CN200810100522.3
申请日:2008-05-20
Applicant: 富士能株式会社
Inventor: 孙萍
Abstract: 本发明提供一种偏心量测定装置,其中,具备:基台(20),其可旋转地保持透镜体(5);测定头(10),将来自光源(11)的光照射在透镜面(52a)并在其焦点面上成像分度线影像,并将来自透镜面(52a)的反射光引导在摄像面上并在摄像面成像分度线像,摄影对应于各旋转位置的各图像;解析运算部(30),其根据摄像的各图像解析偏心量。解析运算部(30),其被构成为通过求各图像的差图像,而使分度线影像的无用像从图像中消除。当适用自准直法测定偏心量时,即使除通过被检面成像的标准像之外通过其他面成像的无用像也被载持在图像上时,依然可特定图像上的标准像的位置。
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公开(公告)号:CN101907758B
公开(公告)日:2013-11-06
申请号:CN201010200107.2
申请日:2010-06-08
Applicant: 富士能株式会社
Inventor: 孙萍
Abstract: 本发明提供一种光学元件的偏心调整组装方法以及偏心调整组装装置,其仅安装位于最靠测量光入射侧的第1透镜(S1)。其次,测量第1透镜的偏心量(S2),基于此测量值计算第1透镜的位置调整量(S3)。接着,调整第1透镜的偏心以使该偏心量接近0(S4),再次测量第1透镜的偏心量(S5),判断是否成为临界值以下(S6)。大于临界值时返回步骤3,临界值以下时将第1透镜粘合保持于透镜镜筒(61)的内部(S7)。之后,判断是否存在应进行安装的下一个透镜(S8),若存在下一个透镜则对该透镜重复上述步骤(1~7)的处理。从而在被检光学元件组体为将多片光学元件配置于同轴的组体时,作为系统整体,能使光学元件的偏心量测量、偏心调整以及光学元件的组装高精度且有效地进行。
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公开(公告)号:CN101922920A
公开(公告)日:2010-12-22
申请号:CN201010189156.0
申请日:2010-05-24
Applicant: 富士能株式会社
IPC: G01B11/24
CPC classification number: G01M11/0242
Abstract: 本发明提供一种非球面体测量方法及装置,即使在成为测量对象的非球面体不具有锷状的平面部的情况下,也能够高精度测量面偏差以及面偏斜。通过使用第1干涉仪(1A)和第2干涉仪(1B)的光干涉仪测量,求出非球面透镜(9)的第1透镜面(91)以及第2透镜面(92)的各中心部的形状数据,根据各自的形状数据,在第1测量坐标系中求出第1透镜面(91)的第1脐点(P1)、第1曲率中心以及第1轴线的各位置数据,并且在第2测量坐标系中求出第2透镜面(92)的第2脐点(P2)、第2曲率中心以及第2轴线的各位置数据。基于这些各位置数据、第1测量坐标系以及第2测量坐标系的相对位置关系,求出非球面透镜(9)的面偏差以及面偏斜。
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公开(公告)号:CN101319960B
公开(公告)日:2010-09-29
申请号:CN200810100522.3
申请日:2008-05-20
Applicant: 富士能株式会社
Inventor: 孙萍
Abstract: 本发明提供一种偏心量测定装置,其中,具备:基台(20),其可旋转地保持透镜体(5);测定头(10),将来自光源(11)的光照射在透镜面(52a)并在其焦点面上成像分度线影像,并将来自透镜面(52a)的反射光引导在摄像面上并在摄像面成像分度线像,摄影对应于各旋转位置的各图像;解析运算部(30),其根据摄像的各图像解析偏心量。解析运算部(30),其被构成为通过求各图像的差图像,而使分度线影像的无用像从图像中消除。当适用自准直法测定偏心量时,即使除通过被检面成像的标准像之外通过其他面成像的无用像也被载持在图像上时,依然可特定图像上的标准像的位置。
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