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公开(公告)号：CN119838815A
公开(公告)日：2025-04-18
申请号：CN202510017733.4
申请日：2025-01-06
Applicant: 大连理工大学
IPC: B05C5/02
Abstract: 本发明公开了一种提高涂布效率减少气泡卷入的狭缝涂布槽模头，包括第一涂布模块、第二涂布模块、下游垫片、上游垫片、中央垫片、上游导流片和下游导流片；所述第一涂布模块、上游垫片、中央垫片、下游垫片和第二涂布模块从左至右依次固定在一起，所述上游导流片的上部与上游垫片的下部固定连接，所述下游导流片的上部与下游垫片的下部固定连接。本发明在进行涂布时，上游导流片和下游导流片可以在不破坏整体流动的情况下，稳定上游弯月面，破坏上游弯月面和基板接触面出现的涡旋，减少气泡卷入。从而保证薄膜表面质量，实现稳定高效涂布。本发明的上游导流片和下游导流片表面存在阵列的微型凹槽可以保证流动的稳定性，进一步提高了制备效率。
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公开(公告)号：CN118242997A
公开(公告)日：2024-06-25
申请号：CN202410388734.5
申请日：2024-04-01
Applicant: 大连理工大学
Abstract: 本发明公开了一种基于便携式光学膜厚仪的曲面薄膜膜厚测量装置，包括样品载物支架模块、测量支架模块、膜厚仪和运动模块。所述载物支架模块与测量支架模块通过轴承连接，所述膜厚仪安装在运动模块上，所述运动模块安装在与测量支架模块上、沿测量支架模块的圆形滑轨运动。本发明在测量曲面薄膜膜厚中，膜厚仪随着大支架沿着弧形齿条进行运动，从而完成经线方向的测量。测量支架模块能以可调载物台的立柱为转轴进行旋转，从而完成纬线方向测量。因此本发明能够实现经线方向和纬线方向同时测量，从而能够实现整个样品的扫描。本发明灵活性较高，能够实现不同曲率半径的任何形状的半圆型样品膜厚测量。
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公开(公告)号：CN119793832A
公开(公告)日：2025-04-11
申请号：CN202510165583.1
申请日：2025-02-14
Applicant: 大连理工大学
Abstract: 本发明属于旋涂机的技术领域，公开一种稳定腔室流场提高腔室洁净度的旋涂腔室结构。由上至下排布的同步罩模块、气压调节模块和旋涂转盘模块为同心结构；旋涂转盘模块与气压调节模块之间留有旋涂液流出的流道，旋涂转盘模块与同步罩模块在旋涂时同步转速。旋涂前，在气压调节模块气道处连接气泵，用气流将旋涂腔室内的杂质带离基板表面，提高腔室洁净度。旋涂过程，从同步罩模块进气孔中通入过饱和气体，气体经过圆柱形腔室，从出气孔通入旋涂腔室，改善旋涂腔室内的气氛环境，提高蒸发均匀性，提高膜厚均匀性。在旋涂过程中同步罩模块与旋涂模块同步旋转，同步罩模块的梯形扰流板可改善旋涂腔室内的气流速度，使旋涂腔室内气体流速更均匀，保证膜厚均匀性。
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公开(公告)号：CN118179863A
公开(公告)日：2024-06-14
申请号：CN202410388735.X
申请日：2024-04-01
Applicant: 大连理工大学
Abstract: 本发明公开了一种制备曲面薄膜可拆卸式双轴旋涂设备，包括气氛控制模块、人造重力模块、旋涂模块、机架和操作模块。本发明采用双轴旋涂技术，一根转轴附属于人造重力模块，用于提供可改变大小的人造重力；另一根转轴附属于旋涂模块，用于将液体材料涂覆在基底表面，形成曲面薄膜。本发明可改变人造重力模块的伺服电机A转速，针对不同曲率的基底提供可以控制大小的人造重力，能够显著改善曲面旋涂存在的薄膜均匀性较差，边缘效应缺陷严重等问题。本发明的人造重力模块、气氛控制模块、旋涂模块三个模块相对独立，现有旋涂电机可以当作人造重力模块，在其顶部只需安装旋涂模块，在底部安装气氛控制模块即可完成改装，结构简单，改装成本低。
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