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公开(公告)号:CN119838815A
公开(公告)日:2025-04-18
申请号:CN202510017733.4
申请日:2025-01-06
Applicant: 大连理工大学
IPC: B05C5/02
Abstract: 本发明公开了一种提高涂布效率减少气泡卷入的狭缝涂布槽模头,包括第一涂布模块、第二涂布模块、下游垫片、上游垫片、中央垫片、上游导流片和下游导流片;所述第一涂布模块、上游垫片、中央垫片、下游垫片和第二涂布模块从左至右依次固定在一起,所述上游导流片的上部与上游垫片的下部固定连接,所述下游导流片的上部与下游垫片的下部固定连接。本发明在进行涂布时,上游导流片和下游导流片可以在不破坏整体流动的情况下,稳定上游弯月面,破坏上游弯月面和基板接触面出现的涡旋,减少气泡卷入。从而保证薄膜表面质量,实现稳定高效涂布。本发明的上游导流片和下游导流片表面存在阵列的微型凹槽可以保证流动的稳定性,进一步提高了制备效率。
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公开(公告)号:CN119838814A
公开(公告)日:2025-04-18
申请号:CN202510017732.X
申请日:2025-01-06
Applicant: 大连理工大学
Abstract: 本发明公开了一种多材料适用减缓层间侵蚀的多层狭缝涂布槽模头,包括第一涂布模块、第二涂布模块、上游控温活动块、下游控温活动块、上游流速控制阀、下游流速控制阀、中央垫片、上游狭缝控制块、上游狭缝丝杆、下游狭缝控制块和下游狭缝丝杆。本发明在进行涂布时,上游光学液态胶通过上游狭缝控制块与中央垫片的倾斜大狭缝间隙控制流速稳定上游弯月面,下游光学液态胶通过下游狭缝控制块与中央垫片的垂直小狭缝间隙控制流速保证薄膜表面质量,从而实现多层涂布,保证稳定性。本发明满足多种材料涂布,对不同材料所欲形成的涂层进行上游控温活动块、下游控温活动块的替换,从而使用不同歧管满足不同材料的多层薄膜,满足多材料多层薄膜制备需求。
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