焊盘图案检查方法以及检查装置

    公开(公告)号:CN1841049A

    公开(公告)日:2006-10-04

    申请号:CN200610005927.X

    申请日:2006-01-19

    Abstract: 本发明提供一种焊盘图案检查方法以及检查装置。控制部(21)从焊盘坐标文件(30)中读取作为被检查对象的印刷基板上的焊盘坐标以及该焊盘的标准图像。接下来,拍摄读取了的焊盘坐标的焊盘,并生成二值化了的对象图像。进而,在该焊盘图像中抽取焊盘部分的坐标,并存储在1-像素部分坐标文件(31)中。接下来,从填孔圆图案表(29)中读取规定的圆图像,对该圆图像只进行规定次数的收缩处理。此时,如果成为注目点的像素的坐标对应于上述焊盘部分的坐标,则对该注目点不进行收缩处理。而且,通过对收缩后的圆图像与标准图像进行比较,而检查该焊盘有无细微的缺陷。

    焊盘图案检查方法以及检查装置

    公开(公告)号:CN100507530C

    公开(公告)日:2009-07-01

    申请号:CN200610005927.X

    申请日:2006-01-19

    Abstract: 本发明提供一种焊盘图案检查方法以及检查装置。控制部(21)从焊盘坐标文件(30)中读取作为被检查对象的印刷基板上的焊盘坐标以及该焊盘的标准图像。接下来,拍摄读取了的焊盘坐标的焊盘,并生成二值化了的对象图像。进而,在该焊盘图像中抽取焊盘部分的坐标,并存储在1-像素部分坐标文件(31)中。接下来,从填孔圆图案表(29)中读取规定的圆图像,对该圆图像只进行规定次数的收缩处理。此时,如果成为关注点的像素的坐标对应于上述焊盘部分的坐标,则对该关注点不进行收缩处理。而且,通过对收缩后的圆图像与标准图像进行比较,而检查该焊盘有无细微的缺陷。

    凸起检查装置以及方法
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1825095A

    公开(公告)日:2006-08-30

    申请号:CN200510048814.3

    申请日:2005-12-28

    Abstract: 本发明涉及一种凸起检查装置以及方法,形状检出部,从由CCD照相机取得的目标图像中所包含的表示凸起的图像中,检测出具有正确的凸起的形状的图像。检查区域设定部,在目标图像的区域中,将至少包含由形状检出部检测出的图像的区域作为非检查区域,而将其它区域作为检查区域来设定。主图像存储部,存储成为检查的基准的主图像。比较检查部,针对由检查区域设定部设定的检查区域,比较目标图像与主图像,从而检查凸起是否以规定的精度形成。

    凸起检查装置以及方法
    4.
    发明授权

    公开(公告)号:CN100470239C

    公开(公告)日:2009-03-18

    申请号:CN200510048814.3

    申请日:2005-12-28

    Abstract: 本发明涉及一种凸起检查装置以及方法,形状检出部,从由CCD照相机取得的目标图像中所包含的表示凸起的图像中,检测出具有正确的凸起的形状的图像。检查区域设定部,在目标图像的区域中,将至少包含由形状检出部检测出的图像的区域作为非检查区域,而将其它区域作为检查区域来设定。主图像存储部,存储成为检查的基准的主图像。比较检查部,针对由检查区域设定部设定的检查区域,比较目标图像与主图像,从而检查凸起是否以规定的精度形成。

    差分比较检查方法及差分比较检查装置

    公开(公告)号:CN1982880A

    公开(公告)日:2007-06-20

    申请号:CN200610142822.9

    申请日:2006-10-26

    Abstract: 分别从基准图像检测出在图案上形成凹状的角落即内角及凸状的角即外角。接着,确定检测出的内角附近的区域即内角区域的范围。同时,确定检测出的外角附近的区域即外角区域的范围。然后,基于基准图像和对象图像的差分进行比较检查。此时,在基准图像的内角区域中,将相对于比该基准图像表示的图案的区域过剩形成的对象图像的图案的区域的差分排除在外而进行比较检查。并且,在基准图像的外角区域中,将相对于比该基准图像表示的图案的区域不足形成的对象图像的图案的区域的差分排除在外而进行比较检查。

    外观检查装置以及外观检查方法

    公开(公告)号:CN1825099A

    公开(公告)日:2006-08-30

    申请号:CN200510120263.7

    申请日:2005-11-09

    Abstract: 本发明提供一种外观检查装置以及外观检查方法,载物台部(21)形成有装载具有柔性的薄板状的被检查物体的载物台面,并将所装载的被检查物体的一侧主面和载物台面贴紧并保持着。摄像机(31)拍摄被贴紧并保持在载物台面上的被检查物体。X轴方向驱动机构(35)、Y轴方向驱动机构(23)、以及Z轴方向驱动机构(36),使载物台面以及摄像机(31)中的至少一方向各个方向相对移动。控制部(4)根据载物台面的多个位置上的位移数据,使摄像机(31)和载物台面之间保持为等距离,同时控制X轴方向驱动机构(35)、Y轴方向驱动机构(23)、以及Z轴方向驱动机构(36)。

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